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化学镀NiP原子沉积过程二维计算机模拟
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作者 关凯书 刘鹏虎 +1 位作者 王志文 尹衍升 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第10期15-18,共4页
建立了非晶态化学镀NiP原子沉积过程计算机模拟模型 ,用MonteCarlo方法对原子沉积过程进行了二维 (2D)计算机模拟。结果表明 ,吸附原子的迁移概率及最大迁移距离S对镀层的显微孔隙有显著的影响。随着吸附原子迁移概率的增加 (k减小 )及... 建立了非晶态化学镀NiP原子沉积过程计算机模拟模型 ,用MonteCarlo方法对原子沉积过程进行了二维 (2D)计算机模拟。结果表明 ,吸附原子的迁移概率及最大迁移距离S对镀层的显微孔隙有显著的影响。随着吸附原子迁移概率的增加 (k减小 )及最大迁移距离S的增大 ,吸附原子有更大的概率迁移到配位数较多的位置处沉积 ,即原子填充空穴及孔隙的机会多 ,镀层孔隙率低。 展开更多
关键词 计算机模拟 化学镀镍磷合金 MONTE-CARLO方法
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