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题名高速宏微运动平台及精密定位方法
被引量：6
- 1
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作者
张金迪
高健
谭宇韬
张揽宇
赵光同
万宇
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机构
广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室
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出处
《制造技术与机床》
北大核心
2019年第8期117-121,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(51675106,U1601202)
广东高校建设重大科研项目(17ZK0091)
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文摘
围绕微电子精密制造封装装备的高性能要求,在宏微复合定位技术的基础上,提出一种新型宏微复合精密定位平台及其精密定位方法。首先利用ADAMS/view对平台进行动力学分析与仿真,明确弹簧刚度与预紧力因素对系统性能的影响,使得符合封装装备高频往复的工作要求。然后提出宏微复合运动的PID切换控制方法,实现平台的控制系统开发,搭建其宏微复合定位平台,并开展其定位性能的实验。结果表明,在速度为0.25m/s,加速度为5g的20mm运行条件下,平台能够实现40nm的定位精度且稳定时间小于105ms。
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关键词
宏微复合平台
音圈电动机
压电陶瓷
双PID定位方法
动力学
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Keywords
macro micro composite stage
voice coil motor
piezoelectric ceramic
dual PID control
dynamic
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分类号
TH-39
[机械工程]
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题名迭代学习在音圈电机轨迹跟踪中的应用研究
被引量：2
- 2
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作者
贺云波
曾志强
张昌
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机构
广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2020年第4期258-261,共4页
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基金
广东省自然科学基金(No.2016A030308016)广东省R&D重点项目(No.2015B010133005)。
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文摘
为实现高密度LED焊线机上邦头运动轨迹的精确跟踪,降低因其轨迹偏差而产生的废品率。提出了一种基于迭代学习做前馈控制的前馈+反馈二自由度控制算法。首先对音圈电机进行机理分析,建立了其数学模型,以此为基础,给出了音圈电机轨迹跟踪的整体控制方案,并且结合焊线机上邦头超高加速度(>20g)和整定时间短的运动特点后设计了带遗忘因子的PD型闭环迭代学习控制算法。对所提出的带遗忘因子的PD型闭环迭代学习控制的收敛性进行了理论分析,并且通过MATLAB中的SIMULINK模块进行了动态仿真,验证了该算法下的音圈电机系统响应速度显著提升,位置误差的收敛稳定可靠,改善了高密度LED焊线机上邦头的轨迹跟踪性能。
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关键词
音圈电机
邦头
遗忘因子
迭代学习
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Keywords
Voice Coil Motor
Bond
Forgetting Factor
Iterative Learning
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名基于结构光的微小特征三维测量系统
被引量：6
- 3
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作者
张观锦
高健
林辉
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机构
广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室
韶关学院物理与机电工程学院
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出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2018年第9期72-75,80,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(51675106
U51601202)
+1 种基金
广东省科技计划项目(2015B010104008
2016A030308016)
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文摘
针对微电子制造领域中各种微小型元件的三维测量,研究开发了一套基于结构光技术的高精度三维形貌测量系统,将工业相机与置备高精度小幅面镜头的可编程DLP投影仪结合搭建小视场三维测量系统。针对表面有突点、不连续的微小特征,研究其三维形貌测量方法,提出将四步+多波长相移算法与小视场条纹投影结合的方法来实现高精度的三维测量。针对小视场的结构光测量系统,研究高精度的投影仪标定方法,提出一种改进的标定板图案及标定算法,实现投影仪标定精度达0.189像素。将投影仪看作一个逆向相机并根据相位信息和标定参数进行三维重建。实验对标准量块及倒装芯片的晶圆突点进行测量,测得沟槽深度平均偏差为0.003 mm,晶圆突点三维重建效果良好。
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关键词
光学三维测量
微小特征三维测量
结构光
多波长相移
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Keywords
optical 3D measurement
3D measurement of small features
structural light
multiple wavelength phase
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分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
TG506
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名紫外皮秒激光参数对镍铁合金微孔加工的影响
被引量：3
- 4
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作者
陈伟帆
高健
陈云
陈新
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机构
广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室
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出处
《激光杂志》
北大核心
2018年第6期66-69,共4页
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基金
国家自然科学基金-广东省联合基金资助项目(No.U1601202)
广东省教育科研“十二五”规划项目(No.17ZK0091)
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文摘
微孔是半导体、高精密部件的重要组成部分。皮秒激光的超短脉冲宽度、极小的热传递和高性价比特性使得其在微细加工方面具有独特的优势和广泛的应用前景。然而对于直径100μm以下微孔的加工,普遍存在微孔直径较大,微孔锥度大,存在加工影响区域等问题。采用脉冲宽度10ps,波长343nm紫外激光在镍铁合金上进行激光微孔打孔研究。通过前期实验分析,微孔加工过程的排屑问题是微孔成型质量的关键。提出了悬空加工工艺以改善激光打孔的排屑能力,并设计夹具实现材料悬空,提高激光打孔的微孔质量。实验结果表明,悬空加工方法增大了微孔出口直径,减小约2°的微孔锥度。并且在此基础上研究皮秒激光参数对微孔直径、锥度的影响关系。实验结果表明,激光脉冲能量、脉冲频率对微孔直径、锥度存在较大影响,单次叩击加工时间、加工次数对直径影响较小,但是具有改善微孔形貌的作用。通过选择合适的激光参数和悬空工艺,实现了直径32μm的微孔加工。
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关键词
皮秒激光
微孔加工
镍铁合金
悬空加工
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Keywords
picosecond laser
micropore processing
nickel-iron alloy
floating processing
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名氧化锆陶瓷纵扭超声磨削运动特性与试验分析
被引量：5
- 5
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作者
马文举
薛进学
杨宇辉
赵恒
胡广豪
隆志力
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机构
河南科技大学机电工程学院
东莞理工学院机械工程学院
哈尔滨工业大学(深圳)机电学院
广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室
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出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2020年第10期1580-1586,共7页
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基金
国家自然科学基金项目(U1713206)
深圳市学科布局基础研究项目(JCYJ20170413112645981,JCYJ20150928162432701)资助。
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文摘
以氧化锆陶瓷为研究对象,基于纵扭超声矢量分解原理,建立了单颗磨粒运动轨迹数学模型。借助MATLAB仿真软件,对比分析了普通磨削与纵扭超声磨削的运动轨迹,探讨了工艺参数对纵扭超声磨削运动轨迹的影响规律;同时通过普通磨削和纵扭超声磨削试验,研究了工艺参数对氧化锆陶瓷表面形貌的影响。结果表明:普通磨削与纵扭超声磨削运动轨迹仿真结果均与试验结果相吻合,验证了该运动轨迹数学模型的正确性;与普通磨削相比,纵扭超声磨削磨痕均匀、沟槽光滑,工件加工表面形貌得到明显改善。
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关键词
纵扭超声磨削
运动轨迹
数学模型
氧化锆陶瓷
表面形貌
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Keywords
longitudinal torsional ultrasonic grinding
motion trajectory
mathematical models
zirconia ceramics
surface morphology
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分类号
TG506.5
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TG580.6
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名自动对焦过程中图像清晰度评价算法研究
被引量：15
- 6
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作者
项魁
高健
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机构
广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室
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出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2019年第1期52-55,共4页
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基金
国家自然科学基金项目(51175093)
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文摘
文章详细讨论了现有的几种图像清晰度评价算法,在综合比较各算法性能的基础上,提出一种基于图像像素操作的梯度评价算法,建立该评价方法的数学模型,并采用VS2015与OpenCV编程实现其算法流程。对该评价函数进行一组由模糊到清晰再到模糊样本的实验,并与其它评价函数进行比较分析,结果表明,所提出的评价算法具有单峰性强及更高的灵敏度,可有效实现图像检测过程中自动对焦的图像清晰度判断。
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关键词
数字图像处理
清晰度评价函数
自动对焦
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Keywords
digital image processing
definition evaluation function
auto focus
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分类号
TH162
[机械工程—机械制造及自动化]
TG506
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名新型三自由度宏微运动平台设计与仿真分析
被引量：1
- 7
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作者
张金迪
高健
钟耿君
张揽宇
王晓亮
王佳印
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机构
广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室
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出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2019年第8期125-129,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(51675106,U1601202)
广东高校建设重大科研项目(17ZK0091)
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文摘
针对集成电路制造、超精密检测仪器及微机电系统加工制造等领域对大行程、多自由度、高速及高精度运动平台日益迫切的需求,提出一种新型大行程三自由度宏微运动平台。该平台采用直线电动机与压电陶瓷进行宏微双重驱动,采用直线光栅与平面光栅实现双闭环位置反馈与控制。基于该平台结构设计,确定其位置正解方程与位置逆解方程,并列举算例验证。基于ADAMS软件对平台进行运动仿真,分析不同驱动类型与驱动参数对运动平台位移、速度及加速度的影响。最后,针对宏微双重驱动传动的精度问题进行实验研究。结果表明,该平台运动学方程正确有效,具有较好的动态响应性与运动规划性,且该种驱动传动形式满足大行程、高速及高精度的性能要求。
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关键词
宏微运动平台
双闭环
运动学
仿真
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Keywords
macro-micro motion stage
double closed loop
kinematic
simulation
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分类号
TH36
[机械工程—机械制造及自动化]
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