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题名金刚石半球谐振微陀螺的结构设计与制备方法
被引量：1
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作者
谷留涛
张卫平
刘朝阳
张雷
龚成
向浩
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机构
微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
上海自主智能无人系统科学中心同济大学
中国电子科技集团公司第五十研究所
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021年第6期8-10,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61574093)
微米纳米加工技术国家级重点实验室基金资助项目(614280504010317)
+2 种基金
教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-10-0583)
国家重点研发计划资助项目(2018YFE0101000)
上海市科学技术委员会项目(18511101400)。
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文摘
提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿真。模态分析仿真结果表明:该结构工作模态的频差为76 Hz,工作模态与寄生模态固有频率最小差值为37 045 Hz;谐响应分析表明,在0°方向上陀螺工作模态的振动频率为26 593 Hz,最大位移为0.021μm,在45°方向上陀螺工作模态的振动频率为26 669 Hz,最大位移为0.006 4μm。随后提出了一种自对准制造工艺,使用该工艺制造16个均匀分布在半球壳外部的集成金刚石电极的方法,可确保整个圆周的电容间隙均匀。
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关键词
半球微陀螺
微机电系统(MEMS)
有限元分析
工作模态
金刚石
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Keywords
hemisphere microgyroscope
MEMS
finite element analysis
working mode
diamond
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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