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多腔耦合微波表面波PECVD法沉积DLC薄膜研究
被引量：
3
1
作者
赵曼曼
桑利军
+3 位作者
周美丽
杨丽珍
刘忠伟
陈强
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期368-372,共5页
报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子体中的各种放电参数以及全部四个腔室内放电的均匀性作出评估。采用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度;薄膜的...
报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子体中的各种放电参数以及全部四个腔室内放电的均匀性作出评估。采用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度;薄膜的表面形貌、组成结构通过原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱和X射线衍射光谱(XPS)进行了表征。在12.5μm厚度的有机薄膜聚酯(PET)表面沉积一定厚度DLC后,通过测量水蒸气透过率(WVTR)对DLC薄膜的阻隔性能进行了研究。结果表明,这种多腔耦合微波表面波等离子体装置,不仅能够实现四个腔室同时相对均匀的放电,也能够实现单个腔室的轴向均匀放电。制备的DLC薄膜结构致密、成分均匀,可以使PET薄膜阻隔性能提高约20倍。
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关键词
微波表面波
发射光谱
类金刚石
薄膜
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职称材料
题名
多腔耦合微波表面波PECVD法沉积DLC薄膜研究
被引量：
3
1
作者
赵曼曼
桑利军
周美丽
杨丽珍
刘忠伟
陈强
机构
北京印刷
学院
等离子体物理及材料研究室
山东工艺美术学院包装工程系
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期368-372,共5页
基金
国家自然科学基金(11775028
11505013)
+2 种基金
北京市教委项目(4162024
KM201510015009)
北京市协同创新(20160113)
文摘
报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子体中的各种放电参数以及全部四个腔室内放电的均匀性作出评估。采用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度;薄膜的表面形貌、组成结构通过原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱和X射线衍射光谱(XPS)进行了表征。在12.5μm厚度的有机薄膜聚酯(PET)表面沉积一定厚度DLC后,通过测量水蒸气透过率(WVTR)对DLC薄膜的阻隔性能进行了研究。结果表明,这种多腔耦合微波表面波等离子体装置,不仅能够实现四个腔室同时相对均匀的放电,也能够实现单个腔室的轴向均匀放电。制备的DLC薄膜结构致密、成分均匀,可以使PET薄膜阻隔性能提高约20倍。
关键词
微波表面波
发射光谱
类金刚石
薄膜
Keywords
Microwave surface-wave
Optical emission spectrum
DLC
Coating
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多腔耦合微波表面波PECVD法沉积DLC薄膜研究
赵曼曼
桑利军
周美丽
杨丽珍
刘忠伟
陈强
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2018
3
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