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以新型硼源制备硼掺杂金刚石膜的性能研究
被引量：
1
1
作者
王梁
江彩义
+5 位作者
郭胜惠
高冀芸
胡途
杨黎
彭金辉
张利波
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第1期7-12,共6页
采用微波等离子体化学气相沉积技术,以氧化硼-乙醇溶液作为硼源,制备不同掺硼浓度的金刚石膜。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪、电化学工作站等研究其表面形貌、晶体结构、薄膜质量和电化学性能。结果表明:随硼元素...
采用微波等离子体化学气相沉积技术,以氧化硼-乙醇溶液作为硼源,制备不同掺硼浓度的金刚石膜。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪、电化学工作站等研究其表面形貌、晶体结构、薄膜质量和电化学性能。结果表明:随硼元素含量升高,金刚石膜的晶体颗粒尺寸先减小后增大,电势窗口由3.1V降至2.6V,阳极电流密度由0.022 7mA·cm^(-2)降至0.011 9mA·cm^(-2),但对背景电流及电化学可逆性几乎不影响。
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关键词
硼掺杂
金刚石膜
电化学性能
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职称材料
MPCVD制备金刚石膜的形核与生长过程
被引量：
3
2
作者
江彩义
髙冀芸
+5 位作者
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期83-88,共6页
简要介绍了金刚石膜的物理化学特性及应用领域。对比分析了主要化学气相沉积方法的优缺点,并指出MPCVD所面临的技术瓶颈。总结了反应腔体内压强、基片温度、基体材料及增强形核技术对金刚石膜形核过程的影响。较低腔体内压力、基片温度...
简要介绍了金刚石膜的物理化学特性及应用领域。对比分析了主要化学气相沉积方法的优缺点,并指出MPCVD所面临的技术瓶颈。总结了反应腔体内压强、基片温度、基体材料及增强形核技术对金刚石膜形核过程的影响。较低腔体内压力、基片温度,高碳源浓度及等离子体预处理能有效提高形核密度。阐述了各过程参数对金刚石膜生长的影响和微米、纳米、超纳米金刚石膜的技术特点及应用。指出各类金刚石膜制备所面临的技术难题,并综述了解决该技术瓶颈的最新研究工作。
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关键词
金刚石膜
微波等离子体
化学气相沉积
形核
生长
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职称材料
氧气流量对MPCVD法制备超纳米金刚石膜的影响
被引量：
1
3
作者
江彩义
髙冀芸
+5 位作者
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第A01期66-69,共4页
采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH_4/H_2/Ar为气源,通过调节O_2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱及X射线光电子能谱(XPS)分别...
采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH_4/H_2/Ar为气源,通过调节O_2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱及X射线光电子能谱(XPS)分别对超纳米金刚石膜的形貌、生长速率、晶型、晶粒尺寸及金刚石含量进行了表征分析,重点研究了O_2流量对晶粒尺寸及金刚石含量的影响。实验结果表明,随O_2流量的增加,平均晶粒尺寸从8.4nm增大至16.1nm,随后减小至9.6nm;当O_2流量为0.7sccm时,金刚石相含量由71.58%提升至85.46%,平均晶粒尺寸约为9.6nm。
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关键词
氧气流量
MPCVD
超纳米金刚石膜
金刚石含量
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职称材料
题名
以新型硼源制备硼掺杂金刚石膜的性能研究
被引量：
1
1
作者
王梁
江彩义
郭胜惠
高冀芸
胡途
杨黎
彭金辉
张利波
机构
超硬材料先进制备
技术
国际
联合
研究中心
非常规冶金教育部重点
实验室
微波能工程应用与装备技术国家地方联合工程实验室
昆明理工大学冶金与能源
工程
学院
云南民族大学化学与环境学院
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第1期7-12,共6页
基金
国家自然科学基金(No.51604134)
国家科技计划对俄科技合作专项(No.2015DFR50620)
+1 种基金
云南省教育厅科学研究项目(No.2016ZZX040)
昆明市科技计划项目(No.2014-04-A-H-02-3085)
文摘
采用微波等离子体化学气相沉积技术,以氧化硼-乙醇溶液作为硼源,制备不同掺硼浓度的金刚石膜。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪、电化学工作站等研究其表面形貌、晶体结构、薄膜质量和电化学性能。结果表明:随硼元素含量升高,金刚石膜的晶体颗粒尺寸先减小后增大,电势窗口由3.1V降至2.6V,阳极电流密度由0.022 7mA·cm^(-2)降至0.011 9mA·cm^(-2),但对背景电流及电化学可逆性几乎不影响。
关键词
硼掺杂
金刚石膜
电化学性能
Keywords
boron doping
diamond film
electrochemical properties
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
在线阅读
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职称材料
题名
MPCVD制备金刚石膜的形核与生长过程
被引量：
3
2
作者
江彩义
髙冀芸
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
机构
昆明理工大学
昆明理工大学
昆明理工大学
云南民族大学
昆明理工大学冶金与能源
工程
学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期83-88,共6页
基金
国家国际科技合作专项项目(L2015RR0101)
昆明市科技计划项目(2014-01-01-A-H-02-0002)
文摘
简要介绍了金刚石膜的物理化学特性及应用领域。对比分析了主要化学气相沉积方法的优缺点,并指出MPCVD所面临的技术瓶颈。总结了反应腔体内压强、基片温度、基体材料及增强形核技术对金刚石膜形核过程的影响。较低腔体内压力、基片温度,高碳源浓度及等离子体预处理能有效提高形核密度。阐述了各过程参数对金刚石膜生长的影响和微米、纳米、超纳米金刚石膜的技术特点及应用。指出各类金刚石膜制备所面临的技术难题,并综述了解决该技术瓶颈的最新研究工作。
关键词
金刚石膜
微波等离子体
化学气相沉积
形核
生长
Keywords
diamond films, microwave plasma, chemical vapor deposition, nucleation, growth
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
氧气流量对MPCVD法制备超纳米金刚石膜的影响
被引量：
1
3
作者
江彩义
髙冀芸
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
机构
昆明理工大学超硬材料先进制备
技术
国际
联合
研究中心
昆明理工大学非常规冶金教育部重点
实验室
云南民族大学化学与环境学院
昆明理工大学
微波能工程应用与装备技术国家地方联合工程实验室
昆明理工大学冶金与能源
工程
学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第A01期66-69,共4页
基金
国家自然科学基金(51604134)
云南省教育厅科学研究基金(2016ZZX040)
+1 种基金
国家国际科技合作项目对俄专项(2015DFR50620)
昆明市科技计划项目(2014-04-A-H-02-3085)
文摘
采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH_4/H_2/Ar为气源,通过调节O_2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱及X射线光电子能谱(XPS)分别对超纳米金刚石膜的形貌、生长速率、晶型、晶粒尺寸及金刚石含量进行了表征分析,重点研究了O_2流量对晶粒尺寸及金刚石含量的影响。实验结果表明,随O_2流量的增加,平均晶粒尺寸从8.4nm增大至16.1nm,随后减小至9.6nm;当O_2流量为0.7sccm时,金刚石相含量由71.58%提升至85.46%,平均晶粒尺寸约为9.6nm。
关键词
氧气流量
MPCVD
超纳米金刚石膜
金刚石含量
Keywords
oxygen flow rate
MPCVD
ultrananocrystalline diamond film
diamond phase content
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
以新型硼源制备硼掺杂金刚石膜的性能研究
王梁
江彩义
郭胜惠
高冀芸
胡途
杨黎
彭金辉
张利波
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017
1
在线阅读
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职称材料
2
MPCVD制备金刚石膜的形核与生长过程
江彩义
髙冀芸
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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下载PDF
职称材料
3
氧气流量对MPCVD法制备超纳米金刚石膜的影响
江彩义
髙冀芸
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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职称材料
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