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Co/Pt/Ta多层膜中的微观结构与应力分布
1
作者
郭金键
安伊杉
全志勇
《中国有色金属学报》
2025年第8期2763-2771,共9页
Co/Pt多层磁性薄膜具有良好的垂直磁各向异性等优点,已经广泛应用于畴壁移动自旋器件、磁性斯格明子/自旋轨道矩等自旋电子学领域。然而,目前的研究还极少关注多层膜中微观结构与其宏观磁性产生之间的深层关系。本文以Co/Pt/Ta多层膜为...
Co/Pt多层磁性薄膜具有良好的垂直磁各向异性等优点,已经广泛应用于畴壁移动自旋器件、磁性斯格明子/自旋轨道矩等自旋电子学领域。然而,目前的研究还极少关注多层膜中微观结构与其宏观磁性产生之间的深层关系。本文以Co/Pt/Ta多层膜为对象,将透射电镜的二次电子成像(STEM-SEI)和几何相位分析(GPA)技术相结合,对多层膜层间界面微观结构、应力及其与宏观磁性的联系开展了系统和多维度表征。结果表明:STEM-HAADF/BF等不同衬度成像说明Co/Pt/Ta多层膜界面清晰,与预期设计吻合;结合STEM-BEI/SEI表明,该多层膜表面平整、成膜性良好;VSM测试证实多层膜具有典型垂直各向异性与优良磁学性能;GPA技术定量确定了多层膜内存在大量微观应力,解释了HRTEM黑色衬度源于晶格失配应力。上述结果揭示了多层膜宏观磁滞回线与微观应变之间存在直接关联的结构层面证据,为理解及开发新型低功耗自旋电子器件在微观结构角度提供新证据和新见解。
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关键词
Co/Pt多层磁性薄膜
几何相位分析
STEM-SEI
表面信息
微观应力
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职称材料
题名
Co/Pt/Ta多层膜中的微观结构与应力分布
1
作者
郭金键
安伊杉
全志勇
机构
山西师范大学磁学教育部重点实验室
出处
《中国有色金属学报》
2025年第8期2763-2771,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(12404231)
山西省青年基金资助项目(202403021222237)
山西省高校科技创新项目(2024L147)。
文摘
Co/Pt多层磁性薄膜具有良好的垂直磁各向异性等优点,已经广泛应用于畴壁移动自旋器件、磁性斯格明子/自旋轨道矩等自旋电子学领域。然而,目前的研究还极少关注多层膜中微观结构与其宏观磁性产生之间的深层关系。本文以Co/Pt/Ta多层膜为对象,将透射电镜的二次电子成像(STEM-SEI)和几何相位分析(GPA)技术相结合,对多层膜层间界面微观结构、应力及其与宏观磁性的联系开展了系统和多维度表征。结果表明:STEM-HAADF/BF等不同衬度成像说明Co/Pt/Ta多层膜界面清晰,与预期设计吻合;结合STEM-BEI/SEI表明,该多层膜表面平整、成膜性良好;VSM测试证实多层膜具有典型垂直各向异性与优良磁学性能;GPA技术定量确定了多层膜内存在大量微观应力,解释了HRTEM黑色衬度源于晶格失配应力。上述结果揭示了多层膜宏观磁滞回线与微观应变之间存在直接关联的结构层面证据,为理解及开发新型低功耗自旋电子器件在微观结构角度提供新证据和新见解。
关键词
Co/Pt多层磁性薄膜
几何相位分析
STEM-SEI
表面信息
微观应力
Keywords
Co/Pt multilayer films
geometric phase analysis
STEM-SEI
surface information
micro-stress
分类号
TG115.215.3 [金属学及工艺]
O44 [金属学及工艺—物理冶金]
O484 [金属学及工艺—金属学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
Co/Pt/Ta多层膜中的微观结构与应力分布
郭金键
安伊杉
全志勇
《中国有色金属学报》
2025
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