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题名基于声表面波聚二甲基硅氧烷薄膜形变研究
被引量：3
- 1
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作者
章安良
付相庭
查燕
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机构
常州工学院电气学院
宁波大学微纳电子系统研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期6-9,共4页
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基金
浙江省科技厅滚动支持基金资助项目(2009R50025)
浙江省重点学科基金资助项目(Xkl11077)
常州工学院校基金资助项目(YN1404)
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文摘
提出了一种新的聚二甲基硅氧烷薄膜形变方法。在128°YX-LiNbO3压电基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波在压电基片上亲水表面的阻力共同作用下挤压微槽内水相微流体,使得其上的聚二甲基硅氧烷薄膜发生形变。采用红色染料溶液微流体为实验对象进行聚二甲基硅氧烷薄膜形变实验,结果表明,所提出的方法可有效实现聚二甲基硅氧烷薄膜形变,且与激发声表面波的电信号功率、水相微流体的体积及薄膜厚度有关。在13μL水相微流体,薄膜厚为12.5μm,电信号功率为26.5dBm时,薄膜最小形变距离为280μm。
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关键词
薄膜
形变
声表面波
微阀
微流器件
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Keywords
film
deformation
surface acoustic wave
microvalve
microfluidic device
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分类号
TN371
[电子电信—物理电子学]
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题名基于声表面波热膨胀微阀研究
- 2
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作者
章安良
王新彪
付相庭
查燕
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机构
常州工学院电气学院
宁波大学微纳电子系统研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期880-882,887,共4页
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基金
浙江省科技厅基金资助项目(2009R50025)
浙江省重点学科基金资助项目(Xkl11077)
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文摘
研制了一种新的声表面波控制开关的微阀。在128°YX-LiNbO3基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波加热微槽内石蜡油,熔融其上方微腔内固体石蜡,石蜡由于相变化而体积膨胀,使得微腔顶部的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜发生形变,微阀由开态转变为关态。红色染料溶液微流体为实验对象进行微阀操作实验,结果表明,声表面波可有效实现微阀的控制,且微阀开关时间随所加电信号功率增加而减少,在32dBm电信号功率作用下,微阀关闭时间为3min。
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关键词
微阀
热膨胀
声表面波
微通道
微流器件
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Keywords
micro-valve
thermal expansion
surface acoustic wave
micro-channel
micro-fluidic device
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分类号
TN371
[电子电信—物理电子学]
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题名遥控煤矿采掘机的电路设计
被引量：1
- 3
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作者
钱显毅
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机构
常州工学院电气学院
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出处
《电子产品世界》
2006年第03X期85-87,共3页
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文摘
煤矿井下采煤,即不安全效率又低,采取机械化无人井下采矿,不仅是煤炭工业的出路,也是整个矿产工业的光明前途。本文设计一种无人井下遥控煤矿采掘机,即能提高生产效率,又能确保生产安全。
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关键词
遥控煤矿采掘机
机械结构
视频系统
遥控电路
安全监测系统
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分类号
TD632
[矿业工程—矿山机电]
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