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Mini/Micro LED巨量转移技术研究与发展现状
被引量：
18
1
作者
王伟
赵甜甜
+3 位作者
刘强
韩邦成
牛萍娟
桑建
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第2期183-199,共17页
对巨量转移(Mass Transfer, MT)方案和运动定位平台(Motion Positioning Platform, MPP)的研究现状及其未来发展进行了详细阐述。根据芯片转移方式,将MT方案分为精准拾取-释放技术、自组装技术、滚轴转印技术、激光剥离技术,结合芯片转...
对巨量转移(Mass Transfer, MT)方案和运动定位平台(Motion Positioning Platform, MPP)的研究现状及其未来发展进行了详细阐述。根据芯片转移方式,将MT方案分为精准拾取-释放技术、自组装技术、滚轴转印技术、激光剥离技术,结合芯片转移效率和良率,论述了国内外MT方案的发展过程。在此基础上,从平台支撑方式,详细介绍了机械构型、气浮构型、磁浮构型和混合构型的MPP结构及工作原理,考虑运动行程、运动定位精度等因素,比较了MPP性能的优劣。展望了MT方案和MPP技术的未来发展方向,指出基于微孔液气双态介质的激光剥离MT和具备周向小角度修正以及轴向微高度调节能力的“机械+磁浮”混合构型MPP是Mini/Micro LED芯片转移技术的研究重点。
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关键词
Mini/Micro
LED
巨量转移
运动定位平台
显示技术
转移良率
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职称材料
题名
Mini/Micro LED巨量转移技术研究与发展现状
被引量：
18
1
作者
王伟
赵甜甜
刘强
韩邦成
牛萍娟
桑建
机构
北京石油化工学院精密电磁装备与先进测量技术研究所
天津工业大学电子与信息工程学院
北京航空航天大学惯性技术重点实验室
广州市鸿利光电股份有限公司
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第2期183-199,共17页
基金
北京市自然科学基金面上项目资助(No.3212004)
北京石油化工学院重要科研成果培育资助项目(No.BIPTACF-007)。
文摘
对巨量转移(Mass Transfer, MT)方案和运动定位平台(Motion Positioning Platform, MPP)的研究现状及其未来发展进行了详细阐述。根据芯片转移方式,将MT方案分为精准拾取-释放技术、自组装技术、滚轴转印技术、激光剥离技术,结合芯片转移效率和良率,论述了国内外MT方案的发展过程。在此基础上,从平台支撑方式,详细介绍了机械构型、气浮构型、磁浮构型和混合构型的MPP结构及工作原理,考虑运动行程、运动定位精度等因素,比较了MPP性能的优劣。展望了MT方案和MPP技术的未来发展方向,指出基于微孔液气双态介质的激光剥离MT和具备周向小角度修正以及轴向微高度调节能力的“机械+磁浮”混合构型MPP是Mini/Micro LED芯片转移技术的研究重点。
关键词
Mini/Micro
LED
巨量转移
运动定位平台
显示技术
转移良率
Keywords
Mini/Micro LED
Mass Transfer(MT)
Motion Positioning Platform(MPP)
display technique
transfer yield
分类号
TN312.8 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
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被引量
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1
Mini/Micro LED巨量转移技术研究与发展现状
王伟
赵甜甜
刘强
韩邦成
牛萍娟
桑建
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
18
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