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氮化铜薄膜制备中氮气比例对其结构及微观力学性能的影响
被引量：
3
1
作者
龚鹏
范真
+3 位作者
丁建宁
程广贵
袁宁一
凌智勇
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期15-18,31,共5页
采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响。结果表明:低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差;随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生...
采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响。结果表明:低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差;随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生长晶面从(111)晶面转变为(100)晶面,晶粒尺寸变小,显微硬度增加,弹性模量则是先增加,后减小。
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关键词
氮化铜薄膜
射频磁控溅射
微结构
纳米力学
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职称材料
基底对TiNxOy太阳能选择性吸收薄膜性能的影响
2
作者
杨娟
范真
+1 位作者
袁宁一
丁建宁
《表面技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期16-18,共3页
采用磁控溅射法,分别在铜基、铝基上制备AlN/TiNxOy/Al多层膜,对比了该膜系与铜基和铝基的粘附性能,分析了与基底粘附性能的差异原因。采用二次阳极氧化方法使铝基底表面形成多孔微结构,再次镀多层膜,表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性...
采用磁控溅射法,分别在铜基、铝基上制备AlN/TiNxOy/Al多层膜,对比了该膜系与铜基和铝基的粘附性能,分析了与基底粘附性能的差异原因。采用二次阳极氧化方法使铝基底表面形成多孔微结构,再次镀多层膜,表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性能和反射率,研究了微结构对薄膜性能的影响。结果表明:薄膜与铝基的粘附性较好,基底表面形成多孔微结构能有效提高其光谱吸收率。
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关键词
TiNxOy薄膜
太阳能
光谱性能
粘附性
基底多孔结构
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职称材料
题名
氮化铜薄膜制备中氮气比例对其结构及微观力学性能的影响
被引量：
3
1
作者
龚鹏
范真
丁建宁
程广贵
袁宁一
凌智勇
机构
江苏
大学
微
纳
米研究
中心
江苏理工学院机械工程学院
常州大学低维材料微纳器件与系统中心
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期15-18,31,共5页
基金
国家自然科学基金项目(51272033)
文摘
采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响。结果表明:低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差;随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生长晶面从(111)晶面转变为(100)晶面,晶粒尺寸变小,显微硬度增加,弹性模量则是先增加,后减小。
关键词
氮化铜薄膜
射频磁控溅射
微结构
纳米力学
Keywords
copper nitride thin film
r. f. magnetron sputtering
micro structure
nano-mechanical
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
基底对TiNxOy太阳能选择性吸收薄膜性能的影响
2
作者
杨娟
范真
袁宁一
丁建宁
机构
江苏
大学
微
纳
米研究
中心
江苏技术师范学院机械与汽车学院
常州大学低维材料微纳器件与系统中心
出处
《表面技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期16-18,共3页
基金
江苏省太阳能电池材料与技术重点实验室开放课题(201103)
江苏技术师范学院科研基金项目(KYY10058)
文摘
采用磁控溅射法,分别在铜基、铝基上制备AlN/TiNxOy/Al多层膜,对比了该膜系与铜基和铝基的粘附性能,分析了与基底粘附性能的差异原因。采用二次阳极氧化方法使铝基底表面形成多孔微结构,再次镀多层膜,表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性能和反射率,研究了微结构对薄膜性能的影响。结果表明:薄膜与铝基的粘附性较好,基底表面形成多孔微结构能有效提高其光谱吸收率。
关键词
TiNxOy薄膜
太阳能
光谱性能
粘附性
基底多孔结构
Keywords
TiNxOy film
solar energy
optical properties
adhesion
porous structured substrate
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
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1
氮化铜薄膜制备中氮气比例对其结构及微观力学性能的影响
龚鹏
范真
丁建宁
程广贵
袁宁一
凌智勇
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
3
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职称材料
2
基底对TiNxOy太阳能选择性吸收薄膜性能的影响
杨娟
范真
袁宁一
丁建宁
《表面技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
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职称材料
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