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电子散斑干涉载频调制形貌测量方法的分析 被引量:7
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作者 宋鹏 刘瑞金 +2 位作者 吕安延 马志芳 孙平 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期472-476,共5页
根据电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的基本原理,物体表面的微小偏转可引入包含物体高度信息的载波干涉条纹。将物体的偏转视为变形,对物体变形与载波干涉条纹之间的关系进行了讨论,得出了离面位移引入载波和面内位移引入含有物体高... 根据电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的基本原理,物体表面的微小偏转可引入包含物体高度信息的载波干涉条纹。将物体的偏转视为变形,对物体变形与载波干涉条纹之间的关系进行了讨论,得出了离面位移引入载波和面内位移引入含有物体高度信息相位的结论。发现利用典型电子散斑干涉系统测量物体形貌效果最好,并通过实验得到了验证。 展开更多
关键词 电子散斑干涉 形貌测量 载波 傅里叶变换
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