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搭桥晶粒多晶硅薄膜晶体管 被引量:1
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作者 郭海成 周玮 +5 位作者 陈荣盛 赵淑云 张猛 王文 陈树明 周南云 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期471-478,共8页
提出了一种薄膜晶体管的新结构。这种新结构充分发挥了短沟道效应和多结效应的优点。通过器件模拟,验证了此种器件结构的物理机制。通过应用这种新结构,薄膜晶体管的阈值电压、伪亚阈值斜率、开关电流比和场效应迁移率都大幅改善,并且... 提出了一种薄膜晶体管的新结构。这种新结构充分发挥了短沟道效应和多结效应的优点。通过器件模拟,验证了此种器件结构的物理机制。通过应用这种新结构,薄膜晶体管的阈值电压、伪亚阈值斜率、开关电流比和场效应迁移率都大幅改善,并且器件的热载流子和自加热可靠性也得到了极大的改善。 展开更多
关键词 搭桥晶粒 多晶硅 薄膜晶体管
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