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题名分子蒸馏结合电喷雾质谱技术研究硅片切割液
被引量：1
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作者
周永生
王平
顾浩
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机构
常州大学石油化工学院.常州
镇江市九天太阳能新材料有限公司
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出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期1747-1750,共4页
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文摘
采用分子蒸馏技术对010型切割液进行分离,对分子蒸馏温度进行优化。当温度为80℃,刮板转速为300r/min,加料速率2mL/min,系统绝压20Pa时,分子蒸馏分离效果最佳。采用电喷雾质谱直接进样技术分析切割液各馏分,在正离子模式下,各组分可形成质子化分子或[M+NH4]+、[M+Na]+和[M+K]+等加合离子。以甲醇(1.0×10-3mol/L)-乙酸铵(90∶10 v/v)(流动相Ⅰ)为流动相时,[M+H]+、[M+NH4]+、[M+Na]+和[M+K]+4种PEG加合离子相对丰度均增加,[M+NH4]+峰增加尤为明显。对80℃分子蒸馏轻、重组分和PEG200进行电喷雾质谱表征时,以甲醇-水(90∶10 v/v)(流动相Ⅱ)为流动相,而对PEG400表征时则采用流动相Ⅰ。实验发现,采用流动相Ⅱ时轻组分与PEG200质谱分析结果类似,此时的重组分质谱结果与采用流动相Ⅰ时的PEG400类似。可推断,010#切割液主要成分为PEG200和PEG400,并含少量不挥发铵盐。
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关键词
分子蒸馏
电喷雾质谱
硅片切割液
聚乙二醇加合离子
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Keywords
wiped film molecular distillation
electrospray ionization mass spectrometry
cutting fluid for silicon wafer
polyethylene glycol adducts
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分类号
N34
[自然科学总论]
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