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β-BBO基ZrO_2/SiO_2倍频增透膜的结构和成分对光学性能的影响
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作者 陈长琦 鲁嘉 +3 位作者 方应翠 王君 李万福 周瑞 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期413-417,430,共6页
利用Macload软件对四层ZrO2/SiO2膜系进行优化设计,以β-偏硼酸钡晶体(-βBaB2O4)为基底,采用电子束蒸发方法、离子束辅助沉积技术和真空退火处理,制备出ZrO2/SiO2非规整倍频增透膜,其在波长532 nm和1064 nm处反射率小于0.35%和透射率高... 利用Macload软件对四层ZrO2/SiO2膜系进行优化设计,以β-偏硼酸钡晶体(-βBaB2O4)为基底,采用电子束蒸发方法、离子束辅助沉积技术和真空退火处理,制备出ZrO2/SiO2非规整倍频增透膜,其在波长532 nm和1064 nm处反射率小于0.35%和透射率高于90%,与软件设计膜系得到的理论值相一致。研究结果表明薄膜的填隙密度越高,致密度越好,其光学性能也越好。 展开更多
关键词 ZrO2/SiO2非规整倍频增透膜 光学性能 电子束蒸发 离子束辅助沉积技术 真空退火
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离子束辅助沉积钼酸铅晶体表面红外增透膜 被引量:2
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作者 周团团 胡焕林 孙嵩泉 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2003年第2期242-245,共4页
由于钼酸铅晶体具有优异的机械特性、光学特性及较高的声光品质因数,故采用离子束辅助沉积技术,在钼酸铅晶体表面制备了宽带红外增透膜。文章简单介绍了镀膜设备的改造特点,并对整个工艺过程进行了分析研究。试验表明所镀膜层的光学特... 由于钼酸铅晶体具有优异的机械特性、光学特性及较高的声光品质因数,故采用离子束辅助沉积技术,在钼酸铅晶体表面制备了宽带红外增透膜。文章简单介绍了镀膜设备的改造特点,并对整个工艺过程进行了分析研究。试验表明所镀膜层的光学特性及膜层品质大大提高,在光纤通信领域具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 钼酸铅晶体 红外增透膜 真空系统 光学性能 膜层稳定性 透射率
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钼酸铅晶体表面红外增透膜的研究 被引量:1
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作者 周团团 胡焕林 孙嵩泉 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期392-394,共3页
本文讨论了用于钼酸铅晶体表面的宽带红外增透膜的设计以及其在真空环境中的制备。膜系设计中 ,运用反射率图解法以获得满意的光学性能 ;与传统的热蒸发镀膜工艺相比 ,在真空沉积过程中采用了离子辅助沉积技术 ,从而大大提高了膜层的光... 本文讨论了用于钼酸铅晶体表面的宽带红外增透膜的设计以及其在真空环境中的制备。膜系设计中 ,运用反射率图解法以获得满意的光学性能 ;与传统的热蒸发镀膜工艺相比 ,在真空沉积过程中采用了离子辅助沉积技术 ,从而大大提高了膜层的光学特性及膜层品质。试验表明所镀膜层性能优异 。 展开更多
关键词 钼酸铅晶体 红外增透膜 膜系设计 光纤通信 光学器件 真空沉积 离子辅助沉积
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