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氧气流量对MPCVD法制备超纳米金刚石膜的影响
被引量：
1
1
作者
江彩义
髙冀芸
+5 位作者
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第A01期66-69,共4页
采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH_4/H_2/Ar为气源,通过调节O_2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱及X射线光电子能谱(XPS)分别...
采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH_4/H_2/Ar为气源,通过调节O_2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱及X射线光电子能谱(XPS)分别对超纳米金刚石膜的形貌、生长速率、晶型、晶粒尺寸及金刚石含量进行了表征分析,重点研究了O_2流量对晶粒尺寸及金刚石含量的影响。实验结果表明,随O_2流量的增加,平均晶粒尺寸从8.4nm增大至16.1nm,随后减小至9.6nm;当O_2流量为0.7sccm时,金刚石相含量由71.58%提升至85.46%,平均晶粒尺寸约为9.6nm。
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关键词
氧气流量
MPCVD
超纳米金刚石膜
金刚石含量
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职称材料
MPCVD制备金刚石膜的形核与生长过程
被引量：
3
2
作者
江彩义
髙冀芸
+5 位作者
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期83-88,共6页
简要介绍了金刚石膜的物理化学特性及应用领域。对比分析了主要化学气相沉积方法的优缺点,并指出MPCVD所面临的技术瓶颈。总结了反应腔体内压强、基片温度、基体材料及增强形核技术对金刚石膜形核过程的影响。较低腔体内压力、基片温度...
简要介绍了金刚石膜的物理化学特性及应用领域。对比分析了主要化学气相沉积方法的优缺点,并指出MPCVD所面临的技术瓶颈。总结了反应腔体内压强、基片温度、基体材料及增强形核技术对金刚石膜形核过程的影响。较低腔体内压力、基片温度,高碳源浓度及等离子体预处理能有效提高形核密度。阐述了各过程参数对金刚石膜生长的影响和微米、纳米、超纳米金刚石膜的技术特点及应用。指出各类金刚石膜制备所面临的技术难题,并综述了解决该技术瓶颈的最新研究工作。
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关键词
金刚石膜
微波等离子体
化学气相沉积
形核
生长
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职称材料
预合金结合剂成分及烧结工艺对金刚石工具性能的影响
被引量：
3
3
作者
侯明
郭胜惠
+3 位作者
高冀芸
杨黎
王梁
叶小磊
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第14期2403-2407,共5页
以Fe40Cu40Co20预合金粉、Cu80Sn20预合金粉和WC粉为原料,通过真空无压烧结方法制得金刚石工具胎体样品,并采用扫描电子显微镜、洛氏硬度计、阿基米德排水法分析了预合金粉含量对样品微观形貌、硬度和相对致密度的影响。结果表明,Fe40Cu...
以Fe40Cu40Co20预合金粉、Cu80Sn20预合金粉和WC粉为原料,通过真空无压烧结方法制得金刚石工具胎体样品,并采用扫描电子显微镜、洛氏硬度计、阿基米德排水法分析了预合金粉含量对样品微观形貌、硬度和相对致密度的影响。结果表明,Fe40Cu40Co20预合金粉、Cu80Sn20预合金粉和WC粉含量分别为50%、40%和10%时,样品具有最佳的综合力学性能,胎体的相对致密度和硬度分别达到94.6%和105HRB。在此基础上,探讨了最佳胎体配方条件下冷压压力及保温时间对样品力学性能的影响,研究发现冷压压力为45MPa、烧结保温时间为30min时,样品具有良好的综合力学性能。本工作可为建立金刚石工具的无压烧结方法提供前期实验探索。
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关键词
预合金粉
真空无压烧结
烧结工艺
金刚石工具
力学性能
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职称材料
题名
氧气流量对MPCVD法制备超纳米金刚石膜的影响
被引量：
1
1
作者
江彩义
髙冀芸
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
机构
昆明理工大学超硬材料先进制备技术国际联合研究中心
昆明理工大学
非常规冶金教育部重点实验室
云南民族
大学
化学与环境学院
昆明理工大学
微波能工程应用与装备
技术
国家地方
联合
工程实验室
昆明理工大学
冶金与能源工程学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第A01期66-69,共4页
基金
国家自然科学基金(51604134)
云南省教育厅科学研究基金(2016ZZX040)
+1 种基金
国家国际科技合作项目对俄专项(2015DFR50620)
昆明市科技计划项目(2014-04-A-H-02-3085)
文摘
采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH_4/H_2/Ar为气源,通过调节O_2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱及X射线光电子能谱(XPS)分别对超纳米金刚石膜的形貌、生长速率、晶型、晶粒尺寸及金刚石含量进行了表征分析,重点研究了O_2流量对晶粒尺寸及金刚石含量的影响。实验结果表明,随O_2流量的增加,平均晶粒尺寸从8.4nm增大至16.1nm,随后减小至9.6nm;当O_2流量为0.7sccm时,金刚石相含量由71.58%提升至85.46%,平均晶粒尺寸约为9.6nm。
关键词
氧气流量
MPCVD
超纳米金刚石膜
金刚石含量
Keywords
oxygen flow rate
MPCVD
ultrananocrystalline diamond film
diamond phase content
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
MPCVD制备金刚石膜的形核与生长过程
被引量：
3
2
作者
江彩义
髙冀芸
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
机构
昆明理工大学
昆明理工大学
昆明理工大学
云南民族
大学
昆明理工大学
冶金与能源工程学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期83-88,共6页
基金
国家国际科技合作专项项目(L2015RR0101)
昆明市科技计划项目(2014-01-01-A-H-02-0002)
文摘
简要介绍了金刚石膜的物理化学特性及应用领域。对比分析了主要化学气相沉积方法的优缺点,并指出MPCVD所面临的技术瓶颈。总结了反应腔体内压强、基片温度、基体材料及增强形核技术对金刚石膜形核过程的影响。较低腔体内压力、基片温度,高碳源浓度及等离子体预处理能有效提高形核密度。阐述了各过程参数对金刚石膜生长的影响和微米、纳米、超纳米金刚石膜的技术特点及应用。指出各类金刚石膜制备所面临的技术难题,并综述了解决该技术瓶颈的最新研究工作。
关键词
金刚石膜
微波等离子体
化学气相沉积
形核
生长
Keywords
diamond films, microwave plasma, chemical vapor deposition, nucleation, growth
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
预合金结合剂成分及烧结工艺对金刚石工具性能的影响
被引量：
3
3
作者
侯明
郭胜惠
高冀芸
杨黎
王梁
叶小磊
机构
昆明理工大学
复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室
昆明理工大学
冶金与能源工程学院
昆明理工大学
国家
超
硬
材料
先进
制备
技术
国际联合研究中心
昆明理工大学
微波能工程应用和装备
技术
国家地方
联合
工程实验室
云南民族
大学
化学与环境学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第14期2403-2407,共5页
基金
国家自然科学基金(51864028
51604134)
+3 种基金
云南省应用基础研究计划(2018FD053
2018FA029)
云南省教育厅科学研究基金(2018JS306)
国家国际科技合作项目(2015DFR50620)~~
文摘
以Fe40Cu40Co20预合金粉、Cu80Sn20预合金粉和WC粉为原料,通过真空无压烧结方法制得金刚石工具胎体样品,并采用扫描电子显微镜、洛氏硬度计、阿基米德排水法分析了预合金粉含量对样品微观形貌、硬度和相对致密度的影响。结果表明,Fe40Cu40Co20预合金粉、Cu80Sn20预合金粉和WC粉含量分别为50%、40%和10%时,样品具有最佳的综合力学性能,胎体的相对致密度和硬度分别达到94.6%和105HRB。在此基础上,探讨了最佳胎体配方条件下冷压压力及保温时间对样品力学性能的影响,研究发现冷压压力为45MPa、烧结保温时间为30min时,样品具有良好的综合力学性能。本工作可为建立金刚石工具的无压烧结方法提供前期实验探索。
关键词
预合金粉
真空无压烧结
烧结工艺
金刚石工具
力学性能
Keywords
pre-alloyed powder
vacuum pressureless sintering
sintering process
diamond tools
mechanical properties
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧气流量对MPCVD法制备超纳米金刚石膜的影响
江彩义
髙冀芸
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
MPCVD制备金刚石膜的形核与生长过程
江彩义
髙冀芸
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
预合金结合剂成分及烧结工艺对金刚石工具性能的影响
侯明
郭胜惠
高冀芸
杨黎
王梁
叶小磊
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
3
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职称材料
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