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单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道腐蚀原因
被引量：
1
1
作者
杜大艳
袁有录
+2 位作者
焦文艺
黄梦元
李运杨
《腐蚀与防护》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期107-112,共6页
通过设备运行情况分析、化学成分分析,研究了单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道的腐蚀原因。结果表明:引起管道腐蚀的原因是真空泵的润滑油在高温下分解产生了氟化氢、硫化氢及氯化氢等多种腐蚀性物质,这些腐蚀性物质溶于冷凝水中,并随着时...
通过设备运行情况分析、化学成分分析,研究了单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道的腐蚀原因。结果表明:引起管道腐蚀的原因是真空泵的润滑油在高温下分解产生了氟化氢、硫化氢及氯化氢等多种腐蚀性物质,这些腐蚀性物质溶于冷凝水中,并随着时间的延长逐渐累积,从而造成管道的腐蚀。通过吸附剂吸附、去离子水吸收以及优化管道的材质和壁厚解决了管道腐蚀问题。
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关键词
单晶硅拉晶炉
富氩尾气
管道腐蚀
润滑油
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职称材料
题名
单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道腐蚀原因
被引量：
1
1
作者
杜大艳
袁有录
焦文艺
黄梦元
李运杨
机构
三峡大学机械与动力学院石墨增材制造
技术
与装备湖北省
工程
研究
中心
宜昌市工业尾气回收利用工程技术研究中心
湖北和远气体股份有限公司
出处
《腐蚀与防护》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期107-112,共6页
基金
水电机械设备设计与维护湖北省重点实验室开放基金(2019KJK03)
石墨增材制造技术与装备湖北省工程研究中心开放基金(HRCGAM202105)。
文摘
通过设备运行情况分析、化学成分分析,研究了单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道的腐蚀原因。结果表明:引起管道腐蚀的原因是真空泵的润滑油在高温下分解产生了氟化氢、硫化氢及氯化氢等多种腐蚀性物质,这些腐蚀性物质溶于冷凝水中,并随着时间的延长逐渐累积,从而造成管道的腐蚀。通过吸附剂吸附、去离子水吸收以及优化管道的材质和壁厚解决了管道腐蚀问题。
关键词
单晶硅拉晶炉
富氩尾气
管道腐蚀
润滑油
Keywords
single crystal silicon pulling furnace
argon-rich tail gas
pipeline corrosion
lubricating oil
分类号
TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道腐蚀原因
杜大艳
袁有录
焦文艺
黄梦元
李运杨
《腐蚀与防护》
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
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