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题名基于有限元方法研究AT切石英晶体谐振器的动态特性
被引量：4
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作者
李辉
陈向东
赵静
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机构
成都泰美克晶体技术有限公司
西南交通大学信息科学与技术学院
成都大学信息科学与工程学院
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出处
《人工晶体学报》
CSCD
北大核心
2017年第5期782-785,共4页
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文摘
基于有限元方法研究石英晶体谐振器的谐响应振动特性。通过改变AT切石英晶片尺寸,分析不同尺寸情况下石英晶体各轴向的振动位移分布情况,可了解AT切石英晶体谐振器的厚度剪切振荡模态和寄生振动模态分布情况。仿真结果与实际测试结果对比,证明了采用这种仿真方法有助于石英晶体谐振器的设计。
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关键词
石英晶片
有限元方法
厚度剪切振动
寄生振动
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Keywords
quartz wafer
FEM（finite element method）
thickness shear vibration
parasitic vibration
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分类号
O78
[理学—晶体学]
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题名带有阶梯沟槽结构音叉型石英晶体谐振器设计研究
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作者
杨梅
李辉
邓慧
李强林
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机构
成都工业学院宜宾校区
成都泰美克晶体技术有限公司
成都工业学院电子工程学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第1期33-35,共3页
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基金
四川省科技厅重点研发资助项目(2022YFS0504)。
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文摘
为了解决表面贴装器件(SMD)型压电石英音叉晶体的振动阻抗过大的问题,提出了一种带有阶梯沟槽结构的Z切压电石英音叉晶体谐振器。首先,从振动原理上结合压电石英晶体各向异性材料因腐蚀工艺导致结构的不对称性解释阻抗过大的机理;然后,提出一种新结构弥补因腐蚀工艺带来音叉晶体结构不对称的问题。基于有限元仿真计算出音叉晶体谐振器的振动分布情况,通过仿真分析发现新型结构有效降低音叉双叉振梁面内弯曲的不对称性,改善了音叉晶体谐振器的振动特性,降低了器件的阻抗。
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关键词
阶梯沟槽
面内弯曲
对称振动
阻抗
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Keywords
stepped groove
in-plane bending
symmetrical vibration
impedance
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
O733
[理学—晶体学]
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题名新型结构压电石英晶片去耦效应的研究
被引量：1
- 3
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作者
杨梅
李辉
龙利
邓慧
郭宇恒
李强林
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机构
成都工业学院电子工程学院
成都泰美克晶体技术有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第1期23-25,29,共4页
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基金
四川省科技厅重点研发资助项目(2022YFS0504)。
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文摘
针对中低频光刻工艺的小型化压电石英晶片,为解决双台面(BI-MESA)型压电石英晶片的寄生耦合振动的影响,以及封装过程中点胶区域对振动区域的力频效应影响导致温-频特性的阻抗跳动。提出一种带有沟槽的BI-MESA型AT切压电石英晶体谐振器,并通过有限元仿真谐响应分析方法,给出其振动幅-频分布情况和势能分布情况。仿真分析比较发现,晶体表面沟槽的设计可有效抑制振动传播到点胶区域产生力-频效应的影响,改善BI-MESA谐振器的振动特性。
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关键词
双台面形状
沟槽结构
能陷效应
模态耦合
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Keywords
BI-MESA type
groove structure
energy trapping effect
mode coupling
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
O733
[理学—晶体学]
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