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(La_xBi_(1-x))_2Ti_2O_7薄膜X射线光电子能谱研究
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作者 张寅 王弘 +3 位作者 杨雪娜 姚伟峰 尚淑霞 刘维民 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第1期50-52,共3页
采用化学溶液沉积(CSD)工艺在Si(100)衬底上制备了Bi2Ti2O7(BTO(和(LaxBi1-x)2Ti2O7(BLT(铁电薄膜,薄膜的X射线衍射(XRD)结果显示其具有较好的结晶性,运用X射线光电能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了研究,分析结果表明,薄膜中氧空位的出现... 采用化学溶液沉积(CSD)工艺在Si(100)衬底上制备了Bi2Ti2O7(BTO(和(LaxBi1-x)2Ti2O7(BLT(铁电薄膜,薄膜的X射线衍射(XRD)结果显示其具有较好的结晶性,运用X射线光电能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了研究,分析结果表明,薄膜中氧空位的出现影响了其相的稳定性,通过掺La可以改善其性能。 展开更多
关键词 介电薄膜 化学溶液沉积(CSD) X射线光电能谱仪(XPS)
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