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类金刚石碳膜的微结构与光学特性: 1; 作者杨伟毅龚文宪《华东工学院学报》 CSCD 1992年第5期30-35,共6页; 利用付里叶变换红外(FTIR)光谱仪和X射线激发的CKLL俄歇电子谱的一次微分表征了类金刚石(DLC)膜的微结构。指出在高离子轰击能量和低CH_4压强下,射频等离子体沉积所制得的DLC膜具有好的热稳定性,膜内主要以sp^3 C-C键为主,折射率(红外)... 展开更多; 关键词表面分析类金刚石碳膜微结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

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