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题名氢气、氢气/硅烷等离子体时间分辨光发射谱的研究
被引量：1
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作者
张发荣
张晓丹
AMANATIDES E
赵颖
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机构
天津职业大学生物与环境工程学院
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
希腊帕特雷大学等离子体技术实验室
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出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期528-534,共7页
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基金
国家自然科学基金(60506003)
天津市自然科学基金(05YFJMJC01600)
天津职业大学校基金项目(20171101)资助~~
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文摘
为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态微观动力学过程的清晰图像。纯氢气辉光条件下,在一个射频周期内,Hβ时间分辨光发射谱出现了4个峰。分析表明其中两个峰是由电子冲浪效应引起,额外两个峰的出现是由瞬时阳极时刻存在额外电场所致。另外,可观察到随着气压的增大,体欧姆加热效应增强。同氢气相比,当硅烷引入后,Hβ时间分辨光发射谱由原来4个明显发射峰变成了两个明显发射峰。
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关键词
等离子体
光发射谱
微观动力学
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Keywords
plasma
optical emission spectroscopy
microcosmic dynamics
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分类号
O461.2
[理学—电子物理学]
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