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太阳能硅片双束激光划槽方法与装置
被引量：
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作者
王涛
李玉翔
+4 位作者
张福军
姚建铨
刘晓雯
李福增
朱超男
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期80-80,共1页
本文提出一种太阳能硅片双束激光划槽方法和装置,它利用Z型谐振腔的Nd:YAG激光器,声光Q开关调制,经直角棱镜发射双束激光,扩束聚焦输出到太阳能硅片表面,划槽最小线宽:20μm,最大划片速度:120mm/s、使生产率提高100%,节约能源30%。
关键词
Z型谐振腔
双束激光
太阳能硅芯片
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职称材料
题名
太阳能硅片双束激光划槽方法与装置
被引量：
1
1
作者
王涛
李玉翔
张福军
姚建铨
刘晓雯
李福增
朱超男
机构
河北工业大学机械学院
无锡浩波光电子有限公司技术部
天津大学激光与光
电子
研究所
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期80-80,共1页
基金
科技型中小企业技术创新基金无偿资助项目
立项代码:07C26223200378
+1 种基金
江苏省高技术研究(工业部分)
项目编号:BG2007007
文摘
本文提出一种太阳能硅片双束激光划槽方法和装置,它利用Z型谐振腔的Nd:YAG激光器,声光Q开关调制,经直角棱镜发射双束激光,扩束聚焦输出到太阳能硅片表面,划槽最小线宽:20μm,最大划片速度:120mm/s、使生产率提高100%,节约能源30%。
关键词
Z型谐振腔
双束激光
太阳能硅芯片
Keywords
Z-type resonator
dual-beam laser
solar silicon chip
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
太阳能硅片双束激光划槽方法与装置
王涛
李玉翔
张福军
姚建铨
刘晓雯
李福增
朱超男
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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