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采用神经网络控制的超精密平面定位: 1; 作者张金龙余玲玲 +1 位作者内田敬久刘京南《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期5-8,共4页; 设计了一种基于激光莫尔信号的超精密平面定位装置,该装置可实现高精度位置检测及X-Y-θ 三自由度的全自动精密平面定位。激光莫尔信号传感器为相位相差 180°的两组衍射光栅,构成差动光栅技术,可有效提高位置检测信号灵敏度及定位... 展开更多; 关键词莫尔信号精密定位神经网络智能控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于反射式激光莫尔信号的精密定位控制: 2; 作者周礼中古桥秀夫内田悦行《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期118-120,共3页; 介绍了反射式激光莫尔信号特性和差动式精密定位方法 ,用实验验证了反射式激光莫尔信号特性的实验测定结果与理论计算结果的一致性。; 关键词反射式激光莫尔信号精密定位控制定位精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

精密定位装置光栅倾斜时的定位精度: 3; 作者周礼中谢勇 +1 位作者古桥秀夫内田悦行《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第9期67-68,73,共3页; 介绍了激光莫尔信号精密定位装置中光栅倾斜时莫尔信号的位移特性,给出了光栅倾斜时差动式和修正式精密定位方法、定位精度的计算机仿真计算结果,说明了装置中光栅设定的角度倾斜如何影响精密定位装置的定位精度。; 关键词定位精度激光莫尔信号光栅倾斜精密定位; 在线阅读下载PDF 职称材料