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基于精确探针模型的AFM图像重构研究
被引量：
10
1
作者
袁帅
董再励
+2 位作者
缪磊
席宁
王越超
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1117-1122,共6页
原子力显微镜技术已在纳米成像中得到了普遍应用。但实验表明,AFM图像在水平方向分辨率较低,其中探针针尖形貌是影响扫描图像分辨率的关键因素之一。为了提高AFM扫描图像的分辨率,改善成像质量,一种可行的方法是通过建立探针模型后,重...
原子力显微镜技术已在纳米成像中得到了普遍应用。但实验表明,AFM图像在水平方向分辨率较低,其中探针针尖形貌是影响扫描图像分辨率的关键因素之一。为了提高AFM扫描图像的分辨率,改善成像质量,一种可行的方法是通过建立探针模型后,重构扫描图像。在已有的探针建模方法中,普遍采用盲建模算法。针对目前盲建模算法中降噪阈值难以优化问题,提出了一种降噪阈值最优估计新方法。该方法可以使盲建模算法更准确地建立扫描方向上的探针形貌轮廓,进而完成3D探针模型。通过应用AFM探针扫描多空铝和标准栅格实验,介绍了探针针尖形貌精确建模的方法。然后使用数学形态学的腐蚀运算对标准栅格的AFM成像进行了重构,验证了上述方法的有效性。实验结果证明,重构后的图像中降低了探针针尖形貌的失真影响,可以显著改善扫描探针显微镜成像的水平分辨率。
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关键词
AFM
探针模型
盲建模算法
图像重构
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职称材料
题名
基于精确探针模型的AFM图像重构研究
被引量：
10
1
作者
袁帅
董再励
缪磊
席宁
王越超
机构
中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室
中国科学院研究生院
密歇根州大学电子和计算机工程系密歇根州
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1117-1122,共6页
基金
国家自然科学基金重点项目(60635040)
国家863计划(2009AA03Z316)
辽宁省博士启动基金资助项目
文摘
原子力显微镜技术已在纳米成像中得到了普遍应用。但实验表明,AFM图像在水平方向分辨率较低,其中探针针尖形貌是影响扫描图像分辨率的关键因素之一。为了提高AFM扫描图像的分辨率,改善成像质量,一种可行的方法是通过建立探针模型后,重构扫描图像。在已有的探针建模方法中,普遍采用盲建模算法。针对目前盲建模算法中降噪阈值难以优化问题,提出了一种降噪阈值最优估计新方法。该方法可以使盲建模算法更准确地建立扫描方向上的探针形貌轮廓,进而完成3D探针模型。通过应用AFM探针扫描多空铝和标准栅格实验,介绍了探针针尖形貌精确建模的方法。然后使用数学形态学的腐蚀运算对标准栅格的AFM成像进行了重构,验证了上述方法的有效性。实验结果证明,重构后的图像中降低了探针针尖形貌的失真影响,可以显著改善扫描探针显微镜成像的水平分辨率。
关键词
AFM
探针模型
盲建模算法
图像重构
Keywords
AFM
tip model
blind tip estimation algorithm
image reconstruction
分类号
O793 [理学—晶体学]
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于精确探针模型的AFM图像重构研究
袁帅
董再励
缪磊
席宁
王越超
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
10
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