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电感耦合等离子刻蚀法加工石英晶体谐振器工艺研究
1
作者
陈静白
张新海
刘峰
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2023年第9期3395-3401,共7页
为了制备石英晶体谐振器,在石英衬底上采用光刻和电感耦合等离子刻蚀技术制备台阶形貌,研究了制备过程中激励电源功率、偏压电源功率以及导热物质等工艺参数对刻蚀效果的影响。并且利用扫描电子显微镜对刻蚀图形的表面形貌进行了观察,...
为了制备石英晶体谐振器,在石英衬底上采用光刻和电感耦合等离子刻蚀技术制备台阶形貌,研究了制备过程中激励电源功率、偏压电源功率以及导热物质等工艺参数对刻蚀效果的影响。并且利用扫描电子显微镜对刻蚀图形的表面形貌进行了观察,通过实验与分析得到了符合工业生产要求的工艺参数。最后在最优工艺参数条件下,制得了高约22μm的整齐的台阶形貌,并将干法刻蚀的结果与湿法刻蚀对比,展现了干法刻蚀的特点以及干法刻蚀应用于工业化生产石英晶体谐振器的潜力。
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关键词
石英晶体
光刻
电感耦合等离子刻蚀
工艺参数
台阶刻蚀
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职称材料
题名
电感耦合等离子刻蚀法加工石英晶体谐振器工艺研究
1
作者
陈静白
张新海
刘峰
机构
南方
科技
大学电子与电气工程系
广东惠伦晶体科技股份有限公司
出处
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2023年第9期3395-3401,共7页
基金
东莞市重点领域研发项目(20201200300112)。
文摘
为了制备石英晶体谐振器,在石英衬底上采用光刻和电感耦合等离子刻蚀技术制备台阶形貌,研究了制备过程中激励电源功率、偏压电源功率以及导热物质等工艺参数对刻蚀效果的影响。并且利用扫描电子显微镜对刻蚀图形的表面形貌进行了观察,通过实验与分析得到了符合工业生产要求的工艺参数。最后在最优工艺参数条件下,制得了高约22μm的整齐的台阶形貌,并将干法刻蚀的结果与湿法刻蚀对比,展现了干法刻蚀的特点以及干法刻蚀应用于工业化生产石英晶体谐振器的潜力。
关键词
石英晶体
光刻
电感耦合等离子刻蚀
工艺参数
台阶刻蚀
Keywords
quartz crystal
photolithography
inductively coupled plasma etching
processing parameter
step etching
分类号
TH162 [机械工程—机械制造及自动化]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电感耦合等离子刻蚀法加工石英晶体谐振器工艺研究
陈静白
张新海
刘峰
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2023
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