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氧化铟锡靶与铟的润湿性研究 被引量:1
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作者 顾子平 袁镇海 +3 位作者 付志强 林松盛 黄剑锋 郑健红 《广东有色金属学报》 2001年第2期138-141,共4页
为了解决氧化铟锡靶与铟的不润湿 ,采用了一种特殊的方法 ,在 ITO靶与铟熔体界面处 ,对铟熔体施加局部的高压处理 ,增加了 ITO界面的亚微观缺陷 ,促进了 In与 ITO的渗透和交融 ,实现了 ITO靶与铟的润湿和铺展 ,为 ITO靶和
关键词 氧化铟锡 溅射 润湿 焊接
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