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低频频率和O_2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O_2放电的影响
1
作者
蒋相站
张季
+3 位作者
李文亮
姚洪斌
刘永新
刘佳
《科学技术与工程》
北大核心
2014年第1期41-44,58,共5页
利用四极杆质谱仪研究了Ar/O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响。研究结果表明当低频频率增大时,离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化,其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩,变得不明显。Ar+离子由于共...
利用四极杆质谱仪研究了Ar/O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响。研究结果表明当低频频率增大时,离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化,其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩,变得不明显。Ar+离子由于共振电荷交换的影响获得更多的低能离子,其平均能量比O2+离子的稍低。增大氧气含量,电离率增大,Ar+离子和O2+离子的高低能峰均向高能区移动,最大能量值逐渐右移。同等条件下的Ar+离子的平均能量均低于O2+离子。
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关键词
双频容性耦合等离子体
四极杆质谱
离子能量分布
平均能量
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职称材料
题名
低频频率和O_2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O_2放电的影响
1
作者
蒋相站
张季
李文亮
姚洪斌
刘永新
刘佳
机构
新疆工程学院新能源材料研究教育厅重点实验室
大连理工大学物理与光电
工程学
院
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2014年第1期41-44,58,共5页
基金
国家自然科学基金重点项目(10635010)
新疆工程学院科研基金(2011XGZ091312)资助
文摘
利用四极杆质谱仪研究了Ar/O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响。研究结果表明当低频频率增大时,离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化,其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩,变得不明显。Ar+离子由于共振电荷交换的影响获得更多的低能离子,其平均能量比O2+离子的稍低。增大氧气含量,电离率增大,Ar+离子和O2+离子的高低能峰均向高能区移动,最大能量值逐渐右移。同等条件下的Ar+离子的平均能量均低于O2+离子。
关键词
双频容性耦合等离子体
四极杆质谱
离子能量分布
平均能量
Keywords
dual frequency capacitively coupled plasma quadrupole mass spectrometer ion ener- gy distribution average energy
分类号
TN136 [电子电信—物理电子学]
O534 [理学—等离子体物理]
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职称材料
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作者
出处
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1
低频频率和O_2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O_2放电的影响
蒋相站
张季
李文亮
姚洪斌
刘永新
刘佳
《科学技术与工程》
北大核心
2014
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职称材料
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