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透明导电薄膜的红外可见光兼容隐身的厚度依赖性研究
1
作者
杨季薇
董玲
+6 位作者
谷东
徐华蕊
赵昀云
杨涛
李海平
李杰
朱归胜
《人工晶体学报》
北大核心
2025年第9期1614-1621,共8页
采用直流(DC)磁控溅射法,通过对透明导电薄膜氧化铟锡(ITO)进行结构调控,分析其中的载流子浓度、迁移率等变化,着重探究了薄膜的厚度对红外波段反射率的影响,诠释了薄膜厚度与光电性能之间的构效关系。通过设定特定的溅射功率、衬底温...
采用直流(DC)磁控溅射法,通过对透明导电薄膜氧化铟锡(ITO)进行结构调控,分析其中的载流子浓度、迁移率等变化,着重探究了薄膜的厚度对红外波段反射率的影响,诠释了薄膜厚度与光电性能之间的构效关系。通过设定特定的溅射功率、衬底温度、气氛控制ITO薄膜的薄膜厚度,得到了100~500 nm厚度的薄膜,实现了高(400)取向、高红外反射率、高可见光透过率的氧化铟锡薄膜的制备。构建的特殊膜层厚度,构成了协同的载流子浓度与迁移率,缓解了一部分漫反射的影响,在膜厚为400 nm时,平均可见光透过率为89.51%,实现了2.5~15μm宽谱段97.37%的平均红外反射率。且所得薄膜品质因数高达815.19×10^(-4)Ω^(-1),显著优于已报道的透明导电薄膜体系,解决了可见光与红外兼容隐身的问题,为频谱兼容光学隐身材料及智能窗的制备提供了新的思路。
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关键词
氧化铟锡薄膜
直流磁控溅射
红外隐身
厚度
光电性能
霍尔参数
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职称材料
题名
透明导电薄膜的红外可见光兼容隐身的厚度依赖性研究
1
作者
杨季薇
董玲
谷东
徐华蕊
赵昀云
杨涛
李海平
李杰
朱归胜
机构
桂林电子科技
大学
材料科学与工程
学院
广西北部湾大学石油与化工学院
出处
《人工晶体学报》
北大核心
2025年第9期1614-1621,共8页
基金
国家自然科学基金(62364007,U21A2065)
广西科技计划(桂科AA21077018,桂科AD23023013,桂科AB23075218)
桂林市科学研究与技术开发计划项目(20220120-1)。
文摘
采用直流(DC)磁控溅射法,通过对透明导电薄膜氧化铟锡(ITO)进行结构调控,分析其中的载流子浓度、迁移率等变化,着重探究了薄膜的厚度对红外波段反射率的影响,诠释了薄膜厚度与光电性能之间的构效关系。通过设定特定的溅射功率、衬底温度、气氛控制ITO薄膜的薄膜厚度,得到了100~500 nm厚度的薄膜,实现了高(400)取向、高红外反射率、高可见光透过率的氧化铟锡薄膜的制备。构建的特殊膜层厚度,构成了协同的载流子浓度与迁移率,缓解了一部分漫反射的影响,在膜厚为400 nm时,平均可见光透过率为89.51%,实现了2.5~15μm宽谱段97.37%的平均红外反射率。且所得薄膜品质因数高达815.19×10^(-4)Ω^(-1),显著优于已报道的透明导电薄膜体系,解决了可见光与红外兼容隐身的问题,为频谱兼容光学隐身材料及智能窗的制备提供了新的思路。
关键词
氧化铟锡薄膜
直流磁控溅射
红外隐身
厚度
光电性能
霍尔参数
Keywords
indium tin oxide thin film
DC magnetron sputtering
infrared stealth
thickness
optical property
Hall parameter
分类号
O78 [理学—晶体学]
O484 [理学—固体物理]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
透明导电薄膜的红外可见光兼容隐身的厚度依赖性研究
杨季薇
董玲
谷东
徐华蕊
赵昀云
杨涛
李海平
李杰
朱归胜
《人工晶体学报》
北大核心
2025
0
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