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SOI多环级联光学谐振腔滤波器
被引量：
1
1
作者
王晓倩
马可贞
+4 位作者
赵宇
冯薪霖
薛晨阳
张文栋
闫树斌
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期645-649,共5页
利用MEMS工艺制备了基于SOI的小尺寸、高集成光波导多环级联谐振腔滤波器,理论分析了多环级联微环腔的光场传输特性与光谱响应特性,实验验证并得到了不同级联环数与谐振谱线滚降垂直度的关系。研究表明:当波导宽度为450 nm、半径为5μm...
利用MEMS工艺制备了基于SOI的小尺寸、高集成光波导多环级联谐振腔滤波器,理论分析了多环级联微环腔的光场传输特性与光谱响应特性,实验验证并得到了不同级联环数与谐振谱线滚降垂直度的关系。研究表明:当波导宽度为450 nm、半径为5μm时,单环、双环和十环滤波器响应谱线的-3 dB带宽分别为0.313,0.279,0.239 nm,相应结果与理论吻合,即随着级联环数的增多,谐振谱线顶端趋于平坦,滚降垂直度增高。设计制备了环形与跑道形两种级联谐振腔滤波器,研究了相应的透射谱特性。
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关键词
光波导
多环级联
滤波器
滚降垂直度
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职称材料
题名
SOI多环级联光学谐振腔滤波器
被引量：
1
1
作者
王晓倩
马可贞
赵宇
冯薪霖
薛晨阳
张文栋
闫树斌
机构
中北
大学
仪器科学与动态测试教育部重点实验室
电子
测试技术国家重点实验室
山西大学物理电子工程学院.山西太原
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期645-649,共5页
基金
国家自然科学基金(91123036,61178058,61275166)
山西省自然科学基金(2010011003-2)
山西省教育厅优秀青年学术带头人资助项目
文摘
利用MEMS工艺制备了基于SOI的小尺寸、高集成光波导多环级联谐振腔滤波器,理论分析了多环级联微环腔的光场传输特性与光谱响应特性,实验验证并得到了不同级联环数与谐振谱线滚降垂直度的关系。研究表明:当波导宽度为450 nm、半径为5μm时,单环、双环和十环滤波器响应谱线的-3 dB带宽分别为0.313,0.279,0.239 nm,相应结果与理论吻合,即随着级联环数的增多,谐振谱线顶端趋于平坦,滚降垂直度增高。设计制备了环形与跑道形两种级联谐振腔滤波器,研究了相应的透射谱特性。
关键词
光波导
多环级联
滤波器
滚降垂直度
Keywords
optical waveguide
multi-ring cascaded
filters
roll-off vertical
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SOI多环级联光学谐振腔滤波器
王晓倩
马可贞
赵宇
冯薪霖
薛晨阳
张文栋
闫树斌
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
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