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双极端对比检测法定量分析高纯石英砂气液包裹体含量 被引量:1
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作者 樊婷 任子杰 +4 位作者 张乾坤 何宇豪 宋昱晗 刘志 向璐 《岩矿测试》 CSCD 北大核心 2024年第6期892-900,共9页
高纯石英砂作为半导体、光伏等战略新兴行业的关键材料,其质量对单晶硅坩埚、石英管等产品的应用至关重要。除杂质元素外,气液包裹体是影响高纯石英质量的重要因素之一,但目前对石英气液包裹体的检测方法多为定性描述,缺乏高效精确的定... 高纯石英砂作为半导体、光伏等战略新兴行业的关键材料,其质量对单晶硅坩埚、石英管等产品的应用至关重要。除杂质元素外,气液包裹体是影响高纯石英质量的重要因素之一,但目前对石英气液包裹体的检测方法多为定性描述,缺乏高效精确的定量分析手段。本文提出了一种双极端对比(Doubleextreme caseanalysis,DECA)检测法,能够快速、定量地评估气液包裹体含量。具体流程包括:将药剂浸泡石英砂片置于显微镜下观察并拍摄,总计获取不少于300个石英砂颗粒的显微照片,其中石英砂呈透明状,而气液包裹体呈黑色,通过图像统计计算得到石英砂通透颗粒(T)和不通透颗粒(NT)比例两个数据,以此来评价石英砂品质。通过研究不同石英砂DECA检测结果及坩埚能力,结果表明,T比例较高、NT比例较低的石英砂制备的坩埚透明度优良;而T比例较低、NT比例较高的石英砂制品透明层质量显著下降。该方法有效地解决了气液包裹体检测中定量化不足的难题,为高纯石英砂品质评估提供了可靠依据。 展开更多
关键词 高纯石英 气液包裹体 定量 双极端对比检测法 石英坩埚
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