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功率晶体管管芯背面多层金属电极工艺 被引量:2
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作者 韩述斌 任忠祥 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期42-43,共2页
以功率晶体管BU406管芯为例采用背面多层电极工艺,大大提高了器件的抗热疲劳性、稳定性和可靠性。
关键词 功率晶体管 产级面 多层金属电极 电极
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微电子工艺CAD系统SUPREM-Ⅱ的模拟精度 被引量:2
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作者 李惠军 刘晓建 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第6期34-36,41,共4页
模拟精度是CAD系统设计者首先考虑的问题。文中向读者提供了在SUPREM-Ⅱ模拟系统中,提高模拟精度的较科学的实验方法。
关键词 CAD SUPREM-Ⅱ 模拟精度 微电子工艺
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