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我国电子化学品现状及发展趋势 被引量:6
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作者 丁建良 吴坚 《化工新型材料》 CAS CSCD 2002年第10期4-7,20,共5页
关键词 中国 电子信息产业 化工材料 印制电路板 特种电子气体 封装材料 光刻胶 电子化学品现状 发展趋势
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液态感光阻焊剂的组成及应用
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作者 朱公元 姜建伟 《化工新型材料》 CAS CSCD 1999年第8期15-16,共2页
本文综述了液态感光阻焊剂的组成。
关键词 阻焊剂 液态感光阻焊剂 焊接 印制电路板
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新型抗蚀剂介绍
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作者 金林生 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 1995年第1期29-32,共4页
新型抗蚀剂介绍金林生(无锡市化工研究设计院)1.序言在制作集成电路、大规模集成电路等半导体器件时,其细微加工是通过将抗蚀剂作为保护膜来进行蚀剂(微图复印术)的。这里所谓抗蚀剂就是经过光和放射线的照射,其溶解性发生变化... 新型抗蚀剂介绍金林生(无锡市化工研究设计院)1.序言在制作集成电路、大规模集成电路等半导体器件时,其细微加工是通过将抗蚀剂作为保护膜来进行蚀剂(微图复印术)的。这里所谓抗蚀剂就是经过光和放射线的照射,其溶解性发生变化的涂膜材料,在硅晶基板进行蚀刻的时... 展开更多
关键词 抗蚀剂 防腐剂 半导体材料
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