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高度有序多孔氧化铝模板影响因素的研究 被引量:2
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作者 尚杰 刘丽来 +2 位作者 闫红丹 孙亮 张鹏翔 《贵金属》 CAS CSCD 2008年第1期35-39,共5页
在酸性电解液中,用阳极氧化法制备得到了多孔阳极氧化铝(anodic aluminum oxide,AAO)模板。用金相显微镜观察了铝片表面上的晶界,并结合扫描电镜对多孔氧化铝薄膜进行了观察和表征。研究了影响多孔氧化铝模板孔洞有序性的关键性因素。... 在酸性电解液中,用阳极氧化法制备得到了多孔阳极氧化铝(anodic aluminum oxide,AAO)模板。用金相显微镜观察了铝片表面上的晶界,并结合扫描电镜对多孔氧化铝薄膜进行了观察和表征。研究了影响多孔氧化铝模板孔洞有序性的关键性因素。实验结果表明,多孔阳极氧化铝膜的有序度依赖于铝箔预处理、电极材料、氧化电压和电解液类型及温度等因素。 展开更多
关键词 金属材料 阳极氧化铝(AAO)模板 阳极氧化 有序阵列 铂电极
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LaCaMnO_3薄膜LITV信号脉冲宽度研究 被引量:2
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作者 杨永安 何永泰 +1 位作者 刘翔 张鹏翔 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期836-837,840,共3页
基于激光感生热电电压(LITV)信号脉冲宽度对LaCaMnO3薄膜激光功率/能量计的精确度和稳定性有很大的影响,文章在实验的基础上对LITV信号脉冲宽度与薄膜厚度的关系进行了研究。
关键词 脉冲宽度 信号 激光功率 激光感生 薄膜厚度 稳定性 精确度 能量计
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原子层热电堆热(光)电探测器的原理及研究现状 被引量:3
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作者 王勇 虞澜 +2 位作者 陈思功 晏国文 张鹏翔 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期33-37,46,共6页
概述了基于晶体的各向异性Seebeck效应的原子层热电堆热(光)电探测器的基本原理和优点,并从材料体系的选择和器件的主要应用等方面阐述了该类型探测器的国内外研究现状,预测了原子层热电堆探测器在新材料、材料维度和新热源探索等的发... 概述了基于晶体的各向异性Seebeck效应的原子层热电堆热(光)电探测器的基本原理和优点,并从材料体系的选择和器件的主要应用等方面阐述了该类型探测器的国内外研究现状,预测了原子层热电堆探测器在新材料、材料维度和新热源探索等的发展方向。 展开更多
关键词 各向异性Seebeck效应 原子层热电堆 热电探测器 光电探测器
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阳极氧化铝模板有序度影响因素的研究 被引量:2
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作者 尚杰 刘丽来 +2 位作者 闫红丹 孙亮 张鹏翔 《电镀与精饰》 CAS 2008年第1期29-32,共4页
在酸性电解液中,用阳极氧化法制备了多孔阳极氧化铝模板。用金相显微镜观察了铝箔退火前后的表面形貌,并结合扫描电镜对多孔氧化铝薄膜进行了形貌观察和表征。研究了影响多孔氧化铝模板孔有序性(分布均匀,大小一致)的关键性因素。实验... 在酸性电解液中,用阳极氧化法制备了多孔阳极氧化铝模板。用金相显微镜观察了铝箔退火前后的表面形貌,并结合扫描电镜对多孔氧化铝薄膜进行了形貌观察和表征。研究了影响多孔氧化铝模板孔有序性(分布均匀,大小一致)的关键性因素。实验结果表明,多孔阳极氧化铝膜结构特性依赖于铝箔预处理、氧化电压、电解液类型和温度等的选择。 展开更多
关键词 氧化铝模板 阳极氧化 有序度 氧化电压 预处理
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在酸、碱条件下甘氨酸酐在正电性纳米银上的SERS研究 被引量:6
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作者 司民真 自兴发 +1 位作者 武荣国 张鹏翔 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1472-1475,共4页
测定了甘氨酸酐的Raman谱以及甘氨酸酐在酸、碱环境条件下在正电性纳米银上的表面增强拉曼散射光谱(SERS),用B3LYP/6-31g(d)计算了甘氨酸酐的Raman光谱,借助理论计算的结果对实验得出的Raman光谱及酸性环境条件下的SERS进行了指认,得知... 测定了甘氨酸酐的Raman谱以及甘氨酸酐在酸、碱环境条件下在正电性纳米银上的表面增强拉曼散射光谱(SERS),用B3LYP/6-31g(d)计算了甘氨酸酐的Raman光谱,借助理论计算的结果对实验得出的Raman光谱及酸性环境条件下的SERS进行了指认,得知在此条件下分子物理吸附在纳米银上;碱性环境条件下的甘氨酸酐的SERS与酸性环境条件下的甘氨酸酐的SERS谱及甘氨酸酐的Raman谱相比有了较大的变化,经过分析,可以认为甘氨酸酐可能在银表面发生水解反应成了为甘氨酸二肽。 展开更多
关键词 甘氨酸酐 正电性纳米银 RAMAN光谱 SERS 吸附 密度泛函理论
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Au-MgF_2与Ag-MgF_2靶材制备的实验研究 被引量:1
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作者 唐亚陆 付兴国 +2 位作者 张辉 张鹏翔 陈亮维 《贵金属》 CAS CSCD 2007年第2期33-36,共4页
Au-MgF2与Ag-MgF2薄膜是一种新型复合材料,PLD和磁控溅射是很好的镀薄膜方法。文章介绍了MgF2靶材、Ag-MgF2靶材及Au-MgF2靶材的制备方法。通过实验摸索,得出MgF2靶材的压片条件;通过不同温度下烧结MgF2靶材,得出了MgF2被氧化的初始温... Au-MgF2与Ag-MgF2薄膜是一种新型复合材料,PLD和磁控溅射是很好的镀薄膜方法。文章介绍了MgF2靶材、Ag-MgF2靶材及Au-MgF2靶材的制备方法。通过实验摸索,得出MgF2靶材的压片条件;通过不同温度下烧结MgF2靶材,得出了MgF2被氧化的初始温度及其烧结的最佳温度和烧结时间;通过与真空炉烧结及氩气保护中烧结对比,获得在空气氛围中烧结MgF2的简易方法。 展开更多
关键词 金属材料 Au-MgF2 Ag-MgF2 PLD 烧结温度 MGO xRD检测
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巨磁阻薄膜激光感生电压的温度稳定性研究 被引量:1
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作者 崔文东 张鹏翔 +3 位作者 刘翔 张国勇 谈松林 戴永年 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期636-638,共3页
为了研究温度对激光感生热电电压的影响,采用脉冲激光沉积方法制备了La1-XCaXMnO(LCMO),La1-XPbXMnO(LPMO)和La1-XSrXCoO(LSCO)3种薄膜。用锁相斩波系统测量了激光感生热电电压依环境温度的变化并定义了温度系数,进行了理论分析和实验论... 为了研究温度对激光感生热电电压的影响,采用脉冲激光沉积方法制备了La1-XCaXMnO(LCMO),La1-XPbXMnO(LPMO)和La1-XSrXCoO(LSCO)3种薄膜。用锁相斩波系统测量了激光感生热电电压依环境温度的变化并定义了温度系数,进行了理论分析和实验论证,取得了温度系数数据。结果表明,LSCO的温度系数最小并为正温度系数,LC-MO温度系数最大是负温度系数,LPMO温度系数为正。这一结果对激光感生电压器件的稳定性是有帮助的。 展开更多
关键词 薄膜 温度系数 锁相斩波系统 激光感生热电电压信号
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激光感生热电电压信号的衰减时间研究 被引量:1
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作者 熊飞 张辉 +1 位作者 杨有利 张鹏翔 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期307-309,332,共4页
为了研究激光感生热电电压(laser-induced thermoelectric voltage,LITV)信号的衰减时间与薄膜物性参量的定量关系,采用脉冲激光沉积法制备了 YBa_2Cu_3O_(7-x),La(0.67)Ca_(0.33)MnO_3,La_(0.67)Pb_(0.33)MnO_3薄膜,测量了248nm 的脉... 为了研究激光感生热电电压(laser-induced thermoelectric voltage,LITV)信号的衰减时间与薄膜物性参量的定量关系,采用脉冲激光沉积法制备了 YBa_2Cu_3O_(7-x),La(0.67)Ca_(0.33)MnO_3,La_(0.67)Pb_(0.33)MnO_3薄膜,测量了248nm 的脉冲激光辐照在薄膜中诱导产生的 LITV 信号,并且基于激光与薄膜相互作用的光热过程推导出的 LITV 信号衰减时间常数的表达式。结果表明,LITV 信号呈指数衰减,变化规律与 LITV 效应的理论模型相吻合;LITV 信号的衰减时间仅决定于薄膜的热传导性能,是薄膜热扩散系数的函数;根据 LITV 信号的衰减时间可以计算薄膜的热扩散系数,从而提出通过测量LITV 信号的衰减时间来研究薄膜热扩散系数的新方法。 展开更多
关键词 薄膜 响应时间 激光感生热电电压 热扩散系数
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电解法制备纳米溴化银溶胶及其SERS活性研究 被引量:1
9
作者 司民真 方炎 +1 位作者 董刚 张鹏翔 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期117-120,共4页
将一定量的十六烷基三甲基溴化铵溶于500mL去离子水中作为电解液,用直径为1.0cm、长为10.0cm银棒分别作为阴及阳电极,加上7V直流电压,通电3h,用电解方法得到了乳白色的纳米溴化银溶胶。用吸收光谱、对该进行研究。其吸收峰为292.5nm,透... 将一定量的十六烷基三甲基溴化铵溶于500mL去离子水中作为电解液,用直径为1.0cm、长为10.0cm银棒分别作为阴及阳电极,加上7V直流电压,通电3h,用电解方法得到了乳白色的纳米溴化银溶胶。用吸收光谱、对该进行研究。其吸收峰为292.5nm,透射式电镜表明纳米溴化银粒径分布在一个较大的范围,既有大小不一的球形粒子,也有大小不一的椭球形粒子,部分粒子产生了凝聚。为测试该纳米溴化银溶胶是否具有表面增强拉曼散射(SERS)活性,选用了阳离子型分子甲基橙(Methylorange)、中性分子苏丹红(Sudanred)及吡啶(Pyridine)作为测试分子,用二次去离子水配成适当浓度后,与纳米溴化银溶胶按1∶1的比例混合后,置入毛细管样品池中用Renishaw2000测定,激发波长514.5nm。结果发现电解法制备的纳米溴化银对这三种分子都具有较强的SERS活性,甲基橙中明显增强的峰是1123,1146,1392,1448,1594cm-1;苏丹红中明显增强的峰是1141,1179,1433,1590cm-1;吡啶中明显增强的峰是1003,1034,1121cm-1。值得注意的是在该方法制备的纳米溴化银上,得到了在常规方法制备的黄银胶、灰银胶上得不到的甲基橙分子的SERS谱,对可能的原因进行了讨论。 展开更多
关键词 电解法 纳米银 甲基橙 SERS
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Na_(2x)Ca_(1-x)Bi_4Ti_4O_(15)介电陶瓷的制备及其介电性能的研究
10
作者 徐静 范素华 +2 位作者 何波 任艳霞 张丰庆 《陶瓷学报》 CAS 2006年第2期187-192,共6页
采用固相烧结法制备了Na+1掺杂的CaBi4Ti4O(15CBT)铋系层状钙态矿无铅介电陶瓷。利用XRD、SEM和宽频LCR数字电桥分析了掺杂量、烧结温度等因素对CBT陶瓷晶相、微观形貌及介电性能的影响。研究表明,采用860℃预烧,保温3小时,1150℃终烧,... 采用固相烧结法制备了Na+1掺杂的CaBi4Ti4O(15CBT)铋系层状钙态矿无铅介电陶瓷。利用XRD、SEM和宽频LCR数字电桥分析了掺杂量、烧结温度等因素对CBT陶瓷晶相、微观形貌及介电性能的影响。研究表明,采用860℃预烧,保温3小时,1150℃终烧,保温1h的烧结工艺,Na2xCa1-xBi4Ti4O15(x=8mol%)的介电陶瓷致密性好、结晶性好,具有良好的介电性能。 展开更多
关键词 固相烧结法 介电性能 Na^+1掺杂CBT陶瓷
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微波加热法快速制备纳米银及其SERS活性研究 被引量:19
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作者 司民真 方炎 +1 位作者 董刚 张鹏翔 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期1034-1037,共4页
将一定浓度的硝酸银及柠檬酸三钠混合后,用微波加热法根据加热时间及加热方式的不同,制备出了5个纳米银溶胶样品.用电泳仪、吸收光谱、透射电镜对这5个样品进行了表征,发现加热时间短时,纳米银表面带正电,加热时间长时纳米银表面带负电... 将一定浓度的硝酸银及柠檬酸三钠混合后,用微波加热法根据加热时间及加热方式的不同,制备出了5个纳米银溶胶样品.用电泳仪、吸收光谱、透射电镜对这5个样品进行了表征,发现加热时间短时,纳米银表面带正电,加热时间长时纳米银表面带负电,且加热时间长时吸收峰红移,纳米银尺寸增大.为测试该纳米银溶胶是否具有表面增强喇曼散射(SERS)活性,选用了阳离子型分子碱性品红(Fuchsine basic)、亚甲基蓝(Methylene blue),阴离子型分子苯甲酸(Benzoic acid),中性分子丫啶橙(Alcidine orange)、苏丹红(Sudan red)作为其SERS活性的测试分子,进行SERS研究.结果发现,所制备的纳米银除样品5对苏丹红分子无增强效应外,其余样品对所选分子都具有较好的增强效果. 展开更多
关键词 微波加热法 纳米银 SERS
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几种农药的显微拉曼光谱和荧光光谱 被引量:27
12
作者 肖怡琳 张鹏翔 钱晓凡 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期579-581,共3页
首次用显微拉曼光谱仪测试了几种用于粮食、蔬菜、水果的农药的拉曼光谱和荧光光谱。从一些市售农药上记录到了分子振动特征峰 ,从而可以区分这些农药。此外一些市售农药的荧光光谱也很不同。据此 ,可利用拉曼光谱仪根据拉曼谱和荧光光... 首次用显微拉曼光谱仪测试了几种用于粮食、蔬菜、水果的农药的拉曼光谱和荧光光谱。从一些市售农药上记录到了分子振动特征峰 ,从而可以区分这些农药。此外一些市售农药的荧光光谱也很不同。据此 ,可利用拉曼光谱仪根据拉曼谱和荧光光谱的不同 ,实时实地和快速地识别这些农药及其在粮食、蔬菜、水果表面上的可能残留。 展开更多
关键词 农药残留 快速测量 显微拉曼光谱 荧光光谱 现场测量
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阳极氧化铝模板中直接直流电沉积铁纳米线 被引量:10
13
作者 刘丽来 闫红丹 +2 位作者 尚杰 李学铭 张鹏翔 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期104-106,共3页
本文提出了一种在多孔阳极氧化铝(Anodic Aluminum Oxide)模板中直接直流电沉积铁纳米线的新方法。采用阶梯降压法减薄致密的阻挡层,以Al基底为阴极,铂电极为阳极,直接在制备AAO模板的装置中进行直流电沉积。用SEM对制备的AAO模板及铁... 本文提出了一种在多孔阳极氧化铝(Anodic Aluminum Oxide)模板中直接直流电沉积铁纳米线的新方法。采用阶梯降压法减薄致密的阻挡层,以Al基底为阴极,铂电极为阳极,直接在制备AAO模板的装置中进行直流电沉积。用SEM对制备的AAO模板及铁纳米线进行了形貌表征,结果表明:制备的铁纳米线分布均匀,直径约为50nm,粗细与模板的孔径基本相同。本实验工艺简单,同时避开了AAO模板薄、脆、易碎的特点,从而使制备大面积的铁纳米线成为了可能。 展开更多
关键词 阳极氧化铝模板 铁纳米线 电沉积
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超巨磁电阻薄膜物理及应用 被引量:10
14
作者 张鹏翔 陈雪梅 +1 位作者 王茺 常雷 《红外技术》 CSCD 北大核心 2004年第3期53-62,共10页
由于在外界温度变化和磁场作用下表现出巨大的磁电阻效应(CMR),超巨磁电阻材料成为一个热点研究课题。CMR材料在硬盘读出磁头,随机存储器上极具潜力,在磁传感器、光热辐射探测器、场效应晶体管及磁制冷等方面的应用也崭露头角。首先介绍... 由于在外界温度变化和磁场作用下表现出巨大的磁电阻效应(CMR),超巨磁电阻材料成为一个热点研究课题。CMR材料在硬盘读出磁头,随机存储器上极具潜力,在磁传感器、光热辐射探测器、场效应晶体管及磁制冷等方面的应用也崭露头角。首先介绍了CMR薄膜材料的结构和机理,接着详细讨论了它们在器件应用上,尤其是在激光感生电压热电电压效应(LITV)、Bolometer、传感器等有关方面的应用进展。最后展望了CMR薄膜未来的应用前景。 展开更多
关键词 超巨磁电阻材料 激光感生热电势效应 探测器 磁制冷 场效应晶体管 晶体结构
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PLD系统中硅板加热器温度的影响因素 被引量:3
15
作者 彭巨擘 张鹏翔 +3 位作者 陈大鹏 虞澜 朱绍将 王茺 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期731-732,共2页
研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素。通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件 ,发现 :1 硅板上各部分的温度不是均匀分布的 ;2 衬底放在硅板上时 ,衬底温度和硅板温度有很大的不同 ;3 在相同的硅板加热电... 研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素。通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件 ,发现 :1 硅板上各部分的温度不是均匀分布的 ;2 衬底放在硅板上时 ,衬底温度和硅板温度有很大的不同 ;3 在相同的硅板加热电流下 ,硅板温度随硅板环境的真空度不同而变化。不细致考虑上述因素时 ,脉冲激光沉积 (PLD) 展开更多
关键词 PLD系统 硅板加热器 温度 影响因素 红外测温仪 真空度 脉冲激光沉积
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正电性胶态纳米银中加入凝聚剂后的表面增强拉曼光谱 被引量:8
16
作者 司民真 徐媛 +1 位作者 武荣国 张鹏翔 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期2251-2253,共3页
在柠檬酸还原制备的正电性胶态纳米银中加入凝聚剂HNO3和NaNO3后,用波长为633 nm的激光激发,获得了较强的表面增强拉曼散射光谱(SERS谱),通过讨论及实验明确该SERS谱是来自于还原剂中的柠檬酸根离子,并说明该方法制备的纳米银的吸附层... 在柠檬酸还原制备的正电性胶态纳米银中加入凝聚剂HNO3和NaNO3后,用波长为633 nm的激光激发,获得了较强的表面增强拉曼散射光谱(SERS谱),通过讨论及实验明确该SERS谱是来自于还原剂中的柠檬酸根离子,并说明该方法制备的纳米银的吸附层是带正电的银离子,扩散层是带负电的柠檬酸根离子。 展开更多
关键词 正电性胶态纳米银 凝聚剂 SERS 柠檬酸根离子
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化学共沉淀法低温合成La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3多晶 被引量:4
17
作者 杨有利 伍光凤 +1 位作者 严磊 张鹏翔 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2007年第16期16-18,共3页
分别以草酸铵和碳酸氢铵为沉淀剂,用化学共沉淀法制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)样品。用XRD分析了物相、结构与晶粒大小,用电阻-温度系统绘制了电阻-温度曲线。结果表明,1150℃烧结,用草酸铵和碳酸氢铵法制备的La0.5Sr0.5CoO3均为单一... 分别以草酸铵和碳酸氢铵为沉淀剂,用化学共沉淀法制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)样品。用XRD分析了物相、结构与晶粒大小,用电阻-温度系统绘制了电阻-温度曲线。结果表明,1150℃烧结,用草酸铵和碳酸氢铵法制备的La0.5Sr0.5CoO3均为单一立方钙钛矿多晶。晶体参数分别为0.384、0.383nm。晶粒垂直于(110)面的尺寸分别为37nm与32.8nm。草酸铵作沉淀剂的烧结温度比碳酸氢铵的低,比固相烧结反应法的低至少150℃。La0.5Sr0.5CoO3均为半导体,有良好的电阻-温度关系,190-280时两种沉淀剂法制备的LSCO的平均激活能分别是30、150eV。 展开更多
关键词 La0.5Sr0.5CoO3 化学共沉淀法 草酸铵 碳酸氢铵
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氧气氛后退火对La_(0.67)Ca_(0.33)MnO_3-Ag薄膜性能的影响 被引量:2
18
作者 朱绍将 刘翔 +2 位作者 彭巨擘 严磊 张鹏翔 《贵金属》 CAS CSCD 2003年第4期49-52,共4页
用脉冲激光溅射 (PLD)法在LaAlO3( 1 0 0 )单晶衬底上制备了掺 4 0wt%Ag的超巨磁电阻材料La0 67Ca0 33MnO3薄膜。在氧气氛中经高温处理后薄膜显示了近室温的金属 -绝缘体相变点 (TMI≈ 30 0K) ,与通常提高TMI的结果相比较 ,此工艺较... 用脉冲激光溅射 (PLD)法在LaAlO3( 1 0 0 )单晶衬底上制备了掺 4 0wt%Ag的超巨磁电阻材料La0 67Ca0 33MnO3薄膜。在氧气氛中经高温处理后薄膜显示了近室温的金属 -绝缘体相变点 (TMI≈ 30 0K) ,与通常提高TMI的结果相比较 ,此工艺较好地保持了材料相变点区间的陡度 ,且电阻温度系数 (TCR)在此区内仍达到 8%。这为制造近室温磁敏感元件、自旋电子学器件、辐射热探测器等提供了重要材料。 展开更多
关键词 低维金属材料 超巨磁电阻材料 金属-绝缘体相变 电阻温度系数 薄膜 脉冲激光溅射 退火
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氧压对Zn_(1-x)Al_xO薄膜结构的影响及激光感生电压效应 被引量:1
19
作者 李勇 张辉 +1 位作者 周小芳 张鹏翔 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期130-132,140,共4页
为了研究不同退火氧压对铝掺杂氧化锌薄膜结晶质量和激光感生电压效应的影响,采用脉冲激光沉积法在蓝宝石(0001)单晶平衬底上制备了薄膜,并利用X射线衍射对薄膜的结构进行了表征,测量了薄膜在紫外脉冲激光辐照下诱导产生的激光感生电压... 为了研究不同退火氧压对铝掺杂氧化锌薄膜结晶质量和激光感生电压效应的影响,采用脉冲激光沉积法在蓝宝石(0001)单晶平衬底上制备了薄膜,并利用X射线衍射对薄膜的结构进行了表征,测量了薄膜在紫外脉冲激光辐照下诱导产生的激光感生电压信号,对结果进行了理论分析和实验验证,成功制备出了单一取向的薄膜,确定了最佳生长条件,并利用这一条件在倾斜蓝宝石衬底上制备了薄膜。结果表明,当薄膜受到波长为248nm、脉冲宽度为20ns的脉冲激光照射时,在薄膜两端存在较大的激光感生电压信号,其最大值为0.532V,且随着退火氧压的增大,激光感生电压的峰值信号先增大后减小。这一结果对薄膜在紫外探测器方面的应用是有帮助的。 展开更多
关键词 薄膜 脉冲激光沉积 激光感生电压 各向异性泽贝克系数
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氧压对ZnO薄膜电阻温度系数的影响 被引量:1
20
作者 周小芳 张辉 +1 位作者 李勇 张鹏翔 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第2期284-286,共3页
采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在不同氧气氛下,在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜,使用X线衍射仪分析了ZnO薄膜的结晶质量。计算了不同氧气氛下生长的ZnO薄膜的电阻温度系数(TCR)值,发现随着氧分压降低,ZnO薄膜的TCR值增大;ZnO薄膜的TCR值最... 采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在不同氧气氛下,在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜,使用X线衍射仪分析了ZnO薄膜的结晶质量。计算了不同氧气氛下生长的ZnO薄膜的电阻温度系数(TCR)值,发现随着氧分压降低,ZnO薄膜的TCR值增大;ZnO薄膜的TCR值最高可达-8%/K。这为研究ZnO薄膜的导电特性提供了新的途径,开辟了ZnO薄膜在室温非制冷红外微测辐射热计材料中的应用潜力。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 电阻温度系数 脉冲激光沉积(PLD)
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