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溶胶凝胶法制备Sb掺杂SnO_2透明导电膜的结构与性能研究
被引量：
8
1
作者
郭锐
张华利
《科学技术与工程》
2007年第3期360-363,共4页
在乙醇溶剂中,以无机金属盐SnCl2.2H2O和SbCl3为原料,采用溶胶-凝胶法制备了Sb掺杂的SnO2透明导电薄膜(ATO),研究了Sb掺杂量和热处理温度对薄膜结构和性能的影响。结果表明,热处理温度为500℃、Sb掺杂摩尔百分比为15%～20%时,薄膜具有...
在乙醇溶剂中,以无机金属盐SnCl2.2H2O和SbCl3为原料,采用溶胶-凝胶法制备了Sb掺杂的SnO2透明导电薄膜(ATO),研究了Sb掺杂量和热处理温度对薄膜结构和性能的影响。结果表明,热处理温度为500℃、Sb掺杂摩尔百分比为15%～20%时,薄膜具有较好的结晶性能、好的导电性能、较高的可见光区透射率和红外光区反射率。
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关键词
SNO2
透明导电膜
溶胶凝胶法
掺杂Sb
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职称材料
题名
溶胶凝胶法制备Sb掺杂SnO_2透明导电膜的结构与性能研究
被引量：
8
1
作者
郭锐
张华利
机构
暨南大学物理系凝聚态物理实验室
出处
《科学技术与工程》
2007年第3期360-363,共4页
文摘
在乙醇溶剂中,以无机金属盐SnCl2.2H2O和SbCl3为原料,采用溶胶-凝胶法制备了Sb掺杂的SnO2透明导电薄膜(ATO),研究了Sb掺杂量和热处理温度对薄膜结构和性能的影响。结果表明,热处理温度为500℃、Sb掺杂摩尔百分比为15%～20%时,薄膜具有较好的结晶性能、好的导电性能、较高的可见光区透射率和红外光区反射率。
关键词
SNO2
透明导电膜
溶胶凝胶法
掺杂Sb
Keywords
SnO2 transparent conducting film sol-gel process Sb-doped
分类号
O484.42 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
溶胶凝胶法制备Sb掺杂SnO_2透明导电膜的结构与性能研究
郭锐
张华利
《科学技术与工程》
2007
8
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