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计算机辅助诊断的新型电子听诊器系统 被引量：7
1
作者 黄梅 刘洪英 +2 位作者 皮喜田 敖一鹭 王孜 《中国医疗器械杂志》 2017年第3期161-165,共5页
听诊是心血管疾病、呼吸系统疾病早期诊断的重要手段。该文提出了计算机辅助诊断的新型电子听诊系统,研制了基于电容式传声器的电子听诊器及相应的智能分析软件。该电子听诊器结合了Bluetooth、OLED、SD卡存储等技术实现了三种模式下的... 听诊是心血管疾病、呼吸系统疾病早期诊断的重要手段。该文提出了计算机辅助诊断的新型电子听诊系统,研制了基于电容式传声器的电子听诊器及相应的智能分析软件。该电子听诊器结合了Bluetooth、OLED、SD卡存储等技术实现了三种模式下的实时听诊、录音存储及回放、听诊音量调节及无线传输等功能。基于PC上位机的智能分析软件以C#为编程语言,SQL Server为后台数据库,实现了听诊音的播放及波形显示,通过计算心率、提取相关特征参数T1、T2、T12、T11分析心音是否正常,生成诊断报告,并可通过邮件将听诊音及诊断报告发送到其他医生邮箱,从而可以进行远程诊断。整个系统功能完善、便携性高、用户体验良好,有利于推动电子听诊器在医院的使用,同时该系统也适用于听诊教学等多种场合。 展开更多
关键词 计算机辅助诊断 电子听诊器 智能分析
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数字微镜光谱仪光谱能量理论的研究与实验 被引量：3
2
作者 张智海 高玲肖 张文凯 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第8期2532-2537,共6页
针对目前微型光谱仪器光通量低,不利于微弱信号检测分析的问题,设计了基于哈达玛变换的近红外光谱仪,提出一种互补S矩阵编码调制的方案;通过建立以数字微镜为核心的坐标体系模型,详细推导了互补S矩阵编码调制算法对于能量的增强理论。... 针对目前微型光谱仪器光通量低,不利于微弱信号检测分析的问题,设计了基于哈达玛变换的近红外光谱仪,提出一种互补S矩阵编码调制的方案;通过建立以数字微镜为核心的坐标体系模型,详细推导了互补S矩阵编码调制算法对于能量的增强理论。实验结果表明:S矩阵编码组合测量较逐次扫描测量光能量有了明显增强,但是依然丢失近一半的光谱能量;而互补S矩阵编码方案可以在S矩阵编码调制的基础上,补偿其关状态微镜单元上损失的能量;当光谱信号极其微弱时,逐次扫描方式所测得的光谱信号淹没于噪声信号中,而S矩阵编码与互补S矩阵编码测得的光谱信号依然可辨,并且在噪声抑制方面,互补S矩阵优于S矩阵,与理论分析基本吻合。 展开更多
关键词 数字微镜光谱仪 互补S矩阵 微弱信号处理 能量理论
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微流控细胞芯片LED诱导荧光检测微系统 被引量：2
3
作者 李栋顺 徐溢 +3 位作者 彭金兰 周桢 甘俊 王尧 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期49-53,共5页
基于微流控细胞芯片分析技术和微机电系统(MEMS)加工技术,设计制作了阵列式微流控细胞检测芯片,采用自组装的顶窗型光电倍增管(PMT)和信号采集电路采集芯片微管道内流动细胞的荧光信号,构建了一种针对低浓度细胞悬浮液的微流控细胞芯片... 基于微流控细胞芯片分析技术和微机电系统(MEMS)加工技术,设计制作了阵列式微流控细胞检测芯片,采用自组装的顶窗型光电倍增管(PMT)和信号采集电路采集芯片微管道内流动细胞的荧光信号,构建了一种针对低浓度细胞悬浮液的微流控细胞芯片发光二极管(LED)诱导荧光的快速检测微系统,实现了对低浓度(≤40 Cell/mL)荧光标记的HepG2肝癌细胞悬浮液样本的定量计数和测试,而且在血液细胞共存的条件下,仍可以有效地对血液中少量HepG2肝癌细胞进行荧光计数和测试.整个系统结构简单、操作方便且检测灵敏度较高. 展开更多
关键词 微流控芯片 HEPG2肝癌细胞 细胞检测 发光二极管(LED)诱导荧光检测微系统
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多参数微型快速生化检测仪光谱扫描自动定位控制系统研究 被引量：3
4
作者 吴卫馨 温志渝 +2 位作者 魏康林 周苏怡 杨庭燕 《光电技术应用》 2013年第6期40-43,90,共5页
样品检测光谱扫描自动定位控制是多参数快速生化检测仪的关键技术之一。针对重庆大学研制的基于微型光谱仪的多参数微型快速生化检测仪,提出并完成了多参数样品检测光谱扫描自动定位控制系统的设计,并基于该控制系统展开了多参数微型快... 样品检测光谱扫描自动定位控制是多参数快速生化检测仪的关键技术之一。针对重庆大学研制的基于微型光谱仪的多参数微型快速生化检测仪,提出并完成了多参数样品检测光谱扫描自动定位控制系统的设计,并基于该控制系统展开了多参数微型快速生化检测仪的联机调试实验研究。实验结果表明:样品检测吸光度的变异系数CV≤1%,吸光度的线性相关系数R2≥0.995,满足半自动生化检测仪的相关技术要求。 展开更多
关键词 微型生化检测仪 自动定位 控制 实验
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基于阵列型压电能量收集器的中高频自供电系统
5
作者 赵晨曦 吴鹏凡 +4 位作者 邱宇 刘洪涛 刘宇 宋益辉 牟笑静 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期644-650,共7页
随着物联网(IoT)的发展,无线自供电传感是实现感知机体状态和飞行环境的重要技术手段。机体振动具有分布范围广,激励频率高和频域宽等特点,单一压电能量收集器难以有效俘获能量。针对上述问题,研制了一套基于阵列型压电能量收集器的自... 随着物联网(IoT)的发展,无线自供电传感是实现感知机体状态和飞行环境的重要技术手段。机体振动具有分布范围广,激励频率高和频域宽等特点,单一压电能量收集器难以有效俘获能量。针对上述问题,研制了一套基于阵列型压电能量收集器的自供电传感系统。该系统由阵列型压电能量收集器、电源管理电路、传感节点、低功耗蓝牙及微控制器组成。压电能量收集器采用压电厚膜方案,在谐振频率693 Hz,2 g下最高平均输出功率密度为4 mW·cm^(-3)·g^(-2)。电源管理电路采用改进的整流器设计和欠压锁定电路(UVLO)实现高效能量传输与能量释放,充电速度是普通整流器的1.3倍,最大输出功率达到1.32 mW,结合微处理器进行时序控制可达到动态平衡,实现了固定间隔时间持续的数据读取和发送。 展开更多
关键词 压电能量收集 民用飞机振动 电源管理 自供电传感系统
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医用超细内窥镜系统研究 被引量：10
6
作者 徐忠 刘洪英 +3 位作者 皮喜田 余巧 练阳 赵亚雄 《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期107-111,共5页
设计了一种医用超细内窥镜系统。采用微型、高分辨率的CMOS图像传感器配合低压差分信号(LVDS)传输技术进行前端摄像探头的设计,使摄像探头直径缩减至5.0 mm,并实现了图像数据的长距离高保真传输;采用基于S3C2440微处理器的ARM开发平台... 设计了一种医用超细内窥镜系统。采用微型、高分辨率的CMOS图像传感器配合低压差分信号(LVDS)传输技术进行前端摄像探头的设计,使摄像探头直径缩减至5.0 mm,并实现了图像数据的长距离高保真传输;采用基于S3C2440微处理器的ARM开发平台对图像数据进行处理,实现了内窥镜图像的清晰显示。以口腔为模拟测试对象对系统摄像功能进行了测试,并与传统内镜进行了对比,证明该系统能够完成内窥镜摄像,且所成图像分辨率高。以口腔溃疡模拟粘膜病变对系统进行测试,证明该系统能有效发现粘膜病变,病变检出率高达90.0%。本系统成像清晰,且镜体直径小,能大大提高病人内镜检查的舒适性,为消化道疾病普查初筛提供了一种理想的解决方案。 展开更多
关键词 CMOS图像传感器 内窥镜 LVDS技术 微型化
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基于G-四联体的纳米探针比色检测铅离子 被引量：10
7
作者 莫志宏 高应梅 +1 位作者 温志渝 范艳萍 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2181-2183,共3页
基于纳米探针和G-四联体建立了简便快速检测铅离子的方法.纳米探针采用金纳米粒子自组装修饰富G寡核苷酸制得,在铅离子存在下,纳米探针上的富G寡核苷酸形成G-四联体,导致纳米探针凝聚变色.在优化条件下,比色检测铅离子的线性范围为48～4... 基于纳米探针和G-四联体建立了简便快速检测铅离子的方法.纳米探针采用金纳米粒子自组装修饰富G寡核苷酸制得,在铅离子存在下,纳米探针上的富G寡核苷酸形成G-四联体,导致纳米探针凝聚变色.在优化条件下,比色检测铅离子的线性范围为48～480 nmol/L,检出限为20 nmol/L;大多数金属离子无明显干扰,而有明显干扰的汞离子可采用与之特异结合的寡核苷酸有效消除.将该法成功用于环境水样中铅离子的检测,重现性(RSD<3.0%)与回收率(98.4%～101.5%)良好. 展开更多
关键词 纳米探针 G-四联体 比色检测 铅离子
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肠道生物机器人中驱动装置的刺激控制系统研究 被引量：4
8
作者 王振宇 皮喜田 +5 位作者 魏亢 周升山 徐林 刘洪英 郑小林 彭承琳 《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期731-739,共9页
针对目前肠道诊疗设备的驱动问题,引入一种全新的肠道诊疗设备—肠道生物机器人。利用生物体作为驱动装置,携带肠道诊疗装置进入肠道内,通过体外的控制中心遥控生物体的运动行为,实现诊疗装置在肠道内主动前进、后退和定点泊位。选取黄... 针对目前肠道诊疗设备的驱动问题,引入一种全新的肠道诊疗设备—肠道生物机器人。利用生物体作为驱动装置,携带肠道诊疗装置进入肠道内,通过体外的控制中心遥控生物体的运动行为,实现诊疗装置在肠道内主动前进、后退和定点泊位。选取黄鳝作为肠道生物机器人的生物体,并在了解其运动控制机理的基础上,设计出刺激控制系统。该系统由刺激电极和刺激器两部分组成,其刺激电极为表面式刺激电极和植入式刺激电极;其刺激器由LabVIEW软件和数据采集卡构成。采用该系统进行体外刺激控制实验,初步获得控制黄鳝前进的方法,证实该系统的可行性。 展开更多
关键词 生物机器人 肠道诊疗 电刺激 控制
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膜片上薄膜体声波谐振器型微加速度计 被引量：4
9
作者 高杨 何婉婧 +2 位作者 李君儒 黄振华 蔡洵 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第2期262-269,共8页
针对"FBAR(薄膜体声波谐振器)-梁"结构悬臂梁厚度不足、"嵌入式FBAR"结构微加工工艺复杂的缺点,提出了新型"膜片上FBAR(FBAR-on-diaphragm)"结构的微加速度计。其弹性膜片由氧化硅/氮化硅复合薄膜构成,... 针对"FBAR(薄膜体声波谐振器)-梁"结构悬臂梁厚度不足、"嵌入式FBAR"结构微加工工艺复杂的缺点,提出了新型"膜片上FBAR(FBAR-on-diaphragm)"结构的微加速度计。其弹性膜片由氧化硅/氮化硅复合薄膜构成,既便于实现与硅微检测质量和FBAR的IC兼容集成加工,也利于改善微加速度计的灵敏度和温度稳定性。对由氧化硅/氮化硅双层复合膜片-硅检测质量惯性力敏结构和氮化铝FBAR检测元件集成的膜片上FBAR型微加速度计进行了初步的性能分析,验证了该结构的可行性。通过有限元模态分析和静力学仿真得出惯性加速度作用下膜片上FBAR结构的固有频率和弹性膜片上的应力分布;选取计算所得的最大应力作为FBAR中压电薄膜的应力载荷,结合依据第一性原理计算得到的纤锌矿氮化铝的弹性系数-应力关系,粗略估计了惯性加速度作用下氮化铝薄膜弹性系数的最大变化量;采用射频仿真软件,通过改变惯性加速度作用下弹性常数所对应的纵波声速,对比空载和不同惯性加速度作用下加速度计的谐振频率,得到加速度计的频率偏移特性和灵敏度。进一步分析仿真结果还发现:氧化硅/氮化硅膜片的一阶固有频率与高阶频率相隔较远,交叉耦合小;惯性加速度作用下,谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数k Hz/g,其加速度-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性。 展开更多
关键词 微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 微加速度计 灵敏度
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MCP-SSHI接口电路实现多通道宽频压电能量的高效提取
10
作者 李继祯 胡宁 +5 位作者 吉振峰 张诗琪 赵晨曦 周美彤 吴良科 牟笑静 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期181-189,共9页
随着物联网和智能系统的快速发展,对传感器网络中能量采集技术的需求不断增加。针对多通道宽频压电能量信号特征差异大、能量提取效率低的问题,提出了一种适用于弱耦合环境的多通道并联同步开关电感(MCP-SSHI)接口电路。该电路保持了高... 随着物联网和智能系统的快速发展,对传感器网络中能量采集技术的需求不断增加。针对多通道宽频压电能量信号特征差异大、能量提取效率低的问题,提出了一种适用于弱耦合环境的多通道并联同步开关电感(MCP-SSHI)接口电路。该电路保持了高模块的拓展性和结构的简洁性,同时还具备处理任意相位关系(0~2π)多通道输入电压的能力。测试结果表明,在处理六路压电能量收集器(PEH)信号时,MCP-SSHI电路可高效提取多通道电能,其能量提取效率高达79.96%,是传统接口电路功率增益的3.24倍。 展开更多
关键词 压电能量收集 电源管理 多通道能量提取 并联同步开关感应(P-SSHI) 自供电
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体声波力传感器灵敏度的微分-综合分析法 被引量：3
11
作者 高杨 赵坤丽 赵俊武 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1-7,共7页
为了分析基于应力/应变效应的体声波(BAW)力传感器的敏感机理、准确计算其灵敏度,提出了一种用于BAW力传感器灵敏度分析的微分-综合分析法。该方法借鉴了微积分的原理,在Mason等效电路模型中将一个完整的BAW谐振器替换为多个谐振器微元... 为了分析基于应力/应变效应的体声波(BAW)力传感器的敏感机理、准确计算其灵敏度,提出了一种用于BAW力传感器灵敏度分析的微分-综合分析法。该方法借鉴了微积分的原理,在Mason等效电路模型中将一个完整的BAW谐振器替换为多个谐振器微元的并联,从而将谐振器有源区面积A上应力/应变场的有限元计算结果与压电薄膜材料的力学特性、谐振器微元的电声学特性关联起来;最后,在射频电路仿真软件中进行等效电路的综合,得到整个BAW谐振器在应力/应变场作用下的阻抗特性曲线及其串/并联谐振频率。当BAW谐振器微元的划分足够细密时,获得的灵敏度分析结果将足够精确。为了论证该方法的原理,给出了一个直观的校核案例。以一个嵌入式FBAR结构的四梁BAW加速度计表头为例,介绍了该方法用于BAW力传感器灵敏度分析的详细过程。虽然案例中只讨论了一种应力/应变型BAW力传感器的单一力敏机理,但该方法具有普适性。并且,当谐振器微元小到接近其压电材料晶格的尺度时,就能与压电薄膜的力-声-电特性的第一性原理计算结果关联起来,实现从微观材料特性到介观器件物理的多尺度计算。 展开更多
关键词 体声波 谐振器 力传感器 灵敏度 有限元 等效电路
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体声波滤波器的设计与微加工方法 被引量：3
12
作者 高杨 蔡洵 贺学锋 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期157-162,共6页
提出了一种易于使用的薄膜体声波(FBAR)滤波器的4步设计方法,以一种FDD-LTE Band7的Rx滤波器为例展示了该方法的应用流程。第一步,根据FBAR滤波器的中心频率和带宽指标,确定FBAR薄膜叠层中各层薄膜的厚度。第二步,得到滤波器的电路结构... 提出了一种易于使用的薄膜体声波(FBAR)滤波器的4步设计方法,以一种FDD-LTE Band7的Rx滤波器为例展示了该方法的应用流程。第一步,根据FBAR滤波器的中心频率和带宽指标,确定FBAR薄膜叠层中各层薄膜的厚度。第二步,得到滤波器的电路结构。第三步,得到每个FBAR单元的谐振区面积;为此,将串联FBAR单元的谐振区面积、并联FBAR单元与串联FBAR单元的谐振区面积比值作为两组优化参数;将给定滤波器的插入损耗和带外抑制指标作为优化目标,利用ADS软件中的梯度优化算法,得到其优化值。第四步,旨在使滤波器的带内纹波最小化。设计中采用一种新的FBAR电极厚度调整方法,故意使串联FBAR的串联谐振频率与并联FBAR的并联谐振频率频率值不等,但相差很小,实现了该目标。由于案例设计结果中,SiO2支撑层的厚度仅300nm,需要在背面通孔刻蚀的微加工工艺中工序保留良好,因此,提出了一种基于绝缘衬底上的Si(SOI)圆片中埋氧层(BOX)缓冲的两步通孔刻蚀工艺方案,该方法利用了BOX的刻蚀自停止特性。研究结果表明,Rx滤波器插入损耗为0.6dB,在Tx频段的带外抑制为40.4dB,带内纹波为0.4dB。由此验证了该设计方法的可行性。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 滤波器 薄膜体声波谐振器(FBAR) 谐振区面积 优化参数 带内纹波
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脉冲式DFB中红外量子级联激光器的气体检测系统(英文) 被引量：5
13
作者 王玲芳 温志渝 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第11期2147-2152,共6页
采用了脉冲式中红外分布反馈（DFB）量子级联激光器（QCL），其可调工作波长范围为1248-1257cm^-1。在2．6cmq的可调光谱范围内，通过每个温度下的硫化氢光谱来描述QCL系统的温度调谐特性。利用所采集的标准具信号来校准频率，解析信号... 采用了脉冲式中红外分布反馈（DFB）量子级联激光器（QCL），其可调工作波长范围为1248-1257cm^-1。在2．6cmq的可调光谱范围内，通过每个温度下的硫化氢光谱来描述QCL系统的温度调谐特性。利用所采集的标准具信号来校准频率，解析信号特性可得出系统的分辨率。采用直接光谱吸收技术，并结合系统中多反腔所提供的长达20m的光程，基于QCL的气体检测系统对甲烷（cH4）气体进行检测，得出高分辨率的中红外波段甲烷光谱，并和基于标准数据库HITRAN的模拟结果进行了比较，得出较好的印证结果，并为空气中有毒有害气体的检测奠定良好基础。 展开更多
关键词 气体传感 系统特性 量子级联激光器
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体声波传感器的系统级行为仿真 被引量：2
14
作者 黄振华 高杨 蔡洵 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期183-185,188,共4页
为证明六端口网络可用于体声波(BAW)传感器读出电路,对包含薄膜体声波谐振器(FBAR)和微带六端口网络的BAW传感器最小系统建立等效电路模型。在ADS软件中对FBAR建立Mason等效电路模型和对微带六端口网络建立等效电路模型。微带六端口网... 为证明六端口网络可用于体声波(BAW)传感器读出电路,对包含薄膜体声波谐振器(FBAR)和微带六端口网络的BAW传感器最小系统建立等效电路模型。在ADS软件中对FBAR建立Mason等效电路模型和对微带六端口网络建立等效电路模型。微带六端口网络的端口1连接射频源,端口2与FBAR相连,其他4个端口分别连接4个50Ω的电阻用于读取功率;在Matlab软件中分别使用根心解法和平均解法对FBAR的反射系数进行求解,解得两条反射系数与频率曲线,分析得到了两种反射系数近似计算方法的优劣,并分析了六端口网络工作频带的增宽方法。仿真结果表明,微带六端口网络能准确测量出FBAR的反射系数与频率曲线,证明六端口网络可用于BAW传感器读出电路。 展开更多
关键词 体声波 体声波传感器 薄膜体声波谐振器 六端口网络 读出电路
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基于SRAM光栅光调制器阵列控制系统电路的研究 被引量：1
15
作者 金珠 温志渝 +1 位作者 张智海 黄尚廉 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期393-398,共6页
提出一种基于静态随机存储器(SRAM)的光栅光调制器阵列控制系统电路.介绍了光栅光调制器的加工工艺和工作原理,分析了该控制系统电路的原理和技术指标.利用Cadence软件和无锡华润上华0.5μm工艺,设计和加工了大小为8×8的控制系统电... 提出一种基于静态随机存储器(SRAM)的光栅光调制器阵列控制系统电路.介绍了光栅光调制器的加工工艺和工作原理,分析了该控制系统电路的原理和技术指标.利用Cadence软件和无锡华润上华0.5μm工艺,设计和加工了大小为8×8的控制系统电路.通过实验表明:加工的SRAM有源矩阵单元能够实现对输出电压的更新或保持;且加工的控制系统电路能够实现对光栅光调制器阵列的有源控制,从逻辑功能上验证了该控制系统电路设计的正确性.结果表明:只要该控制系统电路的行、列驱动电路能够在248MHz的时钟频率下工作,且有源矩阵单元的开关时间小于121ns,则该控制系统电路可以满足分辨率为1920×1080,帧频为30Hz,灰度级为256的投影显示. 展开更多
关键词 微机电系统 光栅光调制器 控制系统电路 静态随机存储器
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固定HRP酶的聚苯乙烯整体微柱在VC含量测定中的应用研究 被引量：1
16
作者 徐溢 卢倩 曹强 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1181-1184,共4页
结合整体微柱和固定酶技术,以自制的苯乙烯整体微柱构建了一种固定辣根过氧化物酶(horseradishperoxidase,HRP)的整体微柱,确立了HRP的最佳固定条件,并用于蔬菜中维生素C(vitamin C,VC)含量的测定。采用碱性的Luminol-HRP-H2O2化学发光... 结合整体微柱和固定酶技术,以自制的苯乙烯整体微柱构建了一种固定辣根过氧化物酶(horseradishperoxidase,HRP)的整体微柱,确立了HRP的最佳固定条件,并用于蔬菜中维生素C(vitamin C,VC)含量的测定。采用碱性的Luminol-HRP-H2O2化学发光体系测定VC含量,在6 mg.L-1HRP酶和0.2 mL.min-1过柱速率下,VC浓度在1.0×10-9～1.0×10-7mol.L-1范围内与化学发光强度呈良好的线性关系,检出限为1.76×10-7g.L-1,相对标准偏差为3.57%,建立的固定HRP酶的整体微柱-化学发光检测方法可用于蔬菜中VC含量的测定,测定结果与经典碘量法所得数据一致,经加标回收法测得VC的回收率为98%～103%。 展开更多
关键词 整体微柱 固定酶 化学发光 维生素C(VC)
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薄膜体声波谐振器微加速度计惯性力敏特性 被引量：1
17
作者 何婉婧 高杨 +2 位作者 李君儒 黄振华 蔡洵 《太赫兹科学与电子信息学报》 2015年第2期337-341,共5页
研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝(Al N)薄膜体声波谐振器(FBAR)检测元件集成的FBAR微加速度计表头的惯性力敏特性。采用有限元(FEA)静力学仿真,得到惯性力载荷作用下硅微悬臂梁上的应力分布;选取最大应力值作为载荷,基... 研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝(Al N)薄膜体声波谐振器(FBAR)检测元件集成的FBAR微加速度计表头的惯性力敏特性。采用有限元(FEA)静力学仿真,得到惯性力载荷作用下硅微悬臂梁上的应力分布;选取最大应力值作为载荷,基于第一性原理计算纤锌矿Al N的弹性系数与应力的关系式,预测惯性力载荷作用下Al N弹性系数的最大变化量;采用谐响应分析,预测FBAR微加速度计的加速度-谐振频率偏移特性。分析得到:惯性力载荷作用下,FBAR微加速度计的谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数k Hz/g;其加速度增量-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性度。 展开更多
关键词 微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 微加速度计 力敏特性
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微带六端口网络的工艺健壮性分析
18
作者 黄振华 高杨 蔡洵 《中国测试》 CAS 北大核心 2016年第2期24-27,共4页
为确保微带六端口网络能替代矢量网络分析仪用于体声波传感器的射频输出信号检测,分别从微带金属导线的宽度误差和厚度误差对微带六端口网络工作频段的影响进行分析。采用ADS软件的射频等效电路仿真分析得出:微带金属导线的宽度对六端... 为确保微带六端口网络能替代矢量网络分析仪用于体声波传感器的射频输出信号检测,分别从微带金属导线的宽度误差和厚度误差对微带六端口网络工作频段的影响进行分析。采用ADS软件的射频等效电路仿真分析得出:微带金属导线的宽度对六端口网络的工作带宽影响较大,金属导体厚度对工作带宽的影响很小,几乎可以忽略不计;由于体声波传感器的读出电路对工作带宽的要求不高,微带六端口网络用于体声波传感器读出电路有良好的工艺健壮性。 展开更多
关键词 六端口网络 工艺健壮性 体声波传感器 读出电路 矢量网络分析仪
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微流控SERS芯片的设计制备及其在细菌检测中的应用 被引量：6
19
作者 赵华宙 王春艳 +4 位作者 徐溢 王蓉 蒋艳 廖鑫 郑祥权 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期268-275,共8页
微流控芯片分析平台与表面增强拉曼散射(Surface enhanced Raman scattering,SERS)光谱分析方法结合,充分利用了SERS法所具备的样品前处理简便、检测无损、成分辨识度高以及适宜水环境检测等优点,在生化分析检测领域备受关注。微流控SER... 微流控芯片分析平台与表面增强拉曼散射(Surface enhanced Raman scattering,SERS)光谱分析方法结合,充分利用了SERS法所具备的样品前处理简便、检测无损、成分辨识度高以及适宜水环境检测等优点,在生化分析检测领域备受关注。微流控SERS芯片设计及芯片上SERS增强基质的制备是构建微流控SERS芯片分析方法和系统的关键,也是提高检测灵敏度和可重复性的核心问题。该文在介绍微流控SERS芯片的基本构型和功能的基础上,重点综述了微流控SERS芯片上SERS基质的制备方法及其测试效果。基于微电子机械系统(Micro-Electro-mechanical-System,MEMS)加工技术制备的SERS基质,具有纳米粒径有序可控、便于集成制备但增强基质材料种类有限的特点;基于化学沉积和自组装等理化方法制备的SERS基质具有基质种类易拓展、成本低、与微流控通道结合方法灵活等特点。在这些基础上构建的微流控SERS芯片及其分析测试方法和系统,在细菌等许多生化检测领域显示出强大的发展潜力。 展开更多
关键词 微流控SERS芯片 SERS基质 细菌检测 综述
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面向微型近红外光谱仪的高效扫描光栅微镜设计（英文） 被引量：2
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作者 杨婷雁 温志渝 周颖 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期140-145,共6页
近年来,随着微光机电系统（MOEMS）技术的快速发展,光谱仪朝着微型化、低成本、高性能方向发展。基于MOEMS技术制作的闪耀光栅可集成于扫描微镜,其作为近红外光谱仪的核心部件,可实现单管探测器代替昂贵的阵列式探测器,以降低近红外光... 近年来,随着微光机电系统（MOEMS）技术的快速发展,光谱仪朝着微型化、低成本、高性能方向发展。基于MOEMS技术制作的闪耀光栅可集成于扫描微镜,其作为近红外光谱仪的核心部件,可实现单管探测器代替昂贵的阵列式探测器,以降低近红外光谱仪成本与体积。设计了一种高性能扫描光栅微镜,以提高光谱仪的探测灵敏度。扫描微镜表面集成高衍射效率光栅,背面制作电磁驱动线圈。采用光学软件与有限元方法对器件参数进行优化。仿真结果表明：扫描光栅微镜谐振频率为484.38Hz,最大扭转角度为±4.55°,在800~1800nm工作波长范围内,整体动态衍射效率在54%以上且最大值达90%。 展开更多
关键词 扫描光栅微镜 高衍射效率 近红外光谱仪 电磁驱动
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