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气体流速对FCVA技术制备nc-ZrC/a-C:H复合膜的影响
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作者 李作文 黄鑫 +5 位作者 廖斌 曹望 周福增 伏开虎 周晗 张旭 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期609-613,共5页
采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,室温下通入C2H2在Si(100)与304不锈钢片上制备nc-ZrC/a-C:H复合薄膜.采用XRD、Raman、XPS、SEM-EDS研究了薄膜的成分及微观结构,利用纳米力学探针和摩擦磨损仪测试薄膜的硬度及摩擦磨损性能.主要讨论了... 采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,室温下通入C2H2在Si(100)与304不锈钢片上制备nc-ZrC/a-C:H复合薄膜.采用XRD、Raman、XPS、SEM-EDS研究了薄膜的成分及微观结构,利用纳米力学探针和摩擦磨损仪测试薄膜的硬度及摩擦磨损性能.主要讨论了不同C2H2气体流速对复合膜成分、结构及其性能的影响,研究结果表明:C2H2气体流速由20mL·min-1增加到70mL·min-1时,薄膜中的C原子分数逐渐升高;气体流速超过70mL·min-1后,C原子分数趋于平稳(约为75%).随着气体流速的增加,薄膜硬度呈现先增后减的趋势,当气体流速为40mL·min-1时(C原子分数约为65%),制备的薄膜综合机械性能达到最佳(硬度41.49GP,摩擦因数0.25). 展开更多
关键词 磁过滤阴极真空弧(FCVA) nc-ZrC/a-C:H 气体流速
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0.28 MeV Zn离子注入GaInP/GaInAsP量子阱薄膜材料的损伤行为研究
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作者 英敏菊 董西亮 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期384-386,共3页
对于GaAs衬底(100)面上用金属有机物气相淀积(MOCVD)技术外延生长的GaInP/GaInAsP单量子阱,在室温下进行0.28MeV的Zn^+离子注入,选用的注量从1×10^14~5×10^14cm^-2。通过双晶X射线衍射光谱测量,定量地分析了由于离... 对于GaAs衬底(100)面上用金属有机物气相淀积(MOCVD)技术外延生长的GaInP/GaInAsP单量子阱,在室温下进行0.28MeV的Zn^+离子注入,选用的注量从1×10^14~5×10^14cm^-2。通过双晶X射线衍射光谱测量,定量地分析了由于离子注入所引起的晶格内应变。实验结果表明在所选用的注量下,由于离子注入引起的应变小于体材料GaAs的最大非弛豫应变值0.038,说明在这样的注入条件下,注入区的结晶态仍然保持地比较好。在较高注量下应变达到饱和,应变的饱和说明缺陷的产生和复合达到了平衡,从而形成了均衡的应变场分布。 展开更多
关键词 离子注入 晶格应变 X射线衍射光谱
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基于最小二乘的MEVVA源产生的金属镍等离子发射谱线的单峰拟合 被引量:1
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作者 邓春凤 廖斌 +3 位作者 张旭 李璟 王锴 吴先映 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期257-262,共6页
在MEVVA源产生金属等离子体的发射光谱诊断的过程中,需要用"Plasus Specline"光谱分析软件对光谱仪采集到的等离子体发射光谱数据进行标定.但是受光谱仪分辨率的限制,某些谱线虽然有较高的谱线强度,但是标定结果与实际情况不... 在MEVVA源产生金属等离子体的发射光谱诊断的过程中,需要用"Plasus Specline"光谱分析软件对光谱仪采集到的等离子体发射光谱数据进行标定.但是受光谱仪分辨率的限制,某些谱线虽然有较高的谱线强度,但是标定结果与实际情况不符或者是由于不存在明确的峰值波长而不能准确标定.为解决这个问题,本文根据最小二乘法的函数逼近原理,结合原子发射光谱的多普勒展宽和洛伦兹展宽机制,在只考虑一种展宽机制的前提下,分别用高斯线型和洛伦兹线型两种轮廓函数对以上2种谱线进行函数逼近,即对光谱仪采集到的发射光谱数据点进行单峰拟合.用逼近函数的中心波长作为该谱线的波长并用分析软件对其进行标定,从而实现用"Plasus Specline"软件对光谱仪采集光谱信号中每一条谱线的准确标定.在函数逼近的过程中,分别采用改进后的牛顿迭代法、变量轮换法和模式搜索法3种优化方法求解逼近函数,并对这3种方法的优化效果进行比较. 展开更多
关键词 单峰拟合 高斯线型 洛伦兹线型 最小二乘法 优化方法
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金属蒸汽真空弧(MEVVA)源产生的金属镍(Ni)等离子体的发射光谱诊断 被引量:1
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作者 邓春凤 廖斌 +2 位作者 陈一鸣 肖云剑 吴先映 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期589-593,共5页
利用英国avantes公司生产的AvaSpec-2048FT-8-RM型光栅光谱仪对金属蒸汽真空弧(MEVVA)源产生的金属镍等离子体的发射光谱进行采集,并用"Plasus Specline"软件对采集到的数据进行分析,得到各条谱线所对应的元素及元素电荷态、... 利用英国avantes公司生产的AvaSpec-2048FT-8-RM型光栅光谱仪对金属蒸汽真空弧(MEVVA)源产生的金属镍等离子体的发射光谱进行采集,并用"Plasus Specline"软件对采集到的数据进行分析,得到各条谱线所对应的元素及元素电荷态、跃迁能级及其能量等信息.同时采用多谱线斜率法对镍等离子的电子温度进行计算,并利用电子温度对等离子体的电子密度进行计算,从而实现MEVVA源产生的金属镍等离子体的发射光谱诊断. 展开更多
关键词 MEVVA源 等离子体发射光谱诊断 电子温度 电子密度
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