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MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用
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作者 杨真 陈靖元 +4 位作者 张朕泽 祝梦娇 黄家宝 孙学成 雷冲 《微纳电子技术》 2025年第3期99-120,共22页
微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构... 微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构类型、传统制备工艺、新兴制备技术以及在磁敏传感器中的应用。重点介绍了MEMS微型线圈在巨磁阻抗效应传感器和磁通门传感器中的应用研究进展,并简述了其在其他磁传感领域的作用。最后对MEMS线圈的发展和应用前景进行了展望,为其设计和具体应用提供思路。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微型线圈 磁敏传感器 巨磁阻抗传感器 磁通门传感器
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GMI传感器在无损检测领域的应用研究进展
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作者 杨真 曹剑 +6 位作者 王克文 黄家宝 陈靖元 罗松 张朕泽 祝梦娇 孙学成 《微纳电子技术》 2025年第2期22-37,共16页
简要介绍了巨磁阻抗(GMI)传感器在无损检测(NDT)领域应用的优势,综合分析了GMI传感器应用于无损检测不同工况下的工作原理,并介绍了基于GMI传感器无损检测的检测方案,总结了GMI传感器在无损检测领域中的不同应用场景,重点阐述了GMI传感... 简要介绍了巨磁阻抗(GMI)传感器在无损检测(NDT)领域应用的优势,综合分析了GMI传感器应用于无损检测不同工况下的工作原理,并介绍了基于GMI传感器无损检测的检测方案,总结了GMI传感器在无损检测领域中的不同应用场景,重点阐述了GMI传感器在铁磁性材料的无损检测、工业生产与应用时材料的结构健康监测、农业和矿物探测以及电池健康监测等方面的研究进展。最后,对当前基于GMI传感器的无损检测应用所面临的困难进行了总结,并对GMI无损检测传感器未来的发展方向进行了展望,为探索GMI传感器在工业领域的更多应用提供参考。 展开更多
关键词 磁传感器 巨磁阻抗(GMI)传感器 无损检测(NDT) 检测方案 结构健康监测
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基于GMR生物传感器的病原体检测研究进展 被引量:1
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作者 杨真 柳梦雨 +4 位作者 孙逊 孙学成 王振宝 李丹青 徐军 《微纳电子技术》 CAS 2024年第2期13-24,共12页
对当前病原体检测方法和磁性生物传感器的优势进行了简单阐述,分别介绍了巨磁阻(GMR)传感器在生物医学检测领域的应用优势、GMR效应的来源及常见的GMR传感器的结构类型,重点关注了GMR生物传感的基本原理,包括传感器在免疫分析领域的应... 对当前病原体检测方法和磁性生物传感器的优势进行了简单阐述,分别介绍了巨磁阻(GMR)传感器在生物医学检测领域的应用优势、GMR效应的来源及常见的GMR传感器的结构类型,重点关注了GMR生物传感的基本原理,包括传感器在免疫分析领域的应用策略和传感器表面功能化的方法。总结了GMR生物传感器在病原体检测中的发展现状,重点阐述了GMR生物传感器在靶向标签、致病菌和病毒检测方面的实际应用。最后对当前GMR生物传感器在病原体检测领域面临的问题进行简要分析,对GMR生物传感器未来的应用前景进行了展望,为新一代可用于临床检测的GMR生物检测系统的开发奠定坚实的基础。 展开更多
关键词 巨磁阻(GMR)生物传感器 磁性生物传感器 生物医学检测 病原体检测 靶向标签 免疫分析
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磁性MEMS传感器制备技术及生物传感应用研究进展 被引量:2
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作者 杨真 柳梦雨 +2 位作者 王振宝 黄永 梁晓光 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第2期205-221,共17页
对磁性传感器件的微电子机械系统(MEMS)加工技术以及在生物医学检测方面的应用进行了简单阐述,分析了磁性生物传感技术的工作原理,重点介绍了巨磁阻抗(GMI)、巨磁阻(GMR)和微磁通门传感器的MEMS制备工艺,其中详述了磁性传感器的材料、... 对磁性传感器件的微电子机械系统(MEMS)加工技术以及在生物医学检测方面的应用进行了简单阐述,分析了磁性生物传感技术的工作原理,重点介绍了巨磁阻抗(GMI)、巨磁阻(GMR)和微磁通门传感器的MEMS制备工艺,其中详述了磁性传感器的材料、几何尺寸、结构以及基底对其性能的影响,总结了磁性生物传感器在生物检测中的研究进展,重点阐述了磁性生物传感器在磁性标签、癌症标志物、食源性细菌、病毒以及细胞检测方面的应用。最后,对当前磁性生物传感器在生物医学检测领域面临的问题进行了简要分析,并对磁性生物传感器未来的应用前景进行了展望,以期为研发新一代可用于临床检测磁性生物检测系统打下良好的基础。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 巨磁阻抗(GMI)传感器 巨磁阻(GMR)传感器 磁通门传感器 生物传感 生物医学检测
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