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题名光网络中分光探测器薄膜的研制
被引量：1
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作者
石澎
毕君
张功
张于帅
王丽荣
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机构
中山火炬职业技术学院光电工程系
广州市光机电研究所
长春理工大学光电工程学院
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期360-365,共6页
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基金
国家自然科学基金,41676184
国家重点研发计划,2016YFC0200400~~
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文摘
光通讯网络监控系统中的分光探测器用于检测光信号的流量,在通信和信号检测领域具有非常广泛的应用.为满足器件使用需求,采用离子束辅助沉积(Ion beam aided deposit,IBAD)技术,对在1260~1620 nm波长范围内透射、反射能量分光比为50:50的分光探测器薄膜进行了研制。主要分析并解决了镀膜材料光学常数计算的问题,通过建立误差函数,优化并降低镀膜材料光学常数计算的误差。在设计分光探测器薄膜时,通过增加虚设层来平滑光谱曲线,同时降低膜厚的敏感度,也降低了制备工艺的难度。制备的分光探测器薄膜在1260~1620 nm波长范围内透射、反射分光比小于50:50(±0.5%),满足分光探测器指标参数要求。
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关键词
薄膜光学
分光探测器薄膜
虚设层
分光比
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Keywords
thin film optics
beam-splitting photodetector film
dummy layer
splitting ratio
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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