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消色散光变图像的二元光学设计与制作方法
被引量：
5
1
作者
周小红
陈林森
+1 位作者
邵洁
魏国军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第11期1701-1704,共4页
提出了一种实现消色散光变图像的二元光学方法.以不同取向的狭缝光阑作为目标物光场,采用迭代傅里叶变换算法计算得到具有定向衍射特性的二元位相结构,并作为光变图像的微结构.面向不同图形结构的光变图像,给出了两种不同的数据方案.利...
提出了一种实现消色散光变图像的二元光学方法.以不同取向的狭缝光阑作为目标物光场,采用迭代傅里叶变换算法计算得到具有定向衍射特性的二元位相结构,并作为光变图像的微结构.面向不同图形结构的光变图像,给出了两种不同的数据方案.利用自行研制的激光直写系统以逐图形方式和矢量化直写工作方式分别光刻不同结构的光变图像,位相结构的线宽为2μm.实验结果表明,定向衍射二元光学位相结构具有消色散特征,且适合于热压复制工艺,为制造消色散光变图像提供了一种新方法.
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关键词
二元光学
光变图像
激光直写
消色散
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职称材料
题名
消色散光变图像的二元光学设计与制作方法
被引量：
5
1
作者
周小红
陈林森
邵洁
魏国军
机构
教育部现代光学技术重点实验室苏州大学信息光学工程研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第11期1701-1704,共4页
基金
国家自然基金(10474070)资助
文摘
提出了一种实现消色散光变图像的二元光学方法.以不同取向的狭缝光阑作为目标物光场,采用迭代傅里叶变换算法计算得到具有定向衍射特性的二元位相结构,并作为光变图像的微结构.面向不同图形结构的光变图像,给出了两种不同的数据方案.利用自行研制的激光直写系统以逐图形方式和矢量化直写工作方式分别光刻不同结构的光变图像,位相结构的线宽为2μm.实验结果表明,定向衍射二元光学位相结构具有消色散特征,且适合于热压复制工艺,为制造消色散光变图像提供了一种新方法.
关键词
二元光学
光变图像
激光直写
消色散
Keywords
Binary optics
Optical wlriable device
Photolithography
Achromatic
分类号
O438.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
消色散光变图像的二元光学设计与制作方法
周小红
陈林森
邵洁
魏国军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
5
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