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双面位置敏感器件的特性与畸变研究 被引量:2
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作者 李田泽 赵艳雷 +5 位作者 盛翠霞 邢雪宁 赵云凤 暴敏 赵敬 韩玉莹 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期181-184,共4页
阐述了半导体光电位置敏感器探测器(PSD)的特性及定位理论,在此基础上,分析了双面PSD的空间分辨率与引起畸变的原因,建立了双面PSD的模型;采用敏感前置放大器的信号波形,对双面PSD内的非线性与模拟的结果进行分析与对比,提出了利用电荷... 阐述了半导体光电位置敏感器探测器(PSD)的特性及定位理论,在此基础上,分析了双面PSD的空间分辨率与引起畸变的原因,建立了双面PSD的模型;采用敏感前置放大器的信号波形,对双面PSD内的非线性与模拟的结果进行分析与对比,提出了利用电荷灵敏前置放大器改善PSD的内在畸变的方法。最后给出了关于双面PSD的几个重要结论。 展开更多
关键词 双面位置敏感器探测器(PSD) 空间分辨率 畸变 电荷灵敏前置放大器
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