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纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究 被引量：1
1
作者 王英 杨明来 +3 位作者 张效岩 蔡炳初 徐东 张亚非 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期391-393,共3页
采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米粒子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级... 采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米粒子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级(小于50nm)的纳米点阵和纳米柱的刻蚀. 展开更多
关键词 LB膜 纳米粒子 掩模 纳米刻蚀
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压电谐振式音叉陀螺结构设计与仿真
2
作者 陈光伟 张一飞 +1 位作者 赵前程 曲发义 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第4期45-49,共5页
针对静电陀螺需刻蚀亚微米电容间隙和大直流偏置电压的问题,提出了一种采用压电薄膜换能的谐振式音叉陀螺结构。理论分析了该结构的差分驱动原理、压电检测原理以及陀螺所受冲击载荷特性,并且使用有限元软件COMSOL对该压电陀螺结构进行... 针对静电陀螺需刻蚀亚微米电容间隙和大直流偏置电压的问题,提出了一种采用压电薄膜换能的谐振式音叉陀螺结构。理论分析了该结构的差分驱动原理、压电检测原理以及陀螺所受冲击载荷特性,并且使用有限元软件COMSOL对该压电陀螺结构进行了仿真分析。模态仿真结果表明:陀螺的驱动模态和检测模态的谐振频率分别为263.9 kHz和263.4 kHz,两者频差为0.5 kHz;标度系数仿真结果显示陀螺的电流灵敏度约为5.87 pA/[(°)·s^(-1)];根据冲击仿真结果,陀螺结构的最大应力约为57.3 MPa、最大位移量约为1.3μm,证明该结构有较好的抗冲击性能。此外,在300 K温度下仿真了该陀螺在不同真空度下的品质因数,结果表明其在压力为0.001 Pa时的品质因数约为100 721,在1atm压力时的品质因数约为6 531。 展开更多
关键词 压电传感器 压电陀螺 COMSOL仿真
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基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究 被引量：8
3
作者 吴义伯 侯安州 +3 位作者 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1018-1020,1036,共4页
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一... 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。 展开更多
关键词 柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口
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基于MEMS技术的异平面空心金属微针 被引量：4
4
作者 沈修成 刘景全 +2 位作者 王亚军 郭忠元 芮岳峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期151-154,共4页
MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微... MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微流道并去除残余硅,就得到了倾斜角度为70.6°的异平面金属空心微针。最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型,验证了微针具有足够的强度。 展开更多
关键词 MEMS 微针 电镀 异平面 药物投送
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面向脑机接口的犹他神经电极技术 被引量：11
5
作者 谢凡 奚野 +1 位作者 徐庆达 刘景全 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2020年第12期24-35,共12页
脑机接口(Brain-computer interface,BCI),是指在人或动物脑与计算机或其它电子设备之间建立的连接通路,实现了脑与外部设备的直接交互,在认识脑、保护脑和模拟脑方面有着重要的作用,尤其是将来可用于治疗患有神经系统疾病的患者,使他... 脑机接口(Brain-computer interface,BCI),是指在人或动物脑与计算机或其它电子设备之间建立的连接通路,实现了脑与外部设备的直接交互,在认识脑、保护脑和模拟脑方面有着重要的作用,尤其是将来可用于治疗患有神经系统疾病的患者,使他们受损的运动和感知等功能得以恢复。神经电极作为脑机接口的核心部分,是与神经元相互作用的电生理器件,可以用来记录或干预神经活动状态,由美国犹他大学提出的犹他电极阵列(Utah Electrode Array,UEA)是神经电极的一个典型代表。犹他独特的三维针状结构使每个电极具有高时空分辨率的同时相互之间有良好的绝缘,植入后电极尖端只作用于周围一小群神经元,甚至可以记录单个神经元的放电活动。本文主要介绍了UEA的结构、制造工艺流程和功能特点,重点论述其在高密度阵列、无线传输、光电极阵列等方面的研究进展,同时分析了可用于提高电极可靠性的表面修饰方法,并举例说明了UEA的临床应用,最后对未来的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 神经电极 植入式 犹他电极阵列 表面修饰 生物相容性
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亚波长纳米结构宽波段抗反射特性 被引量：7
6
作者 李海华 黄康 王庆康 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第2期267-270,共4页
研究了玻璃(折射率n=1.52)表面周期性台阶结构的宽波段抗反射特性。利用等效媒质理论,对单台阶和二台阶结构进行了参数设计,并用严格耦合波理论对设计的台阶结构进行了入射光波长、入射角的反射效率、反射级次特性分析计算。研究结果表... 研究了玻璃(折射率n=1.52)表面周期性台阶结构的宽波段抗反射特性。利用等效媒质理论,对单台阶和二台阶结构进行了参数设计,并用严格耦合波理论对设计的台阶结构进行了入射光波长、入射角的反射效率、反射级次特性分析计算。研究结果表明:当亚波长纳米结构的周期低于周期阈值时,随着入射波长的增加只有零级衍射;台阶层数的增加,可增加红外抗反射入射波长和入射角的范围。二台阶结构可以在可见光和整个红外波段的反射率都低于1%。在玻璃表面上制备的台阶结构和基底为一体,这种方法克服了抗反射膜层的许多不足,其附着力、抗蚀刻、渗透扩散等问题均不存在,适用于受温度和湿度等环境因素影响较大的可见光及红外抗反射器件的设计和制作工艺中。 展开更多
关键词 亚波长 抗反射 台阶
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电沉积纳米锌层的研究 被引量：3
7
作者 曹莹 沈天慧 +1 位作者 姚锦元 丁桂甫 《电化学》 CAS CSCD 2004年第1期107-111,共5页
　采用XRD研究和场发射电镜(FEG＿TEM)电沉积锌镀层纳米改性,分别观察并分析纳米镀锌层的结晶形态及其晶粒尺寸,根据镀层极化曲线和中性盐雾试验测定,结果表明,纳米镀锌层的抗腐蚀性能优于其它镀层.
关键词 电沉积 纳米锌层 结晶形态 晶粒尺寸 抗腐蚀性能 家用轿车 表面装饰技术 镀锌钢板
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液相法制备纳米粒子的粒径控制研究 被引量：5
8
作者 张效岩 王英 张亚非 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期2699-2703,共5页
液相法是目前制备纳米粒子的重要方法之一.本文简要地阐述了液相法制备纳米粒子时粒径控制的机理,并在液相法过程特征的基础上,重点分析了影响粒径分布和形状控制的几个最主要因素,详细解释了化学计量学方法在控制纳米粒子粒度及其分布... 液相法是目前制备纳米粒子的重要方法之一.本文简要地阐述了液相法制备纳米粒子时粒径控制的机理,并在液相法过程特征的基础上,重点分析了影响粒径分布和形状控制的几个最主要因素,详细解释了化学计量学方法在控制纳米粒子粒度及其分布方面的应用. 展开更多
关键词 纳米粒子 液相法 粒径控制 化学计量学
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基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究 被引量：2
9
作者 邱可可 刘景全 +3 位作者 芮岳峰 杨春生 王宇娟 李克勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第5期788-790,共3页
针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法,随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合,传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等。该文提出一种异步多通路刺激的电针灸针。基于传统的毫针,通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电... 针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法,随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合,传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等。该文提出一种异步多通路刺激的电针灸针。基于传统的毫针,通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电极,微加工工艺包括溅射金属层及化学气相沉积(CVD)绝缘层聚对二甲苯。聚对二甲苯作为电极间的绝缘材料,具有无针孔涂覆、更低的液气渗透率、良好的生物相容性、透明性和柔韧性、以及较好的机械强度。通过连接电针灸仪,在一根针上即可实现异步多条电流通路的刺激。 展开更多
关键词 电针灸 异步 多通路 电针 化学气相沉积(CVD) 聚对二甲苯
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磁悬浮转子微陀螺的设计技术 被引量：1
10
作者 张卫平 陈文元 +4 位作者 吴校生 赵小林 崔峰 黄晓刚 刘武 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第z1期1-5,共5页
磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应... 磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2 200μm、厚度25 μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm,悬浮励磁频率10 MHz、旋转励磁频率2 MHz的微陀螺,解决了三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题,并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验,该陀螺在空气环境下能够以1000 r/min旋转,悬浮高度200μm,说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的. 展开更多
关键词 磁悬浮转子微陀螺 MEMS 设计 准LiGA技术 试验
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旋涂法制备碳纳米管阴极及其场发射性能的测试 被引量：1
11
作者 钱开友 颜丙勇 +3 位作者 王芸 叶枝灿 徐东 蔡炳初 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期33-35,共3页
采用Y2O3和Ni作催化剂,在H2和He混合气体气氛下通过弧光放电法得到高纯度的单壁碳纳米管。在用热氧化提纯法对高纯度碳纳米管产物进行进一步提纯后,用这种碳纳米管粉末与酒精配制成悬浮液,通过旋涂、干燥、退火等工艺得到碳纳米管阴极... 采用Y2O3和Ni作催化剂,在H2和He混合气体气氛下通过弧光放电法得到高纯度的单壁碳纳米管。在用热氧化提纯法对高纯度碳纳米管产物进行进一步提纯后,用这种碳纳米管粉末与酒精配制成悬浮液,通过旋涂、干燥、退火等工艺得到碳纳米管阴极薄膜。I-V测试表明用该法得到的碳纳米管薄膜具有良好的电子场致发射性能。 展开更多
关键词 旋涂法 弧光放电法 碳纳米管 场发射
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牛血清白蛋白辅助合成Ag2Se-Se复合纳米粒子 被引量：1
12
作者 孔毅飞 高峰 +3 位作者 崔大祥 黄鹏 贺蓉 李娜 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期641-644,752,共5页
本文利用牛血清白蛋白(BSA)作为表面活性剂,在水相中成功合成了具有复合结构的Ag2Se-Se纳米粒子。该复合纳米粒子具有较好的分散性。整个实验过程均在室温下进行,合成方法简单、可控且重复性好。结合傅立叶变换红外光谱(FTIR)和紫外吸... 本文利用牛血清白蛋白(BSA)作为表面活性剂,在水相中成功合成了具有复合结构的Ag2Se-Se纳米粒子。该复合纳米粒子具有较好的分散性。整个实验过程均在室温下进行,合成方法简单、可控且重复性好。结合傅立叶变换红外光谱(FTIR)和紫外吸收光谱(UV-vis)的结果,分析了纳米粒子复合结构的形成过程;采用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)结合选区电子衍射(SAED)和能谱分析(EDS),对制备的复合粒子形貌和成份组成进行了分析测定;利用X射线粉末衍射(XRD)分析了复合粒子的晶体结构和相组成。采用BSA修饰制备得到的纳米粒子生物相容性好,可以在生物医学领域中得到广泛应用。 展开更多
关键词 牛血清白蛋白 SE Ag2Se 复合纳米粒子
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适于MEMS器件的低应力Ni-W纳米晶薄膜的制备 被引量：1
13
作者 汪红 丁桂甫 +3 位作者 赵小林 姚锦元 朱军 王志民 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期12-15,共4页
以高强度、高耐腐蚀性Ni-W合金为研究对象,探讨了柠檬酸胺-HEDP体系中,各种电沉积工艺参数以及热处理条件对Ni-W合金薄膜应力的影响规律及其在微喷嘴模具上的应用.研究结果表明,在优化的工艺条件下,可获得应力为230 MPa、硬度高达988 H... 以高强度、高耐腐蚀性Ni-W合金为研究对象,探讨了柠檬酸胺-HEDP体系中,各种电沉积工艺参数以及热处理条件对Ni-W合金薄膜应力的影响规律及其在微喷嘴模具上的应用.研究结果表明,在优化的工艺条件下,可获得应力为230 MPa、硬度高达988 HV、无裂纹的纳米晶Ni-W薄膜材料,为其在MEMS微器件、微模具制备上的应用提供了有效途径. 展开更多
关键词 内应力 Ni-W纳米晶 微机电系统 电沉积 热处理
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一种抗紫外自清洁纳米涂料的制备及应用 被引量：9
14
作者 李娜 贺蓉 +1 位作者 崔大祥 孔毅飞 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期808-811,815,共5页
采用硅烷偶联剂对纳米粒子(粒径30nm的TiO2、SiO2、ZnO)进行表面改性,并将改性后的纳米粒子用于氟碳涂料中,得到抗紫外自清洁纳米改性涂料。利用透射电镜TEM及沉降实验对纳米粒子的改性效果进行了表征,得到结果:改性后纳米粒子能均匀地... 采用硅烷偶联剂对纳米粒子(粒径30nm的TiO2、SiO2、ZnO)进行表面改性,并将改性后的纳米粒子用于氟碳涂料中,得到抗紫外自清洁纳米改性涂料。利用透射电镜TEM及沉降实验对纳米粒子的改性效果进行了表征,得到结果:改性后纳米粒子能均匀地分散到甲苯等有机溶剂中。通过紫外分光光度计和接触角测量仪分别对改性后的涂膜对紫外光的吸收及表面疏水的自清洁性能进行了表征,结果表明,改性后的涂膜能有效地吸收大气中的紫外光,并且测得纳米改性的涂膜比未改性的涂膜接触角明显增大,有较好的表面疏水自清洁功效。 展开更多
关键词 纳米粒子 表面改性 抗紫外 自清洁
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液相法制备取向ZnO纳米线阵列的场发射特性(英文) 被引量：3
15
作者 张欢 李梦轲 +3 位作者 张竞 于丽媛 刘玲玲 杨志 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2563-2568,共6页
采用水热合成工艺,在不同条件下制备了不同的一维取向ZnO纳米线阵列样品.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)及透射电镜(TEM)对样品的晶体结构和形貌等进行了表征,对样品的场发射特性进行了分析和比较,并用Fowler-Nordheim方程对影响Zn... 采用水热合成工艺,在不同条件下制备了不同的一维取向ZnO纳米线阵列样品.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)及透射电镜(TEM)对样品的晶体结构和形貌等进行了表征,对样品的场发射特性进行了分析和比较,并用Fowler-Nordheim方程对影响ZnO纳米线场发射的因素进行了研究.结果表明,具有较低生长密度分布、较高的长径比和较尖锐生长端的ZnO纳米线阵列样品具有较好的场发射特性. 展开更多
关键词 ZnO 纳米线阵列 场发射 液相法
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采用Sn中介层的覆Al薄膜硅片键合技术研究 被引量：1
16
作者 朱智源 于民 +4 位作者 胡安琪 王少南 缪旻 陈兢 金玉丰 《北京大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期741-744,共4页
研究采用Sn作为中间层键合覆盖Al薄膜的硅片。相对于Al-Al直接热压键合,该系统能提供低温、低压、快速的圆片级键合方案。采用直径为100 mm硅片,溅射一层500 nm厚度的Al层后,在N2气氛下进行450°C,30分钟退火,采用Ar等离子体清洗后... 研究采用Sn作为中间层键合覆盖Al薄膜的硅片。相对于Al-Al直接热压键合,该系统能提供低温、低压、快速的圆片级键合方案。采用直径为100 mm硅片,溅射一层500 nm厚度的Al层后,在N2气氛下进行450°C,30分钟退火,采用Ar等离子体清洗后,溅射一层500 nm厚度的Sn层。将硅片金属面紧贴在一起放入键合机中键合,在真空中进行。键合时间为3分钟条件下,得到平均剪切强度为9.9 MPa,随着键合时间增加,剪切强度显著降低。 展开更多
关键词 圆片级键合 低温 低压 剪切强度
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植布法制备镍基碳纳米管场发射阴极及其性能研究 被引量：1
17
作者 崔雪梅 王艳 +1 位作者 邓敏 丁桂甫 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1972-1976,共5页
提出了一种新型的制备碳纳米管场发射阴极的方法———植布法,详细描述了植布法工艺,并用扫描电镜观察植布法得到的样品的表面形态,讨论了球磨工艺、碳管和聚合物分散剂不同质量配比,及聚合物介质刻蚀时间的长短对最终场发射阴极性能的... 提出了一种新型的制备碳纳米管场发射阴极的方法———植布法,详细描述了植布法工艺,并用扫描电镜观察植布法得到的样品的表面形态,讨论了球磨工艺、碳管和聚合物分散剂不同质量配比,及聚合物介质刻蚀时间的长短对最终场发射阴极性能的影响。实验表明植布法制备的场发射阴极具有良好的场发射性能,如低的开启电压(约为1.7V/μm),高的电流密度(在3.6V/μm下,电流密度可以达到26mA/cm2)。该方法结合了传统直接生长和丝网印刷法制备碳纳米管阴极的优点,实现了碳纳米管与金属基底可靠结合的结构,广泛适用于以该结构作为核心功能单元的器件。 展开更多
关键词 碳纳米管 聚酰亚胺 场发射阴极 场发射性能 植布法
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纳米压印过程中的聚合物流变机理 被引量：1
18
作者 刘瑞宏 李海华 王庆康 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期887-891,899,共6页
针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比... 针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比及非周期结构对光刻胶填充效果的影响.结果表明,相对于非周期模板,周期结构的模板所能引起的图形转移缺陷小;占空比及深宽比对小周期模板比大周期模板的影响大.进行了纳米压印实验,实验结果与仿真结果吻合,说明了仿真的可信,可以作为模板结构设计及表面处理工艺的依据. 展开更多
关键词 紫外纳米压印 有限元仿真 占空比 周期结构 任意的拉格朗日-欧拉
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微波等离子体化学气相沉积方法制备纳米金刚石薄膜 被引量：2
19
作者 林晨 李义锋 张锦文 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第7期7001-7005,7011,共6页
为了制备出大面积均匀连续的纳米金刚石薄膜,并探索温度、气氛等条件对最终生长出的纳米金刚石薄膜样品的影响,使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,改变CH_(4)、H_(2)、Ar气体比例以及衬底温度,在不同生长条件下制备了5组金刚石... 为了制备出大面积均匀连续的纳米金刚石薄膜,并探索温度、气氛等条件对最终生长出的纳米金刚石薄膜样品的影响,使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,改变CH_(4)、H_(2)、Ar气体比例以及衬底温度,在不同生长条件下制备了5组金刚石薄膜样品。5组样品分别使用ESEM和拉曼光谱进行成膜质量、形貌、结构以及组分的表征,分析了不同薄膜的成因和工艺参数的影响,并提出了进一步优化的方向。 展开更多
关键词 纳米金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积 表面预处理
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电极激励超声谐振谱压电材料定征技术 被引量：1
20
作者 曾照丰 吴校生 +3 位作者 黄山 熊越夫 赵俊军 冯其云 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第3期421-425,共5页
超声谐振谱(RUS)是一种压电材料单样品定征技术,避免了多样品造成的结果不自洽问题。现有的谐振谱激励方法常使用超声换能器定点激励-拾取,需要有复杂的测试装置。该文提出了一种电极激励-拾取法来获取压电谐振器的超声谐振谱,该方法测... 超声谐振谱(RUS)是一种压电材料单样品定征技术,避免了多样品造成的结果不自洽问题。现有的谐振谱激励方法常使用超声换能器定点激励-拾取,需要有复杂的测试装置。该文提出了一种电极激励-拾取法来获取压电谐振器的超声谐振谱,该方法测试装置简单,同时还可获得模态振型的对称特性,避免了反演过程中峰丢失和错峰拟合。基于现场可编程门阵列(FPGA)技术搭建了压电谐振器分组扫频激励电路,通过电荷放大器拾取谐振峰。结果表明,通过Levenberg-Marquardt算法可完成测试频谱和计算频谱的匹配,成功获得了优化后压电材料参数。 展开更多
关键词 超声谐振谱(RUS) 压电材料 定征 电极激励 LEVENBERG-MARQUARDT算法
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