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二氧化钒多层膜的光阀作用 被引量:1
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作者 卢亚雄 张寿康 《红外与激光技术》 CSCD 1994年第1期30-32,56,共4页
本文介绍二氧化钒(VO_2)的相变特性及制作工艺。作为应用的一个方面,可作保护红外探测器的VO_2光阀。对VO_2光阀的原理与设计作了讨论。
关键词 二氧化钒 工艺 多层膜 光阀功能
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