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光伏型锑化铟多元红外探测器
1
作者
常业清
《红外与激光技术》
CSCD
1989年第4期5-7,共3页
本文简要介绍用箱法扩散成结,蒸发SiO_2钝化表面和金属化层作欧姆接触,热压焊等类似Si集成电路工艺研制的InSb多元红外探测器的情况,获得了高阻抗、无串扰的线列器件。并就工艺对串扰和均匀性的影响进行讨论。
关键词
红外探测器
多元探测器
锑化铟
在线阅读
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职称材料
题名
光伏型锑化铟多元红外探测器
1
作者
常业清
机构
广西柳州电机总厂设计室
出处
《红外与激光技术》
CSCD
1989年第4期5-7,共3页
文摘
本文简要介绍用箱法扩散成结,蒸发SiO_2钝化表面和金属化层作欧姆接触,热压焊等类似Si集成电路工艺研制的InSb多元红外探测器的情况,获得了高阻抗、无串扰的线列器件。并就工艺对串扰和均匀性的影响进行讨论。
关键词
红外探测器
多元探测器
锑化铟
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
光伏型锑化铟多元红外探测器
常业清
《红外与激光技术》
CSCD
1989
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