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题名基于温度调制的声表面波传感器结构设计与实验研究
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作者
王德钊
郭亮
杨威
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机构
中国石油大学(华东)控制科学与工程学院
山东乾能科技创新有限公司
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出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第7期28-31,共4页
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文摘
基于声表面波(SAW)传感器的气体检测方法集成了气敏薄膜的高特异性和SAW的高敏感性,成为当前气体检测领域的新兴发展方向。但是,由于传统气敏薄膜选择性差,限制了SAW气体传感器的应用范围,因此提出了一种基于温度调制的SAW传感器的实验研究方法,并通过模拟仿真得出不同气体的灵敏度响应。为满足SAW大范围的温度调制,提出了一种微热板+叉指电极的层叠结构,并完成了这种新型结构下的电、热、声联合仿真。结果表明,气敏薄膜在不同温度下对不同气体的吸附能力各异,可根据温度曲线分辨不同气体,为SAW传感器件的优化设计提供参考。
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关键词
声表面波
温度调制
COMSOL
灵敏度
谐振频率
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Keywords
SAW
temperature modulation
COMSOL
sensitivity
resonant frequency
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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