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超精密六自由度微动台耦合动力学建模及分析被引量：10: 1; 作者蒋毅朱煜 +2 位作者杨开明李鑫余东东《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第30期5451-5457,共7页; 多输入多输出(multi-input multi-output,MIMO)运动控制系统中,自由度耦合是影响系统运动性能的关键因素。因此,为实现运动系统高速度下纳米级定位精度和轨迹跟踪精度,需要从控制对象内部的耦合机理出发,建立耦合模型,并在此基础上建立... 展开更多; 关键词多输入多输出系统动力学建模位置相关耦合力相关耦合; 在线阅读下载PDF 职称材料

粗微叠层式硅片台数据驱动MIMO前馈控制: 2; 作者刘涛杨开明朱煜《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第24期9834-9843,I0027,共11页; 光刻机中承载晶圆进行图像曝光的硅片台是一个典型的多输入多输出(multi-input multi-output,MIMO)超精密运动系统,MIMO前馈控制技术是抑制各自由度耦合误差的关键环节。针对光刻机粗微叠层式结构的硅片台,文中基于主从控制架构,提出一... 展开更多; 关键词多输入多输出(MIMO)系统 MIMO前馈数据驱动参数整定粗微叠层硅片台超精密运动系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

无铁心永磁同步直线电机推力谐波分析与消除被引量：20: 3; 作者支凡张鸣 +1 位作者朱煜李鑫《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第7期2101-2109,共9页; 直线电机的推力波动较大,限制其在超精密领域的应用。推力中的谐波是无铁心永磁同步直线电机推力波动的主要原因之一,消除推力中的部分谐波可以有效降低推力波动。该文建立了无铁心永磁体同步直线电机推力谐波的解析模型,揭示了结构参... 展开更多; 关键词无铁心永磁同步直线电机推力波动谐波麦克斯韦应力张量方法; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于组合继电反馈的永磁同步直线电机推力波动辨识方法被引量：6: 4; 作者张翔叶佩青张辉《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期1-9,共9页; 在永磁同步直线电机中,由齿槽效应和端部效应引起的推力波动是制约其动态性能的重要因素。提出一种基于组合继电反馈的推力波动辨识方法,且利用辨识结果实现推力波动的补偿。针对某直驱进给实验平台,首先建立其动力学模型,设计基于理想... 展开更多; 关键词直线电机极限环参数辨识继电反馈推力波动; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于模态力约束的平面电机振动抑制研究被引量：2: 5; 作者李鑫杨开明 +1 位作者朱煜张鸣《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第12期3124-3131,共8页; 随着轻量化设计的需求,磁悬浮平面电机结构质量与柔性之间矛盾凸显,使得低阶模态引起的振动将严重制约其纳米精度的生成及控制系统稳定性。目前,振动抑制研究中的控制算法较为复杂,难以有效应用于工程实际。针对此问题,该文提出基于模... 展开更多; 关键词平面电机振动抑制模态力约束电机力分配; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精密运动系统跟踪误差定量分析被引量：7: 6; 作者戴渌爻李鑫 +1 位作者朱煜张鸣《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第16期4910-4918,共9页; 直线或平面电机驱动的超精密运动系统加减速域跟踪误差对建立时间有重要影响,定量分析加减速域跟踪误差并建立解析模型,对减小建立时间有重要的工程与学术价值。针对工程实际中的数字控制系统,该文基于单质量块刚体和双质量块柔性体模型... 展开更多; 关键词超精密运动系统加减速域跟踪误差定量分析参数整定; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精密微动台扰动估计与前馈补偿被引量：2: 7; 作者孙浩博成荣 +2 位作者杨开明朱煜鲁森《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第16期5345-5351,共7页; 在超精密运动控制系统中,对外部扰动的抑制效果是影响其轨迹跟踪精度的关键因素。文中研究对象是一种无接触式的六自由度超精密微动台,其通过重力平衡磁钢平衡自身重量,从而避免垂向电机因电流过大而引起线圈温升过高,但是重力平衡磁钢... 展开更多; 关键词超精密微动台扰动估计前馈补偿轨迹跟踪精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

永磁同步平面电机电流分配策略被引量：5: 8; 作者姜恩泽尹文生《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第9期71-75,共5页; 应用洛伦兹力公式建立了永磁同步平面电机线圈电流与线圈所受电磁推力和电磁转矩之间关系的数学模型,针对平面电机具有6个运动自由度的特点,提出了实现电磁推力和电磁转矩同步解耦的电流控制策略。在此基础上,分别对悬浮力及水平推力电... 展开更多; 关键词平面电机磁悬浮电流控制电磁推力; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精密微动台变磁阻电机建模被引量：1: 9; 作者陈安林张鸣朱煜《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第20期5327-5334,共8页; 文中对超精密微动台变磁阻电机的磁场和推力进行了准确的建模,用于电机的实时控制。分别建立了永磁体和线圈产生的两种磁场单独作用并考虑漏磁的等效磁路模型,同时在动铁心处于不同位置时,通过三维有限元仿真得到每个气隙的漏磁系数来... 展开更多; 关键词变磁阻电机超精密微动台三维漏磁系数等效磁路硅片台; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密六自由度微动台耦合动力学建模及分析被引量：10: 1; 作者蒋毅朱煜杨开明李鑫余东东; 机构摩擦学国家重点实验室(清华大学机械工程系); 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第30期5451-5457,共7页; 基金国家重点基础研究发展计划项目(973计划)(2009CB724205)~~; 文摘多输入多输出(multi-input multi-output,MIMO)运动控制系统中,自由度耦合是影响系统运动性能的关键因素。因此,为实现运动系统高速度下纳米级定位精度和轨迹跟踪精度,需要从控制对象内部的耦合机理出发,建立耦合模型,并在此基础上建立动力学模型,实现系统内部的力学解耦。该文研究对象是一种无接触式六自由度微动台,此微动台有8个洛伦兹电机提供驱动力,且竖直方向具有重力平衡装置。基于微动台的结构模型和控制要求,建立了2类主要耦合模型:位置相关耦合和力相关耦合。其中,位置相关解耦连接控制点到质心,力相关解耦连接质心到各驱动力。最后进行了实验验证,实验结果证明了动力学模型的可行性和有效性。; 关键词多输入多输出系统动力学建模位置相关耦合力相关耦合; Keywords multi-input multi-output（MIMO） system dynamic modeling position-dependency coupling force-dependency coupling; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名粗微叠层式硅片台数据驱动MIMO前馈控制: 2; 作者刘涛杨开明朱煜; 机构摩擦学国家重点实验室(清华大学机械工程系); 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第24期9834-9843,I0027,共11页; 基金国家科技重大专项(2017ZX02102004)。; 文摘光刻机中承载晶圆进行图像曝光的硅片台是一个典型的多输入多输出(multi-input multi-output,MIMO)超精密运动系统,MIMO前馈控制技术是抑制各自由度耦合误差的关键环节。针对光刻机粗微叠层式结构的硅片台,文中基于主从控制架构,提出一种微动台和粗动台MIMO前馈控制方法。该前馈采用线性参数化结构,以微分单元为基函数,将控制器的参数整定问题转化为一个凸优化问题,进而给出前馈控制器的全局最优参数整定方法以及参数迭代过程中梯度的无偏估计方法。通过硅片台多场曝光轨迹跟踪实验,验证所提参数整定方法的快速收敛性能。实验结果表明,所提方法能够有效减小微动台多自由度耦合的轨迹跟踪误差和粗微之间的相对误差。; 关键词多输入多输出(MIMO)系统 MIMO前馈数据驱动参数整定粗微叠层硅片台超精密运动系统; Keywords multi-input multi-output(MIMO)system MIMO feedforward data-driven controller parameter tuning dual-stage wafer stage ultra-precision motion system; 分类号 TM359.4 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名无铁心永磁同步直线电机推力谐波分析与消除被引量：20: 3; 作者支凡张鸣朱煜李鑫; 机构摩擦学国家重点实验室(清华大学); 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第7期2101-2109,共9页; 文摘直线电机的推力波动较大,限制其在超精密领域的应用。推力中的谐波是无铁心永磁同步直线电机推力波动的主要原因之一,消除推力中的部分谐波可以有效降低推力波动。该文建立了无铁心永磁体同步直线电机推力谐波的解析模型,揭示了结构参数与推力波动间的关系,并提出了低推力波动直线电机的设计准则。将设计准则应用于一类直线电机的优化设计中,提出了消除推力中特定阶次谐波的结构参数设计方法。设计结果与有限元仿真结果和实验结果进行比对,验证了解析模型的准确性和设计方法的有效性。; 关键词无铁心永磁同步直线电机推力波动谐波麦克斯韦应力张量方法; Keywords ironless permanent magnet linear synchronous motor （ILPMLSM） force tipples harmonics Maxwell stress tensor; 分类号 TM359.4 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于组合继电反馈的永磁同步直线电机推力波动辨识方法被引量：6: 4; 作者张翔叶佩青张辉; 机构清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室(清华大学); 出处《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期1-9,共9页; 基金国家科技支撑计划项目(2015BAI03B00) 清华大学摩擦学国家重点实验室重点项目(SKLT12A03) 北京市科技计划项目(Z141100000514015)资助; 文摘在永磁同步直线电机中,由齿槽效应和端部效应引起的推力波动是制约其动态性能的重要因素。提出一种基于组合继电反馈的推力波动辨识方法,且利用辨识结果实现推力波动的补偿。针对某直驱进给实验平台,首先建立其动力学模型,设计基于理想继电环节和含有死区的迟滞继电环节相结合的信号激励源;其次利用描述函数对各非线性环节进行谐波线性化进而获取各环节的双输入描述函数,再根据非线性系统极限环存在条件确定系统待辨识参数的解析表达式;最后,通过仿真和实验验证了该方法的可行性和准确性。实验表明当直驱进给系统匀速运动时,含有推力波动补偿时伺服系统的推力电流波动比补偿前降低了46.3%,其跟踪误差的方均根由34.1μm降至19.3μm。; 关键词直线电机极限环参数辨识继电反馈推力波动; Keywords Linear motors oscillation parameter identification relay feedback force ripple; 分类号 TM351 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于模态力约束的平面电机振动抑制研究被引量：2: 5; 作者李鑫杨开明朱煜张鸣; 机构摩擦学国家重点实验室(清华大学); 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第12期3124-3131,共8页; 基金国家自然科学基金项目(51175296)~~; 文摘随着轻量化设计的需求,磁悬浮平面电机结构质量与柔性之间矛盾凸显,使得低阶模态引起的振动将严重制约其纳米精度的生成及控制系统稳定性。目前,振动抑制研究中的控制算法较为复杂,难以有效应用于工程实际。针对此问题,该文提出基于模态力约束的振动抑制方法。该方法针对垂向电机推力分配策略,在受力方程的基础上,以模态力之和等于0作为约束,利用力分配特解使各垂向电机的模态贡献相互抵消,从物理本质层面解决柔性振动问题。针对平面电机第一阶模态,采用模态力约束方法后,辨识模型在该阶模态处表现出刚体特性,且垂向z的定位误差减小至5 nm,验证了该方法对振动抑制的有效性。; 关键词平面电机振动抑制模态力约束电机力分配; Keywords planar motor vibration suppression modalforce constraint distribution of motor forces; 分类号 TM359 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密运动系统跟踪误差定量分析被引量：7: 6; 作者戴渌爻李鑫朱煜张鸣; 机构摩擦学国家重点实验室(清华大学机械工程系); 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第16期4910-4918,共9页; 基金国家重点研发计划项目(2017YFB0310603-02)~~; 文摘直线或平面电机驱动的超精密运动系统加减速域跟踪误差对建立时间有重要影响,定量分析加减速域跟踪误差并建立解析模型,对减小建立时间有重要的工程与学术价值。针对工程实际中的数字控制系统,该文基于单质量块刚体和双质量块柔性体模型,在离散域建立跟踪误差与前馈控制器、反馈控制器和目标轨迹之间的解析模型,从物理层面深入分析超精密运动系统加减速域轨迹跟踪误差产生机理。定量分析表明,在给定的前馈控制器和反馈控制器作用下,时域上加减速域跟踪误差与目标轨迹特定阶次的导数近似成正比。在跟踪误差定量分析的基础上,提出一种前馈控制器参数整定方法。实验验证误差分析的正确性和前馈控制器参数整定方法的有效性。; 关键词超精密运动系统加减速域跟踪误差定量分析参数整定; Keywords ultra-precision motion systems tracking errors quantitative analysis tuning algorithm; 分类号 TM359.4 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密微动台扰动估计与前馈补偿被引量：2: 7; 作者孙浩博成荣杨开明朱煜鲁森; 机构摩擦学国家重点实验室(清华大学); 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第16期5345-5351,共7页; 基金国家科技重大专项(2017ZX02102004)。; 文摘在超精密运动控制系统中,对外部扰动的抑制效果是影响其轨迹跟踪精度的关键因素。文中研究对象是一种无接触式的六自由度超精密微动台,其通过重力平衡磁钢平衡自身重量,从而避免垂向电机因电流过大而引起线圈温升过高,但是重力平衡磁钢会与微动台下方的永磁阵列相互作用而产生扰动力。对重力平衡磁钢产生的扰动力进行频谱分析,针对其低频特性,提出一种基于二维拟合的多自由度扰动力估计和前馈补偿方法。仿真和实验表明该方法可以在微动台精确模型未知的情况下,实现对扰动力的估计和补偿,减小六自由度的推力/转矩波动,进而提高超精密微动台的轨迹跟踪精度。; 关键词超精密微动台扰动估计前馈补偿轨迹跟踪精度; Keywords ultra-precision fine stage disturbance estimation feedforward compensation trajectory tracking accuracy; 分类号 TH161 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名永磁同步平面电机电流分配策略被引量：5: 8; 作者姜恩泽尹文生; 机构摩擦学国家重点实验室(清华大学); 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第9期71-75,共5页; 基金国家重点基础研究发展计划项目(973项目)(2009CB724205)~~; 文摘应用洛伦兹力公式建立了永磁同步平面电机线圈电流与线圈所受电磁推力和电磁转矩之间关系的数学模型,针对平面电机具有6个运动自由度的特点,提出了实现电磁推力和电磁转矩同步解耦的电流控制策略。在此基础上,分别对悬浮力及水平推力电流的分配方式进行了理论分析和有限元仿真,仿真结果表明,所采用的电流分配策略可以有效地实现电磁推力和电磁转矩的同步解耦。; 关键词平面电机磁悬浮电流控制电磁推力; Keywords planar motors magnetic suspension current control electromagnetic thrust; 分类号 TM359 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密微动台变磁阻电机建模被引量：1: 9; 作者陈安林张鸣朱煜; 机构摩擦学国家重点实验室(清华大学机械工程系); 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第20期5327-5334,共8页; 基金国家自然科学基金项目(51175296) 国家科技重大专项资助项目(2009ZX02208)~~; 文摘文中对超精密微动台变磁阻电机的磁场和推力进行了准确的建模,用于电机的实时控制。分别建立了永磁体和线圈产生的两种磁场单独作用并考虑漏磁的等效磁路模型,同时在动铁心处于不同位置时,通过三维有限元仿真得到每个气隙的漏磁系数来准确的反映漏磁在不同气隙处的三维分布。首先仿真得到动铁心位于x正向特定位置时的漏磁系数,对漏磁系数进行拟合,从而在动铁心位于x正向任意位置时对电机磁场进行建模。然后根据动铁心位于x正向和负向时具有的对称性,得到电机在全行程的磁场模型。最后根据电机的磁场模型和麦克斯韦力公式得到全行程的推力模型。推力模型和有限元仿真结果误差小于6.4%,并通过实验进行了验证。; 关键词变磁阻电机超精密微动台三维漏磁系数等效磁路硅片台; Keywords variable reluctance actuator （VRA） ultra-precision microstage three-dimensional leakage coefficient magnetic circuit model wafer stage; 分类号 TM352 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	超精密六自由度微动台耦合动力学建模及分析	蒋毅朱煜杨开明李鑫余东东	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2014	10	在线阅读下载PDF 职称材料
2	粗微叠层式硅片台数据驱动MIMO前馈控制	刘涛杨开明朱煜	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	无铁心永磁同步直线电机推力谐波分析与消除	支凡张鸣朱煜李鑫	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2017	20	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于组合继电反馈的永磁同步直线电机推力波动辨识方法	张翔叶佩青张辉	《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心	2017	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于模态力约束的平面电机振动抑制研究	李鑫杨开明朱煜张鸣	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2015	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	超精密运动系统跟踪误差定量分析	戴渌爻李鑫朱煜张鸣	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2019	7	在线阅读下载PDF 职称材料
7	超精密微动台扰动估计与前馈补偿	孙浩博成荣杨开明朱煜鲁森	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2020	2	在线阅读下载PDF 职称材料
8	永磁同步平面电机电流分配策略	姜恩泽尹文生	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2011	5	在线阅读下载PDF 职称材料
9	超精密微动台变磁阻电机建模	陈安林张鸣朱煜	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料