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超薄纳米薄膜的划痕硬度评价方法及应用
被引量：
4
1
作者
范雪
刁东风
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期510-518,共9页
纳米压痕是一种常用的薄膜硬度评价方法.然而,当薄膜厚度<10 nm时,该方法难以去除基体对薄膜硬度的影响,因而无法获得薄膜自身的硬度,限制了纳米结构与硬度之间关系的认知,阻碍了超薄纳米结构薄膜的应用.本研究提出一种基于纳米压痕...
纳米压痕是一种常用的薄膜硬度评价方法.然而,当薄膜厚度<10 nm时,该方法难以去除基体对薄膜硬度的影响,因而无法获得薄膜自身的硬度,限制了纳米结构与硬度之间关系的认知,阻碍了超薄纳米结构薄膜的应用.本研究提出一种基于纳米压痕硬度标定下的纳米划痕硬度评价方法,并将其应用于纳米结构碳膜的硬度研究.首先,利用自行设计搭建的纳米刻划装置,通过对比碳膜在纳米划痕和纳米压痕方法下的残余变形深度,分析不受基体影响的临界薄膜厚度,得到纳米划痕深度不受基体影响的临界薄膜厚度.其次,采用压头形状等效接触模型,利用划痕的残余顶角、宽度和深度,通过计算压头前端的接触压力分布得到硅基体的纳米划痕硬度,与纳米压痕硬度标定结果一致.最后,将纳米划痕硬度方法应用在电子回旋共振等离子体溅射方法制备的3种不同纳米结构碳膜上,得到交联结构碳膜和非晶碳膜的硬度分别约为19.1 GPa和14.6 GPa,高于硅基体11.2 GPa的硬度,而石墨烯嵌入式碳膜的硬度约为2.7 GPa.分析不同纳米结构碳膜的刻划机理表明,在sp 2含量较高的纳米结构碳膜中,sp 3含量并不是决定碳膜力学特性的唯一因素,小尺度、多石墨烯层间交联结构能够有效增加层间的剪切强度,薄膜展现出较好的耐刻划特性.研究结果有助于进一步拓展纳米划痕方法的应用,也为不同纳米结构碳膜的应用提供了理论基础.
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关键词
测试计量技术及仪器
纳米划痕
纳米压痕
硬度
碳膜
纳米结构
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职称材料
钙钛矿CsPbBr3中光生载流子的动力学行为
被引量：
1
2
作者
宋宗鹏
章瑛
+2 位作者
蒋凌峰
裴继红
阮双琛
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期557-563,共7页
钙钛矿材料的光电性能十分优异,可应用于光电器件,且钙钛矿中光生载流子的动力学行为可以决定光电器件的性能.本研究利用泵浦探测瞬态吸收光谱研究CsPbBr 3量子点被激发后光生载流子的动力学行为,通过奇异值分解及全局拟合研究了CsPbBr ...
钙钛矿材料的光电性能十分优异,可应用于光电器件,且钙钛矿中光生载流子的动力学行为可以决定光电器件的性能.本研究利用泵浦探测瞬态吸收光谱研究CsPbBr 3量子点被激发后光生载流子的动力学行为,通过奇异值分解及全局拟合研究了CsPbBr 3量子点被光激发后的瞬态吸收光谱.实验结果表明,激子间的耦合会导致CsPbBr 3量子点的能带边沿发生红移,而Burstein-Moss效应会引起其能带边沿发生蓝移.结果同时揭示了CsPbBr 3量子点中光生载流子的动力学过程,以及与之对应的指前相关因子光谱,其中,热载流子的弛豫时间约为0.4 ps,10 ps和100 ps量级的衰减时间可归结为双激子以及带电激子的寿命,而纳秒量级的衰减时间可归结为激子的辐射复合.
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关键词
纳米材料
钙钛矿
瞬态吸收光谱
超快动力学
奇异值分解
全局拟合
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职称材料
基于有效背景重构和对比度增强的Mura缺陷检测
被引量：
6
3
作者
胡亮
胡学娟
+3 位作者
黄圳鸿
徐露
胡凯
张家铭
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第10期1395-1402,共8页
提出一种基于有效背景重构和对比度增强的Mura缺陷检测方法。首先,提出了一种新的基于缺陷区域预剔除的背景重构方法,能够有效地重构背景图像,消除图像亮度不均等干扰。然后,引入了基于Otsu的双γ分段指数变换法对差分图像进行增强处理...
提出一种基于有效背景重构和对比度增强的Mura缺陷检测方法。首先,提出了一种新的基于缺陷区域预剔除的背景重构方法,能够有效地重构背景图像,消除图像亮度不均等干扰。然后,引入了基于Otsu的双γ分段指数变换法对差分图像进行增强处理,能够有效解决背景残余问题且极大增强了Mura区域的对比度和轮廓度。最后,直接运用动态阈值分割方法,可以快速准确地将Mura缺陷分离出来。实验结果表明,与传统的多项式曲面拟合方法以及离散余弦变换法相比,本文方法对各种类型的Mura缺陷检测效果稳定,且检出率和无误报率均达到了97%以上。
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关键词
TFT-LCD
Mura缺陷检测
背景重构
分段指数变换
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职称材料
题名
超薄纳米薄膜的划痕硬度评价方法及应用
被引量：
4
1
作者
范雪
刁东风
机构
深圳大学
纳
米表面科学与
工程
研究所
广东省微纳光机电工程重点实验室
出处
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期510-518,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(51305332)
广东省自然科学基金资助项目(2018A030313908)
深圳市科技计划基础研究资助项目(JCYJ20170817100822005,JCYJ20160427105015701)~~
文摘
纳米压痕是一种常用的薄膜硬度评价方法.然而,当薄膜厚度<10 nm时,该方法难以去除基体对薄膜硬度的影响,因而无法获得薄膜自身的硬度,限制了纳米结构与硬度之间关系的认知,阻碍了超薄纳米结构薄膜的应用.本研究提出一种基于纳米压痕硬度标定下的纳米划痕硬度评价方法,并将其应用于纳米结构碳膜的硬度研究.首先,利用自行设计搭建的纳米刻划装置,通过对比碳膜在纳米划痕和纳米压痕方法下的残余变形深度,分析不受基体影响的临界薄膜厚度,得到纳米划痕深度不受基体影响的临界薄膜厚度.其次,采用压头形状等效接触模型,利用划痕的残余顶角、宽度和深度,通过计算压头前端的接触压力分布得到硅基体的纳米划痕硬度,与纳米压痕硬度标定结果一致.最后,将纳米划痕硬度方法应用在电子回旋共振等离子体溅射方法制备的3种不同纳米结构碳膜上,得到交联结构碳膜和非晶碳膜的硬度分别约为19.1 GPa和14.6 GPa,高于硅基体11.2 GPa的硬度,而石墨烯嵌入式碳膜的硬度约为2.7 GPa.分析不同纳米结构碳膜的刻划机理表明,在sp 2含量较高的纳米结构碳膜中,sp 3含量并不是决定碳膜力学特性的唯一因素,小尺度、多石墨烯层间交联结构能够有效增加层间的剪切强度,薄膜展现出较好的耐刻划特性.研究结果有助于进一步拓展纳米划痕方法的应用,也为不同纳米结构碳膜的应用提供了理论基础.
关键词
测试计量技术及仪器
纳米划痕
纳米压痕
硬度
碳膜
纳米结构
Keywords
measurement technology and instrument
nanoscratch
nanoindentation
hardness
carbon film
nanostructure
分类号
TH117.1 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
钙钛矿CsPbBr3中光生载流子的动力学行为
被引量：
1
2
作者
宋宗鹏
章瑛
蒋凌峰
裴继红
阮双琛
机构
深圳大学电子与信息
工程
学院
深圳技术大学新材料与新能源学院
深圳市激光
工程
重点
实验室
出处
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期557-563,共7页
基金
国家重点研发计划资助项目(2016YFA0401100)
国家自然科学基金资助项目(61575129)
+1 种基金
广东省重大科技专项资助项目(2014B010131006)
深圳市科技基础研究计划资助项目(JCYJ20180305125000525)~~
文摘
钙钛矿材料的光电性能十分优异,可应用于光电器件,且钙钛矿中光生载流子的动力学行为可以决定光电器件的性能.本研究利用泵浦探测瞬态吸收光谱研究CsPbBr 3量子点被激发后光生载流子的动力学行为,通过奇异值分解及全局拟合研究了CsPbBr 3量子点被光激发后的瞬态吸收光谱.实验结果表明,激子间的耦合会导致CsPbBr 3量子点的能带边沿发生红移,而Burstein-Moss效应会引起其能带边沿发生蓝移.结果同时揭示了CsPbBr 3量子点中光生载流子的动力学过程,以及与之对应的指前相关因子光谱,其中,热载流子的弛豫时间约为0.4 ps,10 ps和100 ps量级的衰减时间可归结为双激子以及带电激子的寿命,而纳秒量级的衰减时间可归结为激子的辐射复合.
关键词
纳米材料
钙钛矿
瞬态吸收光谱
超快动力学
奇异值分解
全局拟合
Keywords
nanomaterial
perovskite
transient absorption spectra
ultrafast dynamics
singular value decomposition
global fitting
分类号
O433 [机械工程—光学工程]
O472 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
基于有效背景重构和对比度增强的Mura缺陷检测
被引量：
6
3
作者
胡亮
胡学娟
黄圳鸿
徐露
胡凯
张家铭
机构
深圳技术大学中德智能制造学院
广东省
先进光学精密制造
重点
实验室
广东省微纳光机电工程重点实验室
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第10期1395-1402,共8页
基金
广东省普通高校特色创新类项目(No.2021KTSCX111)
深圳市坪山区科技创新专项(No.PSKG202006)
深圳技术大学2021年自制实验仪器设备项目(No.2021015777701059)。
文摘
提出一种基于有效背景重构和对比度增强的Mura缺陷检测方法。首先,提出了一种新的基于缺陷区域预剔除的背景重构方法,能够有效地重构背景图像,消除图像亮度不均等干扰。然后,引入了基于Otsu的双γ分段指数变换法对差分图像进行增强处理,能够有效解决背景残余问题且极大增强了Mura区域的对比度和轮廓度。最后,直接运用动态阈值分割方法,可以快速准确地将Mura缺陷分离出来。实验结果表明,与传统的多项式曲面拟合方法以及离散余弦变换法相比,本文方法对各种类型的Mura缺陷检测效果稳定,且检出率和无误报率均达到了97%以上。
关键词
TFT-LCD
Mura缺陷检测
背景重构
分段指数变换
Keywords
TFT-LCD
Mura defect detection
background reconstruction
piecewise exponential transform
分类号
TN141.9 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超薄纳米薄膜的划痕硬度评价方法及应用
范雪
刁东风
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
钙钛矿CsPbBr3中光生载流子的动力学行为
宋宗鹏
章瑛
蒋凌峰
裴继红
阮双琛
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于有效背景重构和对比度增强的Mura缺陷检测
胡亮
胡学娟
黄圳鸿
徐露
胡凯
张家铭
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2021
6
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职称材料
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