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电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究被引量：2: 1; 作者孔祥东冯圣玉张玉林《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第1期41-44,共4页; 对PCR微流控芯片通道中流体的流动特性进行了分析,发现流体在横截面为圆形的通道中流动时由摩擦引起的等效水头损失及表面张力均小于微矩形通道。以此为依据,将PCR芯片微通道优化设计成圆形通道。在JSM-5CF电子束曝光机上采用束斑尺寸8... 展开更多; 关键词电子束曝光重复增量扫描聚合酶链式反应(PCR)微流控芯片流体微通道; 在线阅读下载PDF 职称材料

电子束重复增量扫描曝光技术被引量：4: 2; 作者孔祥东冯圣玉 +1 位作者卢文娟张玉林《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期503-506,共4页; 提出了电子束重复增量扫描曝光技术新概念,对吸收能量密度与深度和曝光剂量之间的关系、溶解速度与吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现溶解速度随曝光剂量增加而增大。以此为依据,在SDS-3型电子束曝光机上采用20 keV能量的电子... 展开更多; 关键词电子束曝光吸收能量密度剂量溶解速度抗蚀剂; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于软刻蚀技术的微三维结构加工方法研究被引量：1: 3; 作者卢文娟张玉林 +1 位作者孔祥东郝惠娟《微纳电子技术》 CAS 2007年第10期957-959,963,共4页; 软刻蚀是通过表面带有图案的弹性模板来实现图案转移的图形复制技术,弹性印章是软刻蚀技术的核心。简单介绍了软刻蚀技术,使用SDS-3型电子束曝光机,采用重复增量扫描方式进行曝光,生成弹性印章的母版,将其硅烷化后用以制作弹性印章,再... 展开更多; 关键词软刻蚀技术弹性印章重复增量扫描方式电子束光刻微三维加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

LIGA工艺的发展及应用被引量：9: 4; 作者孔祥东张玉林宋会英《微纳电子技术》 CAS 2004年第5期13-18,27,共7页; 介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like－LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLIGA)、M2LIGA(movingmaskLIGA)技术和抗蚀剂回流LIGA(PRLIGA———photoresistreflowLIGA)技术等。利用... 展开更多; 关键词 LIGA工艺光刻胶 X射线曝光微机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

IH工艺的发展及应用被引量：5: 5; 作者孔祥东张玉林尹明《微纳电子技术》 CAS 2003年第11期34-39,共6页; 介绍了IH系列立体光刻技术。使用该系列技术可以加工出具有高深宽比和复杂曲面的各种微结构,可以容易地加工出微可动部件、电子聚合物组合结构和不同聚合物的全聚合物结构,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出这种方法目前存在的缺陷。; 关键词 IH工艺立体光刻抗蚀剂聚合物结构微机电系统集成固化聚合物; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究被引量：2: 1; 作者孔祥东冯圣玉张玉林; 机构山东大学化学与化工学院东营职业学院科研处山东大学控制科学与工程学院电子束研究所; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第1期41-44,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(10572078) 山东省博士后择优资助科研项目(200603004) 山东省自然科学基金资助课题(Y2003G03); 文摘对PCR微流控芯片通道中流体的流动特性进行了分析,发现流体在横截面为圆形的通道中流动时由摩擦引起的等效水头损失及表面张力均小于微矩形通道。以此为依据,将PCR芯片微通道优化设计成圆形通道。在JSM-5CF电子束曝光机上采用束斑尺寸80nm、能量20keV的电子束对1μm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了单次曝光剂量40μC/cm2的8次重复增量扫描曝光实验,显影后得到的PCR芯片微圆通道轮廓清晰,边缘连续光滑。证明了电子束重复增量扫描曝光方式制作PCR微流控芯片微圆通道的可行性。; 关键词电子束曝光重复增量扫描聚合酶链式反应(PCR)微流控芯片流体微通道; Keywords electron beam lithography overlapped increment scanning micro-flow PCR （poly-merase chain reaction） chip fluid microchannel; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] TN703 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子束重复增量扫描曝光技术被引量：4: 2; 作者孔祥东冯圣玉卢文娟张玉林; 机构山东大学化学与化工学院山东大学控制学院电子束研究所; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期503-506,共4页; 基金国家自然科学基金重大研究计划资助课题(90307003) 国家自然科学基金资助课题(10572078) 山东省自然科学基金资助课题(Y2003G03); 文摘提出了电子束重复增量扫描曝光技术新概念,对吸收能量密度与深度和曝光剂量之间的关系、溶解速度与吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现溶解速度随曝光剂量增加而增大。以此为依据,在SDS-3型电子束曝光机上采用20 keV能量的电子束对570 nm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了7次重复增量扫描曝光实验,得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥3维结构,证明了电子束重复增量扫描曝光技术的可行性,为电子束加工3维结构提供了新工艺。; 关键词电子束曝光吸收能量密度剂量溶解速度抗蚀剂; Keywords Eectron beam lithography Absorbed energy density Dose Solution rate Resist; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于软刻蚀技术的微三维结构加工方法研究被引量：1: 3; 作者卢文娟张玉林孔祥东郝惠娟; 机构山东大学控制学院电子束研究所东营职业学院; 出处《微纳电子技术》 CAS 2007年第10期957-959,963,共4页; 基金山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03); 文摘软刻蚀是通过表面带有图案的弹性模板来实现图案转移的图形复制技术,弹性印章是软刻蚀技术的核心。简单介绍了软刻蚀技术,使用SDS-3型电子束曝光机,采用重复增量扫描方式进行曝光,生成弹性印章的母版,将其硅烷化后用以制作弹性印章,再利用软刻蚀技术可进行微图形的复制,得到微三维结构。显影后得到轮廓清晰的三维结构,证明将电子束重复增量扫描曝光方式与软刻蚀技术相结合可为制作微三维结构提供一种简单、有效的低成本途径。; 关键词软刻蚀技术弹性印章重复增量扫描方式电子束光刻微三维加工; Keywords soft lithography elastic stamp overlapped increment scanning manner electron-beam lithography 3D micromachining; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名LIGA工艺的发展及应用被引量：9: 4; 作者孔祥东张玉林宋会英; 机构山东大学控制科学与工程学院电子束研究所; 出处《微纳电子技术》 CAS 2004年第5期13-18,27,共7页; 基金山东省高科技发展基金资助项目(022090105) 山东省教育厅科技计划项目(03B53); 文摘介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like－LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLIGA)、M2LIGA(movingmaskLIGA)技术和抗蚀剂回流LIGA(PRLIGA———photoresistreflowLIGA)技术等。利用这一系列LIGA技术,可以生成具有高深宽比的复杂微结构,如微尖阵列、球形曲面、活动部件等,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出了目前这些方法存在的缺陷。; 关键词 LIGA工艺光刻胶 X射线曝光微机电系统; Keywords LIGA photo resist X-ray exposure; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名IH工艺的发展及应用被引量：5: 5; 作者孔祥东张玉林尹明; 机构山东大学控制学院电子束研究所; 出处《微纳电子技术》 CAS 2003年第11期34-39,共6页; 基金 2003年山东省科学计划项目; 文摘介绍了IH系列立体光刻技术。使用该系列技术可以加工出具有高深宽比和复杂曲面的各种微结构,可以容易地加工出微可动部件、电子聚合物组合结构和不同聚合物的全聚合物结构,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出这种方法目前存在的缺陷。; 关键词 IH工艺立体光刻抗蚀剂聚合物结构微机电系统集成固化聚合物; Keywords IH process stereo lithography resist; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究	孔祥东冯圣玉张玉林	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	电子束重复增量扫描曝光技术	孔祥东冯圣玉卢文娟张玉林	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于软刻蚀技术的微三维结构加工方法研究	卢文娟张玉林孔祥东郝惠娟	《微纳电子技术》 CAS	2007	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	LIGA工艺的发展及应用	孔祥东张玉林宋会英	《微纳电子技术》 CAS	2004	9	在线阅读下载PDF 职称材料
5	IH工艺的发展及应用	孔祥东张玉林尹明	《微纳电子技术》 CAS	2003	5	在线阅读下载PDF 职称材料