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中红外4μm波长下MgF_(2)晶体脊形光波导的制备及特性研究(特邀)
被引量：
1
1
作者
李淑慧
宋洪晓
程亚洲
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第7期83-88,共6页
为了研究离子与中红外晶体相互作用的机理,探索中红外晶体光波导的制备和性能,采用离子辐照技术结合精密金刚石刀切割,在MgF_(2)晶体材料中制备了深度17.5μm、宽度14μm的脊形光波导。采用SRIM软件模拟了C5+离子辐照MgF_(2)晶体的电子...
为了研究离子与中红外晶体相互作用的机理,探索中红外晶体光波导的制备和性能,采用离子辐照技术结合精密金刚石刀切割,在MgF_(2)晶体材料中制备了深度17.5μm、宽度14μm的脊形光波导。采用SRIM软件模拟了C5+离子辐照MgF_(2)晶体的电子能量损伤和核能量损伤的过程,分析了波导的形成机理;模拟了波导的折射率变化,并对波导的近场模式进行了实验测量和理论模拟;采用热退火处理来降低波导的传输损耗,将传输损耗降低为0.4 dB/cm;微拉曼光谱证明离子辐照过程并未对MgF_(2)晶体波导区造成较大的晶格损伤。该工作表明,离子辐照技术结合划片机精密切割是一种十分成熟的脊形波导制备手段,制备的MgF_(2)晶体脊形光波导在中红外集成光学和光通讯领域具有广泛的应用前景。
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关键词
中红外
MgF_(2)晶体
光波导
离子辐照
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职称材料
题名
中红外4μm波长下MgF_(2)晶体脊形光波导的制备及特性研究(特邀)
被引量：
1
1
作者
李淑慧
宋洪晓
程亚洲
机构
山东大学
物理
学院
物理
国家级
实验教学
示范
中心
(
山东大学
)
中国海洋
大学
信息科学与工程学部
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第7期83-88,共6页
基金
国家自然科学基金(11805113)
山东大学教育教学改革研究项目(2022 Y068)
山东大学青年学者未来计划和山东大学基本科研业务费。
文摘
为了研究离子与中红外晶体相互作用的机理,探索中红外晶体光波导的制备和性能,采用离子辐照技术结合精密金刚石刀切割,在MgF_(2)晶体材料中制备了深度17.5μm、宽度14μm的脊形光波导。采用SRIM软件模拟了C5+离子辐照MgF_(2)晶体的电子能量损伤和核能量损伤的过程,分析了波导的形成机理;模拟了波导的折射率变化,并对波导的近场模式进行了实验测量和理论模拟;采用热退火处理来降低波导的传输损耗,将传输损耗降低为0.4 dB/cm;微拉曼光谱证明离子辐照过程并未对MgF_(2)晶体波导区造成较大的晶格损伤。该工作表明,离子辐照技术结合划片机精密切割是一种十分成熟的脊形波导制备手段,制备的MgF_(2)晶体脊形光波导在中红外集成光学和光通讯领域具有广泛的应用前景。
关键词
中红外
MgF_(2)晶体
光波导
离子辐照
Keywords
mid-infrared
MgF_(2)crystal
optical waveguide
ion irradiation
分类号
O434.3 [机械工程—光学工程]
O734 [理学—晶体学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
中红外4μm波长下MgF_(2)晶体脊形光波导的制备及特性研究(特邀)
李淑慧
宋洪晓
程亚洲
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022
1
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