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线性位移台直线度高精密外差干涉测量装置
被引量：
9
1
作者
金涛
刘景林
+2 位作者
杨卫
乐燕芬
侯文玫
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期1570-1577,共8页
直线度测量中往往存在有限的测量范围、精度低和阿贝误差等问题。本文提出了一种高精密直线度外差干涉测量装置,该装置由Koester棱镜、角锥棱镜、1/4波片、楔面棱镜和楔面反射镜构成。楔面棱镜为直线度传感元件,角隅棱镜和楔面反射镜是...
直线度测量中往往存在有限的测量范围、精度低和阿贝误差等问题。本文提出了一种高精密直线度外差干涉测量装置,该装置由Koester棱镜、角锥棱镜、1/4波片、楔面棱镜和楔面反射镜构成。楔面棱镜为直线度传感元件,角隅棱镜和楔面反射镜是测量信号的回光元件。双频激光信号进入直线度干涉仪后组成几何空间对称四光路测量信号。四路测量光走过几乎完全相同的路径有效地提高了干涉仪的稳定性,并且使空程误差最小化。使用楔角为1°的楔角棱镜和2π/512细分的相位计,直线度测量分辨力为17.71nm。该方法不需要与行程同长的大反射参考镜,但同样能实现高分辨率,理论和实验证明空间对称测量结构避免了由俯仰,偏转和滚转角引起的阿贝误差的串扰,而且光学元件少,结构简单,方便易用,结果可以直接溯源到米的定义。
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关键词
测试计量技术及仪器
直线度测量
外差激光干涉
阿贝误差
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职称材料
题名
线性位移台直线度高精密外差干涉测量装置
被引量：
9
1
作者
金涛
刘景林
杨卫
乐燕芬
侯文玫
机构
上海
理工大学光电信息与计算机工程学院
普爱
纳米
位移
技术
(
上海
)
有限公司
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期1570-1577,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51075280
No.51705324)
+1 种基金
上海市自然基金资助项目(No.16ZR1423000)
国家自然科学基金中德合作研究中心项目(No.GZ1287)
文摘
直线度测量中往往存在有限的测量范围、精度低和阿贝误差等问题。本文提出了一种高精密直线度外差干涉测量装置,该装置由Koester棱镜、角锥棱镜、1/4波片、楔面棱镜和楔面反射镜构成。楔面棱镜为直线度传感元件,角隅棱镜和楔面反射镜是测量信号的回光元件。双频激光信号进入直线度干涉仪后组成几何空间对称四光路测量信号。四路测量光走过几乎完全相同的路径有效地提高了干涉仪的稳定性,并且使空程误差最小化。使用楔角为1°的楔角棱镜和2π/512细分的相位计,直线度测量分辨力为17.71nm。该方法不需要与行程同长的大反射参考镜,但同样能实现高分辨率,理论和实验证明空间对称测量结构避免了由俯仰,偏转和滚转角引起的阿贝误差的串扰,而且光学元件少,结构简单,方便易用,结果可以直接溯源到米的定义。
关键词
测试计量技术及仪器
直线度测量
外差激光干涉
阿贝误差
Keywords
measurement technology and instrument
straightness measurement
heterodyne laser interferometry
Abbe error
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
线性位移台直线度高精密外差干涉测量装置
金涛
刘景林
杨卫
乐燕芬
侯文玫
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
9
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