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压电薄膜微机电加速度传感器的力学分析
1
作者
孙博华
韩立锋
《上海大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期621-627,共7页
基于压电薄膜的压电效应,研究压电薄膜微机电加速度传感器.对双层压电薄膜微机电加速度传感器进行静力分析,得到传感器方程,并进行数值计算.结果表明,随着压电薄膜厚度的增大,灵敏度随之增大,在一定厚度下达到最大值,随着厚度的进一步增...
基于压电薄膜的压电效应,研究压电薄膜微机电加速度传感器.对双层压电薄膜微机电加速度传感器进行静力分析,得到传感器方程,并进行数值计算.结果表明,随着压电薄膜厚度的增大,灵敏度随之增大,在一定厚度下达到最大值,随着厚度的进一步增大,灵敏度反而减小.然后进行动力分析,得到噪音、质量因子、最小可测信号等技术参数,并进行了数值计算.运用ANSYS软件进行谐响应分析,得到不同频率下结构的动力响应曲线.
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关键词
微机电加速度传感器
压电效应
压电薄膜
灵敏度
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职称材料
题名
压电薄膜微机电加速度传感器的力学分析
1
作者
孙博华
韩立锋
机构
开普半岛理工大学机械工程系
出处
《上海大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期621-627,共7页
文摘
基于压电薄膜的压电效应,研究压电薄膜微机电加速度传感器.对双层压电薄膜微机电加速度传感器进行静力分析,得到传感器方程,并进行数值计算.结果表明,随着压电薄膜厚度的增大,灵敏度随之增大,在一定厚度下达到最大值,随着厚度的进一步增大,灵敏度反而减小.然后进行动力分析,得到噪音、质量因子、最小可测信号等技术参数,并进行了数值计算.运用ANSYS软件进行谐响应分析,得到不同频率下结构的动力响应曲线.
关键词
微机电加速度传感器
压电效应
压电薄膜
灵敏度
Keywords
micromachined accelerometer
piezoelectric effect
piezoelectric thin film
sensitivity
分类号
O313 [理学—一般力学与力学基础]
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职称材料
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作者
出处
发文年
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1
压电薄膜微机电加速度传感器的力学分析
孙博华
韩立锋
《上海大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2009
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