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一种复合调整型精密高压电源
1
作者
陈振生
刘伯强
+1 位作者
殷淑霞
祁爽
《现代电子技术》
2011年第24期14-17,共4页
为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案。为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取...
为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案。为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取了多项合理的特定电路设计和有效的技术处理措施。通过各项性能指标的测试和长期实际工作运行,证明各项技术指标均达到或超过原设计要求,保证了电子束曝光机的制版精度。
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关键词
电子束曝光机
高压电源
制版精度
复合补偿
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职称材料
题名
一种复合调整型精密高压电源
1
作者
陈振生
刘伯强
殷淑霞
祁爽
机构
山东凯文科技职业学院电工电子实训中心
山东
大学控制科学与工程
学院
出处
《现代电子技术》
2011年第24期14-17,共4页
文摘
为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案。为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取了多项合理的特定电路设计和有效的技术处理措施。通过各项性能指标的测试和长期实际工作运行,证明各项技术指标均达到或超过原设计要求,保证了电子束曝光机的制版精度。
关键词
电子束曝光机
高压电源
制版精度
复合补偿
Keywords
elctron beam exposure apparatus
high-voltage power supply
plate making accuracy
compound compensation
分类号
TN710-34 [电子电信—电路与系统]
TM46 [电气工程—电器]
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题名
作者
出处
发文年
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1
一种复合调整型精密高压电源
陈振生
刘伯强
殷淑霞
祁爽
《现代电子技术》
2011
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