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事业单位项目支出绩效评价研究
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作者 余薇 《环渤海经济瞭望》 2025年第1期134-137,共4页
一、前言本文聚焦事业单位项目支出绩效评价,旨在通过深入、系统地评估项目支出在科学性、效率性、效益性和公平性等方面的情况,以提升财政资金使用效率,保障公共资源合理配置。本文构建了一套多维度绩效评价指标体系,包括投入产出比、... 一、前言本文聚焦事业单位项目支出绩效评价,旨在通过深入、系统地评估项目支出在科学性、效率性、效益性和公平性等方面的情况,以提升财政资金使用效率,保障公共资源合理配置。本文构建了一套多维度绩效评价指标体系,包括投入产出比、目标达成度和社会满意度等,通过对代表性事业单位项目支出的实证分析,探索支出效果并提出改进建议[1]。 展开更多
关键词 项目支出 社会满意度 投入产出比 事业单位 目标达成度 评估项目 支出绩效评价 效益性
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高碳铬不锈钢电子束焊接头性能研究 被引量:1
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作者 代一博 罗兵兵 +3 位作者 房卫萍 易耀勇 胡永俊 易朋 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第17期193-197,共5页
针对高碳铬不锈钢焊接接头性能差的问题,采用电子束焊接技术对厚度为5 mm的调质态的高碳铬不锈钢进行焊接。利用光学显微镜(OM)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和拉伸试验机等设备对其接头进行显微组织... 针对高碳铬不锈钢焊接接头性能差的问题,采用电子束焊接技术对厚度为5 mm的调质态的高碳铬不锈钢进行焊接。利用光学显微镜(OM)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和拉伸试验机等设备对其接头进行显微组织与性能分析。结果表明,在加速电压150 kV、束流强度17 mA、焊接速度850 mm/min的条件下,可获得成形良好、无气孔和裂纹等缺陷产生的焊接接头。碳及合金元素以固溶态形式存在于焊缝中,熔合区均为马氏体和残余奥氏体,呈现出非平衡凝固组织,焊接热影响区中碳化物颗粒发生部分溶解。焊接接头硬度分布呈现典型的“M”型,焊接热影响区硬度最高,可达750HV;焊接接头抗拉强度为699 MPa,在焊接热影响区发生脆性断裂,接头的塑性变形能力急剧下降。 展开更多
关键词 高碳铬不锈钢 电子束焊 显微组织 接头性能
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TC11钛合金表面TiN颗粒强化层组织与性能分析
3
作者 梁忠伟 林子顺 +3 位作者 唐荟 李天羿 张宇鹏 BALIGASIMA Patrick 《航空制造技术》 北大核心 2025年第3期41-49,共9页
提升TC11钛合金的耐磨损性能对航空发动机关键零部件的安全性能至关重要。基于表面机械研磨处理工艺,通过将研磨球和TiN粉末混合研磨的方式,在TC11钛合金表面实现了晶粒细化和弥散强化,成功制备了基于TiN颗粒增强的强化层,对表面形貌和... 提升TC11钛合金的耐磨损性能对航空发动机关键零部件的安全性能至关重要。基于表面机械研磨处理工艺,通过将研磨球和TiN粉末混合研磨的方式,在TC11钛合金表面实现了晶粒细化和弥散强化,成功制备了基于TiN颗粒增强的强化层,对表面形貌和微观组织特征进行研究,并评估其耐磨损性能。结果表明,处理后的TC11钛合金样品表面粗糙度显著降低,表面硬度和耐磨损性能显著提升。与未处理和仅作普通研磨处理的样品相比,TiN颗粒增强的样品表面粗糙度分别降低了43.29%和23.14%,表面硬度分别提高了9.48%和1.8%,磨痕宽度分别降低了36.18%和33.18%。本文为改善TC11及其他钛合金材料的耐磨损性能提供了一种新的解决方法,对提高航空发动机关键零部件的服役性能具有参考意义。 展开更多
关键词 TC11钛合金 表面机械研磨处理 TiN颗粒 强化层 微观组织与性能
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光丝位置对铝合金激光填丝焊接过程的影响 被引量:4
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作者 韩善果 杨永强 +2 位作者 蔡得涛 罗子艺 薛亚飞 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期481-485,共5页
为了明晰光丝距离对激光填丝焊接过程影响规律,采用高速摄像、外观检查、宏观金相等方法,对3种光束模式下不同光丝距离与激光堆焊关系进行了理论分析和实验验证,得到了光丝距离对焊丝熔化、熔滴过渡、熔池波动和焊缝凝固的稳定性影响数... 为了明晰光丝距离对激光填丝焊接过程影响规律,采用高速摄像、外观检查、宏观金相等方法,对3种光束模式下不同光丝距离与激光堆焊关系进行了理论分析和实验验证,得到了光丝距离对焊丝熔化、熔滴过渡、熔池波动和焊缝凝固的稳定性影响数据。结果表明,光丝位置由相交(-5mm)向相离(+5mm)变化时,熔滴过渡经历“液滴→液滴+液桥→液桥→液滴+液桥”阶段;相同光丝距离时,单光束激光模式、双光束激光串行模式和双光束并行模式的焊缝熔深依次降低,甚至出现焊缝偏移和无熔深现象;单光束模式和双光束串行模式对焊丝熔化和熔池的影响规律近似,但双光束并行模式下具有特殊性;单光束激光焊接时,随着离焦量的增加,焊缝的熔深由最大值409.8μm迅速减小到282.6μm;双光束激光串行模式时,焊缝的最大熔深仅为328.4μm,随着离焦量降低而减小,但正离焦量为焊缝截面呈现不对称状态;双光束激光并行焊接模式时,焊丝偏向小功率激光束时,焊缝无熔深;随着焊丝向大功率激光束移动,形成仅有226.5μm小熔深焊缝。该研究为铝合金激光增材和焊接提供了参考。 展开更多
关键词 材料 焊接稳定性 光丝距离 熔滴过渡 光束模式 铝合金激光填丝焊接
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40mm厚TC4钛合金窄间隙激光填丝焊接头组织及性能 被引量:9
5
作者 徐楷昕 雷振 +4 位作者 黄瑞生 尹立孟 方乃文 邹吉鹏 曹浩 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期158-163,共6页
利用窄间隙激光填丝焊接工艺完成了40 mm厚TC4钛合金的焊接,通过OM、SEM、EDS、XRD、EBSD等测试方法对接头各区域进行微观组织和结构分析,并测试了其力学性能。结果表明,焊缝截面整体成形良好,无明显未熔合与气孔缺陷。接头三个区域的... 利用窄间隙激光填丝焊接工艺完成了40 mm厚TC4钛合金的焊接,通过OM、SEM、EDS、XRD、EBSD等测试方法对接头各区域进行微观组织和结构分析,并测试了其力学性能。结果表明,焊缝截面整体成形良好,无明显未熔合与气孔缺陷。接头三个区域的显微组织相同:焊缝柱状晶内部分布着密集排列的针状α′马氏体和弥散分布的颗粒状的α_(g)相,同一β晶粒内部α′择优取向,大角度晶界比例较高。焊缝中心各区都是典型的α′+β双相结构。热影响区为过渡态组织,越靠近焊缝侧,其组织形态与焊缝处越相似,焊接过程中Al元素向热影响区发生了扩散。焊接接头焊缝区整体硬度高于母材,盖面区最高,平均值约为380HV。接头的抗拉强度最大值为954 MPa,拉伸试样均断在母材,断口为韧性断裂,接头各区室温冲击性能均低于母材。 展开更多
关键词 激光技术 激光填丝焊 TC4钛合金 显微组织 力学性能
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激光摆动路径对钢/铝点焊接头组织与性能的影响 被引量:2
6
作者 巴一 韩善果 +2 位作者 杨永强 郑世达 师文庆 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第8期214-223,共10页
钢、铝两种材料因为物理性能和化学成分上存在较大差异,导致钢铝焊接成为难点。为了得到高质量的钢/铝接头,采用7种激光扫描路径对DP780双相钢和5083铝合金两种金属进行搭接点焊试验。研究激光扫描路径对钢/铝接头宏观形貌、金相组织、... 钢、铝两种材料因为物理性能和化学成分上存在较大差异,导致钢铝焊接成为难点。为了得到高质量的钢/铝接头,采用7种激光扫描路径对DP780双相钢和5083铝合金两种金属进行搭接点焊试验。研究激光扫描路径对钢/铝接头宏观形貌、金相组织、显微硬度和剪切强度的影响。结果表明:扫描路径的变化对接头的影响较大,相比于常规焊接,摆动焊接的接头具备更好的连接质量,焊缝表面成形效果更好;钢/铝接头主要由马氏体和铁素体组成,使用激光摆动点焊的接头晶界明显,在马氏体和铁素体交界处有少量的片状珠光体,且焊缝各处的晶粒种类无较大差异,因此焊缝各处力学性能相同,减少受力后,出现应力集中的现象;摆动点焊钢/铝接头的力学性能得到提升,钢侧接头的最大显微硬度可达450 HV,是常规的1.06倍,剪切强度为83 N/mm,是常规焊接的2.12倍。 展开更多
关键词 激光摆动焊接 焊缝成型 金相组织 显微硬度 剪切强度
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双轴肩搅拌摩擦焊技术研究现状与发展趋势 被引量:3
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作者 秦佳琛 谭锦红 +1 位作者 张大童 王春桂 《材料研究与应用》 CAS 2020年第4期336-343,共8页
双轴肩搅拌摩擦焊技术改善了传统搅拌摩擦焊接过程中不能焊接中空及形状复杂的零件的问题,是一种新型的搅拌摩擦焊接技术.但是目前仍处于初始发展阶段,相关的理论及应用研究比较少.从搅拌头结构、焊缝成形、接头微观组织与力学性能、温... 双轴肩搅拌摩擦焊技术改善了传统搅拌摩擦焊接过程中不能焊接中空及形状复杂的零件的问题,是一种新型的搅拌摩擦焊接技术.但是目前仍处于初始发展阶段,相关的理论及应用研究比较少.从搅拌头结构、焊缝成形、接头微观组织与力学性能、温度场研究及应用前景五个方面介绍其研究现状,为以后的发展及工程应用提供参考. 展开更多
关键词 双轴肩搅拌摩擦焊 搅拌头结构 焊缝成形 显微组织 力学性能 温度场研究
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激光摆动焊接的功率对钢/铝焊接接头的影响 被引量:6
8
作者 巴一 韩善果 +4 位作者 师文庆 黄进钰 黄江 谢玉萍 何宽芳 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期193-198,共6页
为了研究不同激光功率对摆动焊接钢/铝材料的影响,采用大功率碟片激光器和PFO3D摆动接头相结合,对DP780双相钢和5083铝合金两种金属进行了搭接实验。结果表明,1400W~1600W的功率区间内可有效实现板材焊接;激光功率为1400W时,焊接接头的... 为了研究不同激光功率对摆动焊接钢/铝材料的影响,采用大功率碟片激光器和PFO3D摆动接头相结合,对DP780双相钢和5083铝合金两种金属进行了搭接实验。结果表明,1400W~1600W的功率区间内可有效实现板材焊接;激光功率为1400W时,焊接接头的金相组织为低碳马氏体,显微硬度的最低值和最高值分别位于热影响区和焊缝中心;随着激光功率的增加,焊缝内的铁素体增多,马氏体减少,接头显微硬度的最高值和最低值分别改为热影响区和焊缝中心;当激光功率为1400W时,焊缝抗拉强度最高为2681MPa。此研究结果在船舶制造的领域应用具有较为重要的意义。 展开更多
关键词 激光技术 激光摆动焊接 激光功率 金相组织 力学性能
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不同功率对激光摆动焊接钢/铝异种材料的影响 被引量:3
9
作者 巴一 韩善果 +5 位作者 任香会 师文庆 黄进钰 黄江 谢玉萍 何宽芳 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期636-640,共5页
为了得到高质量的钢/铝接头,采用激光摆动焊接的方法、使用不同的功率对DP780双相钢和5083铝合金两种金属进行了搭接实验,研究了不同焊接功率对钢/铝接头宏观形貌、微观组织和力学性能的影响。结果表明,1400W~1600W的功率区间内可有效... 为了得到高质量的钢/铝接头,采用激光摆动焊接的方法、使用不同的功率对DP780双相钢和5083铝合金两种金属进行了搭接实验,研究了不同焊接功率对钢/铝接头宏观形貌、微观组织和力学性能的影响。结果表明,1400W~1600W的功率区间内可有效实现板材焊接;激光功率为1400W和1500W时,焊接接头的金相组织以马氏体为主,当激光功率为1600W时,接头内的铁素体增多,马氏体减少,焊接接头的金相组织以铁素体为主;3种接头显微硬度的最低值和最高值分别位于焊缝中心和热影响区,在1500W的激光功率下,焊接接头的力学性能最好,钢侧接头的显微硬度约高于母材显微硬度的1.7倍;接头的最大剪切强度达到113N/mm。此研究结果应用在船舶制造领域具有较重要的意义。 展开更多
关键词 激光技术 激光摆动焊接 激光功率 金相组织 显微硬度 剪切强度
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定向能量沉积增材制造双相不锈钢微观组织与性能研究进展 被引量:1
10
作者 黄锨航 易江龙 +4 位作者 曹艺 牛犇 邹晓东 邱文丰 潘琳琳 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第S01期380-386,共7页
双相不锈钢由于其优异的力学性能和耐腐蚀性能,被广泛应用于海洋工程、石油化工等领域。目前与铸造等传统工艺相比,定向能量沉积(DED)在制造形状复杂的大尺寸双相不锈钢结构件上具有材料利用率高、产品交付周期短等优势。然而,DED过程... 双相不锈钢由于其优异的力学性能和耐腐蚀性能,被广泛应用于海洋工程、石油化工等领域。目前与铸造等传统工艺相比,定向能量沉积(DED)在制造形状复杂的大尺寸双相不锈钢结构件上具有材料利用率高、产品交付周期短等优势。然而,DED过程中复杂的热循环容易引起双相不锈钢微观组织的不均匀,导致其力学性能的各向异性和耐腐蚀性能的恶化。本文综述了近年来基于DED技术增材制造的双相不锈钢的研究现状,总结了成型工艺参数、合金成分、热处理工艺等对双相不锈钢结构件微观组织的演变、力学性能及腐蚀性能的影响,最后对该领域未来的重要研究方向进行了分析和展望。 展开更多
关键词 双相不锈钢 定向能量沉积 微观组织 力学性能 耐蚀性
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搅拌摩擦增材制造的研究进展 被引量:2
11
作者 马婷 杨浩坤 赵运强 《材料研究与应用》 CAS 2023年第4期667-675,共9页
介绍了基于搅拌摩擦焊原理开发的固相增材制造技术,根据制备工艺差异,搅拌摩擦增材制造技术可分为3类,分别为基于薄板逐层堆积的搅拌摩擦增材制造技术、消耗金属粉材的固相搅拌摩擦增材制造技术及消耗金属棒材的摩擦表面增材制造技术。... 介绍了基于搅拌摩擦焊原理开发的固相增材制造技术,根据制备工艺差异,搅拌摩擦增材制造技术可分为3类,分别为基于薄板逐层堆积的搅拌摩擦增材制造技术、消耗金属粉材的固相搅拌摩擦增材制造技术及消耗金属棒材的摩擦表面增材制造技术。对上述3类搅拌摩擦增材技术的国内外研究现状进行了介绍和分析,并对基于搅拌摩擦的固相增材制造技术未来的发展进行了展望。 展开更多
关键词 固相增材制造 搅拌摩擦 制备工艺 力学性能 组织结构
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可溶性钙盐沉淀法处理含氟废水的热力学分析及应用设计
12
作者 贺军四 胡泽宇 +5 位作者 蔡沛沛 林业伟 蔡耿生 蔡志红 张晓宏 刘福平 《材料研究与应用》 CAS 2024年第5期819-825,共7页
针对可溶性钙盐处理含氟废水的工艺过程较为复杂,且处理效果存在不确定性问题,通过热力学分析,研究了可溶性钙盐沉淀反应处理含氟废水的过程,揭示了去除F-过程的化学和物理现象,由此设计出两阶段可溶性钙盐处理含氟废水工艺。通过推导... 针对可溶性钙盐处理含氟废水的工艺过程较为复杂,且处理效果存在不确定性问题,通过热力学分析,研究了可溶性钙盐沉淀反应处理含氟废水的过程,揭示了去除F-过程的化学和物理现象,由此设计出两阶段可溶性钙盐处理含氟废水工艺。通过推导出的残余F-含量与Ca^(2+)浓度的平衡关系式,计算出残余F-含量低至1.91 mg·L^(-1),明显低于国家现行的污水处理排放标准。含氟废水两阶段处理工艺:第一阶段,将待处理含氟废水的pH值调整至5.0—6.5,边搅拌边加入氯化钙,其加入量为理论计算总量的1/4,搅拌10 min后静止30 min;第二阶段,将经第一阶段处理后的污水pH值调整至7.5—8.5,加入剩余的氯化钙,搅拌30 min后静止20 min,再加入400 mg·L^(-1)的聚合氯化铝絮凝剂。结果表明,当氯化钙药剂的实际添加总量为理论计算添加总量的82.29%时,采用两阶段可溶性钙盐处理工艺可去除含氟废水中99.88%的F-,残余F-的含量为3.33 mg·L^(-1),符合国家现行的污水处理排放标准。当含氟废水中F-含量大于100 mg·L^(-1)时,随着可溶性钙盐添加量增加残余F-含量迅速下降;而当含氟废水中F-含量小于100mg·L^(-1)时,随着可溶性钙盐添加量增加Ca^(2+)与F-反应的速率减慢,残余F-的含量下降趋缓。可溶性钙盐处理偏碱性含氟废水时,适当提高处理后污水的pH值有助于降低残余F-的含量,同时也能相应地减少Ca^(2+)的添加量。若含氟废水处理后的值小于处理前时,其pH值下降越少,添加可溶性钙盐的量亦越少。因此,pH值是影响Ca^(2+)添加量及处理结果的重要因素。 展开更多
关键词 可溶性 可溶性钙盐 沉淀反应 处理 氟废水 热力学 沉淀物 PH值
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数字化转型视角下事业单位财务管理探讨
13
作者 余薇 《行政事业资产与财务》 2024年第22期112-114,共3页
数字化转型深刻改变了事业单位财务管理模式,信息技术发展正在驱动财务管理向数字化、智能化演进。事业单位采用先进财务管理软件和平台,能实现财务数据的自动化处理和分析,大幅提高财务管理效率和精准度;同时,数字化转型推动了财务管... 数字化转型深刻改变了事业单位财务管理模式,信息技术发展正在驱动财务管理向数字化、智能化演进。事业单位采用先进财务管理软件和平台,能实现财务数据的自动化处理和分析,大幅提高财务管理效率和精准度;同时,数字化转型推动了财务管理的标准化和规范化,有利于加强内部控制、降低财务管理风险、提高透明度和提升公信力。通过大数据分析预测模型,事业单位还能科学精确地开展财务预测、预算编制和成本控制,促进自身的可持续发展和战略目标的实现。 展开更多
关键词 数字化转型 事业单位 财务管理
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工艺参数对钛合金激光–等离子电弧同轴复合焊接的电弧电压的影响
14
作者 蔡得涛 罗子艺 +1 位作者 张屹 刘伟清 《航空制造技术》 2025年第9期38-46,共9页
探究新型激光–等离子电弧同轴复合焊接钛合金过程中,工艺参数对复合电弧电压的影响,以此实现对焊接质量的有效控制。采用电弧电特性采集系统,采集复合焊接进程中的电弧电信号,并利用多元线性回归手段构建工艺参数与电弧电压间的回归模... 探究新型激光–等离子电弧同轴复合焊接钛合金过程中,工艺参数对复合电弧电压的影响,以此实现对焊接质量的有效控制。采用电弧电特性采集系统,采集复合焊接进程中的电弧电信号,并利用多元线性回归手段构建工艺参数与电弧电压间的回归模型,深入剖析复合焊接工艺参数,如喷嘴高度、激光功率、等离子电流等对电弧电压的作用规律。研究发现,在本次试验设定条件下,复合焊接中的等离子电压在18~36 V区间内动态波动,且伴随喷嘴高度、电流数值以及激光功率的逐步递增,电弧电压均呈现上升态势。经回归模型量化评估,喷嘴高度对电弧电压的影响最为突出,等离子电流次之,激光功率最小。通过观察电弧形态变化,验证了回归模型对影响因素权重判断的准确性。为进一步优化焊接工艺提供了试验依据与理论基础。 展开更多
关键词 激光–等离子复合焊接 钛合金 电弧电压 回归模型 工艺参数 同轴复合
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激光扫描速度对碳钢板表面锈蚀层去除质量的影响 被引量:4
15
作者 薛亚飞 罗子艺 +4 位作者 韩善果 蔡得涛 徐望辉 房卫萍 刘皓挺 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第5期230-234,共5页
采用光纤激光器开展了碳钢板表面锈蚀层激光清洗研究,通过白光干涉仪、光学显微镜、拉曼光谱仪等研究了激光扫描速度对锈蚀层去除质量的影响。研究表明,当激光扫描速度小于2000 mm/s时,因光斑搭接率高,热累积效应强,试样表面出现基材熔... 采用光纤激光器开展了碳钢板表面锈蚀层激光清洗研究,通过白光干涉仪、光学显微镜、拉曼光谱仪等研究了激光扫描速度对锈蚀层去除质量的影响。研究表明,当激光扫描速度小于2000 mm/s时,因光斑搭接率高,热累积效应强,试样表面出现基材熔化重凝现象,同时试样表面发生二次氧化,生成了复杂的铁的氧化物膜层,此时试样表面粗糙度最小。当激光扫描速度增加到3000 mm/s时,试样表面锈蚀层去除干净,露出金属基底本身色泽,基材表面二次氧化减弱。当线速度继续增加时,因光斑搭接率低,锈蚀层吸收的激光能量少,仅有部分锈蚀被去除,试样表面开始出现残留锈蚀层,且随着线速度的增加,残留锈蚀层和试样表面粗糙度增加。通过调节扫描速度可以获得较好的除锈效果,工艺优化后,激光功率为120 W时,除锈效率达到1.5 m^(2)/h。 展开更多
关键词 激光除锈 扫描速度 锈蚀层 表面粗糙度
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电弧增材制造AZ31镁合金组织与力学性能分析 被引量:1
16
作者 梁文奇 任香会 +3 位作者 于振涛 韩善果 王瑞超 黄学飞 《材料科学与工艺》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期31-37,共7页
针对镁合金在轻量化结构件领域的应用前景,采用基于MIG焊的电弧增材制造工艺开展了两组不同路径的AZ31镁合金增材实验,并对其微观组织和力学性能进行了分析。结果表明:增材构件相较于原始焊丝的化学成分无较大变化;单道次多层往复堆积... 针对镁合金在轻量化结构件领域的应用前景,采用基于MIG焊的电弧增材制造工艺开展了两组不同路径的AZ31镁合金增材实验,并对其微观组织和力学性能进行了分析。结果表明:增材构件相较于原始焊丝的化学成分无较大变化;单道次多层往复堆积路径相较于多道次多层堆积路径,更易制得表面更为平整,内部更为致密的构件,其屈服强度为77.3 MPa,抗拉强度为235 MPa,达到原始焊丝75%的力学性能水平,平均显微硬度为52.7HV,断后伸长率最高达到了27%;增材构件拉伸断裂方式为韧性断裂,并在多道次多层往复堆积构件断口处发现其内部存在气孔。验证了电弧增材制造AZ31镁合金工艺的可行性。 展开更多
关键词 AZ31镁合金 电弧增材制造 力学性能 微观组织 断裂分析
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基于离子束辅助沉积生长柔性类单晶硅的方法
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作者 高莹 陈俊孚 +1 位作者 吴苏州 索进平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第1期84-92,共9页
通过离子束辅助沉积(IBAD)和射频磁控溅射(RFMS)的方法在低成本、柔性且轻质的金属箔基板上异质外延生长类单晶硅薄膜。在整个过程中,类单晶的Ge被用作晶格匹配的缓冲层进行Si的外延生长,其中Ge的基材来源于用IBAD法制备的双轴织构的氧... 通过离子束辅助沉积(IBAD)和射频磁控溅射(RFMS)的方法在低成本、柔性且轻质的金属箔基板上异质外延生长类单晶硅薄膜。在整个过程中,类单晶的Ge被用作晶格匹配的缓冲层进行Si的外延生长,其中Ge的基材来源于用IBAD法制备的双轴织构的氧化物过渡层。通过Si_(x)Ge_(1-x)的梯度溅射进行Ge与Si之间的过渡,减少其界面缺陷。生长出的外延硅沿[001]方向高度取向,具有强烈的双轴织构,电子背散射衍射结果显示生长的类单晶硅薄膜具有小角度晶界,并且超过98%的晶粒与晶粒间的取向差小于2°。透射电子显微镜(TEM)的电子衍射图也证实了薄膜的类单晶性质。Raman光谱显示硅薄膜具有高的结晶度,结晶度几乎可与单晶硅片相媲美。与没有Si_(x)Ge_(1-x)缓冲层的Si薄膜相比,具有缓冲层的Si薄膜表现出更好的织构、结晶度和更少的缺陷。在电性能方面,测得的n-Si薄膜掺杂浓度约为5×10^(18)cm^(-3),电子迁移率为110 cm^(2)/(V·s)。因此,采用RFMS和IBAD的方法可以为在柔性和低成本的非晶衬底上直接沉积高电子迁移率半导体薄膜提供一种新思路,这种新思路也为高性能印刷电子、柔性太阳电池和柔性电子应用提供了新的机会。 展开更多
关键词 双轴织构 柔性类单晶硅薄膜 硅锗缓冲层 射频磁控溅射(RFMS) 离子束辅助沉积(IBAD) 高电子迁移率
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制备方法对氟铝酸钾成分和性能的影响 被引量:1
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作者 刘宏江 曾燕 +1 位作者 李鹏 李石敬敏 《材料研究与应用》 CAS 2022年第6期1030-1034,共5页
为研究制备方法对氟铝酸钾成分及性能的影响,分别采用干磨法、水磨法、烧结法、熔融法和氢氟酸化合法制备氟铝酸钾,并运用XRD和DSC-TGA对5种不同方法制备的氟铝酸钾样品进行了分析。结果表明:熔融法和氢氟酸化合法相比于干磨法、水磨法... 为研究制备方法对氟铝酸钾成分及性能的影响,分别采用干磨法、水磨法、烧结法、熔融法和氢氟酸化合法制备氟铝酸钾,并运用XRD和DSC-TGA对5种不同方法制备的氟铝酸钾样品进行了分析。结果表明:熔融法和氢氟酸化合法相比于干磨法、水磨法和烧结法,他们的反应更完全、熔点最低,制备的氟铝酸钾高温组成相相同、品质相当;氢氟酸化合法相比于熔融法,生产原料价廉易得、生产工艺简单、生产成本较低,该法更适合在大规模生产中使用。 展开更多
关键词 钎焊 铝钎剂 氟铝酸钾 熔融法 氢氟酸化合法
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高真空磁控溅射温度对Ga_(2)O_(3)微观结构及光学性能的影响
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作者 赵晶晶 刘丽华 +2 位作者 秦彬皓 王海燕 杨为家 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期1236-1243,共8页
采用高真空射频磁控溅射法在硅Si(111)衬底上沉积氧化镓(β-Ga_(2)O_(3)),开展了溅射温度对Ga_(2)O_(3)微观结构及光学性能影响的研究,利用X射线衍射、扫描电子显微镜、荧光光谱仪等测试手段对Ga_(2)O_(3)晶体结构、表面形貌及光学性能... 采用高真空射频磁控溅射法在硅Si(111)衬底上沉积氧化镓(β-Ga_(2)O_(3)),开展了溅射温度对Ga_(2)O_(3)微观结构及光学性能影响的研究,利用X射线衍射、扫描电子显微镜、荧光光谱仪等测试手段对Ga_(2)O_(3)晶体结构、表面形貌及光学性能进行表征分析。实验结果表明,在高纯Ar气环境下,所沉积的Ga_(2)O_(3)形貌差异与不同溅射温度下Ga_(2)O_(3)生长机理有关,当溅射温度达到300℃时,Ga_(2)O_(3)发生热分解,形成金属Ga团簇;当溅射温度达到400℃时,金属Ga团簇作为催化剂触发Ga_(2)O_(3)纳米线的自催化生长。光致发光(PL)光谱中,Ga_(2)O_(3)样品在300~700 nm波长范围内显示出4个位于紫光、蓝光、绿光区域的发射峰,在溅射温度为400℃下形成的Ga_(2)O_(3)纳米线发射峰显著增强,并且发生轻微的蓝移,纳米结构中较大的比表面积以及量子尺寸效应对Ga_(2)O_(3)的荧光发射(PL)性能具有重要影响。拉曼光谱(Raman)显示,随着溅射温度升高,Ga_(2)O_(3)晶体质量有所提高;在溅射温度为400℃下形成的纳米线出现新的拉曼振动模式,并且发生18 cm^(-1)的蓝移。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 Ga_(2)O_(3) 结构性能 光学性能
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